Пластина SiC P-типа 4H/6H-P 3C-N толщиной 6 дюймов, 350 мкм, с первичной плоской ориентацией
Спецификация Композитные подложки SiC типа 4H/6H-P Таблица общих параметров
6 Диаметр в дюймах Подложка из карбида кремния (SiC) Спецификация
Оценка | Производство с нулевым MPDОценка (З Оценка) | Стандартное производствоОценка (П Оценка) | Фиктивная оценка (D Оценка) | ||
Диаметр | 145,5 мм~150,0 мм | ||||
Толщина | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
Ориентация пластины | -Offось: 2,0°-4,0° в сторону [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, по оси:〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
Плотность микротрубок | 0 см-2 | ||||
Удельное сопротивление | р-тип 4H/6H-P | ≤0,1 Омꞏсм | ≤0,3 Омꞏсм | ||
n-тип 3C-N | ≤0,8 мОмꞏсм | ≤1 м Омꞏсм | |||
Первичная плоская ориентация | 4H/6H-П | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Основная плоская длина | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
Вторичная плоская длина | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
Вторичная плоская ориентация | Кремниевая лицевая сторона вверх: 90° по часовой стрелке. от Прайм-флэт ± 5,0° | ||||
Исключение краев | 3 мм | 6 мм | |||
LTV/TTV/Лук/Деформация | <2,5 мкм/<5 мкм/<15 мкм/<30 мкм | <10 мкм/<15 мкм/<25 мкм/<40 мкм | |||
Шероховатость | Польский Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
Краевые трещины от света высокой интенсивности | Никто | Совокупная длина ≤ 10 мм, отдельная длина≤2 мм | |||
Шестигранные пластины от света высокой интенсивности | Совокупная площадь ≤0,05% | Совокупная площадь ≤0,1% | |||
Политипные области под воздействием света высокой интенсивности | Никто | Совокупная площадь≤3% | |||
Визуальные включения углерода | Совокупная площадь ≤0,05% | Совокупная площадь ≤3% | |||
Поверхность кремния царапается светом высокой интенсивности | Никто | Совокупная длина≤1×диаметр пластины | |||
Краевые чипы с высокой интенсивностью света | Не допускается ширина и глубина ≥0,2 мм. | Допускается 5, ≤1 мм каждый | |||
Загрязнение поверхности кремния высокой интенсивностью | Никто | ||||
Упаковка | Кассета с несколькими пластинами или одиночный контейнер для пластин |
Примечания:
※ Пределы дефектов применяются ко всей поверхности пластины, за исключением области исключения краев. # Царапины следует проверять на лицевой стороне Si o
Пластина SiC P-типа, 4H/6H-P 3C-N, размером 6 дюймов и толщиной 350 мкм, играет решающую роль в промышленном производстве высокопроизводительной силовой электроники. Его превосходная теплопроводность и высокое напряжение пробоя делают его идеальным для производства таких компонентов, как силовые переключатели, диоды и транзисторы, используемые в высокотемпературных средах, таких как электромобили, электрические сети и системы возобновляемых источников энергии. Способность пластины эффективно работать в суровых условиях обеспечивает надежную работу в промышленных приложениях, требующих высокой плотности мощности и энергоэффективности. Кроме того, его основная плоская ориентация способствует точному выравниванию во время изготовления устройства, повышая эффективность производства и стабильность продукта.
К преимуществам композитных подложек SiC N-типа относятся:
- Высокая теплопроводность: Пластины SiC P-типа эффективно рассеивают тепло, что делает их идеальными для высокотемпературных применений.
- Высокое напряжение пробоя: Способен выдерживать высокое напряжение, обеспечивая надежность силовой электроники и высоковольтных устройств.
- Устойчивость к суровым условиям: Превосходная долговечность в экстремальных условиях, таких как высокие температуры и агрессивные среды.
- Эффективное преобразование мощности: Легирование P-типа способствует эффективному управлению мощностью, что делает пластину пригодной для систем преобразования энергии.
- Первичная плоская ориентация: Обеспечивает точное выравнивание во время производства, повышая точность и стабильность работы устройства.
- Тонкая структура (350 мкм): Оптимальная толщина пластины способствует интеграции в современные электронные устройства с ограниченным пространством.
В целом, пластина SiC P-типа, 4H/6H-P 3C-N, предлагает ряд преимуществ, которые делают ее очень подходящей для промышленного и электронного применения. Его высокая теплопроводность и напряжение пробоя обеспечивают надежную работу в условиях высоких температур и высокого напряжения, а устойчивость к суровым условиям обеспечивает долговечность. Легирование P-типа обеспечивает эффективное преобразование энергии, что делает его идеальным для силовой электроники и энергетических систем. Кроме того, основная плоская ориентация пластины обеспечивает точное выравнивание во время производственного процесса, повышая стабильность производства. Благодаря толщине 350 мкм он хорошо подходит для интеграции в современные компактные устройства.