Пластина SiC P-типа 4H/6H-P 3C-N толщиной 6 дюймов, 350 мкм с первичной плоской ориентацией
Спецификация4H/6H-P Тип SiC Композитные подложки Таблица общих параметров
6 Подложка из карбида кремния (SiC) диаметром дюйм Спецификация
Оценка | Нулевое производство MPDОценка (З) Оценка) | Стандартное производствоОценка (P) Оценка) | Оценка манекена (D Оценка) | ||
Диаметр | 145,5 мм~150,0 мм | ||||
Толщина | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
Ориентация пластины | -Offось: 2,0°-4,0° в направлении [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, по оси:〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
Плотность микротрубок | 0 см-2 | ||||
Удельное сопротивление | p-тип 4H/6H-P | ≤0,1 Омꞏсм | ≤0,3 Омꞏсм | ||
n-тип 3C-N | ≤0,8 мОмꞏсм | ≤1 м Омꞏсм | |||
Первичная плоская ориентация | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Длина первичной плоскости | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
Длина вторичной плоскости | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
Вторичная плоская ориентация | Кремниевая поверхность вверх: 90° по часовой стрелке от плоскости Prime ± 5,0° | ||||
Исключение кромки | 3 мм | 6 мм | |||
LTV/TTV/Бук/Варп | <2,5 мкм/<5 мкм/<15 мкм/<30 мкм | <10 мкм/<15 мкм/<25 мкм/<40 мкм | |||
Шероховатость | Полировка Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
Трещины на краях из-за света высокой интенсивности | Никто | Общая длина ≤ 10 мм, единичная длина ≤ 2 мм | |||
Шестигранные пластины с высокой интенсивностью света | Кумулятивная площадь ≤0,05% | Кумулятивная площадь ≤0,1% | |||
Политипные области с высокой интенсивностью света | Никто | Кумулятивная площадь≤3% | |||
Визуальные углеродные включения | Кумулятивная площадь ≤0,05% | Общая площадь ≤3% | |||
Царапины на поверхности кремния под воздействием света высокой интенсивности | Никто | Суммарная длина ≤1×диаметр пластины | |||
Краевые чипы высокой интенсивности света | Не допускается ширина и глубина ≥0,2 мм | Допускается 5, ≤1 мм каждый | |||
Загрязнение поверхности кремния высокой интенсивностью | Никто | ||||
Упаковка | Многопластинчатая кассета или однопластинчатый контейнер |
Примечания:
※ Пределы дефектов применяются ко всей поверхности пластины, за исключением области исключения краев. # Царапины следует проверять на поверхности Si
Пластина SiC P-типа, 4H/6H-P 3C-N, размером 6 дюймов и толщиной 350 мкм играет решающую роль в промышленном производстве высокопроизводительной силовой электроники. Ее превосходная теплопроводность и высокое пробивное напряжение делают ее идеальной для производства таких компонентов, как силовые переключатели, диоды и транзисторы, используемые в высокотемпературных средах, таких как электромобили, электросети и системы возобновляемой энергии. Способность пластины эффективно работать в суровых условиях обеспечивает надежную работу в промышленных приложениях, требующих высокой плотности мощности и энергоэффективности. Кроме того, ее первичная плоская ориентация способствует точному выравниванию во время изготовления устройств, повышая эффективность производства и однородность продукции.
Преимущества композитных подложек SiC N-типа включают в себя:
- Высокая теплопроводность: Пластины SiC P-типа эффективно рассеивают тепло, что делает их идеальными для высокотемпературных применений.
- Высокое пробивное напряжение: Способны выдерживать высокие напряжения, обеспечивая надежность в силовой электронике и высоковольтных устройствах.
- Устойчивость к суровым условиям окружающей среды: Отличная долговечность в экстремальных условиях, таких как высокие температуры и агрессивные среды.
- Эффективное преобразование энергии: Легирование P-типа способствует эффективному управлению мощностью, что делает пластину пригодной для систем преобразования энергии.
- Первичная плоская ориентация: Обеспечивает точное выравнивание в процессе производства, повышая точность и единообразие устройства.
- Тонкая структура (350 мкм): Оптимальная толщина пластины обеспечивает интеграцию в современные электронные устройства с ограниченным пространством.
В целом, пластина SiC P-типа, 4H/6H-P 3C-N, предлагает ряд преимуществ, которые делают ее очень подходящей для промышленных и электронных приложений. Ее высокая теплопроводность и напряжение пробоя обеспечивают надежную работу в условиях высоких температур и высокого напряжения, а ее устойчивость к суровым условиям гарантирует долговечность. Легирование P-типа обеспечивает эффективное преобразование энергии, что делает ее идеальной для силовой электроники и энергетических систем. Кроме того, первичная плоская ориентация пластины обеспечивает точное выравнивание в процессе производства, повышая однородность производства. При толщине 350 мкм она хорошо подходит для интеграции в современные компактные устройства.
Подробная схема

