4-дюймовая сапфировая пластина C-Plane SSP/DSP 0,43 мм 0,65 мм
Приложения
● Субстрат для роста соединений III-V и II-VI.
● Электроника и оптоэлектроника.
● ИК-приложения.
● Интегральная схема «Кремний на сапфире» (SOS).
● Радиочастотная интегральная схема (RFIC).
В производстве светодиодов сапфировые пластины используются в качестве подложки для выращивания кристаллов нитрида галлия (GaN), которые излучают свет при подаче электрического тока. Сапфир является идеальным материалом подложки для выращивания GaN, поскольку он имеет схожую с GaN кристаллическую структуру и коэффициент теплового расширения, что сводит к минимуму дефекты и улучшает качество кристалла.
В оптике сапфировые пластины используются в качестве окон и линз в условиях высокого давления и высоких температур, а также в системах инфракрасной визуализации благодаря своей высокой прозрачности и твердости.
Спецификация
| Элемент | 4-дюймовые сапфировые пластины C-plane(0001) толщиной 650 мкм | |
| Кристаллические материалы | 99,999%, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |
| Оценка | Prime, Epi-Ready | |
| Ориентация поверхности | C-плоскость (0001) | |
| Отклонение плоскости С от оси М на 0,2 +/- 0,1° | ||
| Диаметр | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
| Толщина | 650 мкм +/- 25 мкм | |
| Первичная плоская ориентация | Плоскость А(11-20) +/- 0,2° | |
| Длина первичной плоскости | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
| Односторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| (ССП) | Задняя поверхность | Тонкая шлифовка, Ra = 0,8 мкм – 1,2 мкм |
| Двусторонняя полировка | Передняя поверхность | Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| (ЦСП) | Задняя поверхность | Эпиполированный, Ra < 0,2 нм (по данным АСМ) |
| ТТВ | < 20 мкм | |
| ПОКЛОН | < 20 мкм | |
| ВАРП | < 20 мкм | |
| Очистка/Упаковка | Очистка чистых помещений класса 100 и вакуумная упаковка, | |
| 25 штук в одной кассетной упаковке или поштучной упаковке. | ||
Упаковка и доставка
Как правило, мы упаковываем кассеты в коробки по 25 штук; мы также можем упаковать их в отдельные контейнеры для пластин в помещении с классом очистки 100 в соответствии с требованиями клиента.
Подробная схема
