Полностью автоматическое оборудование для резки вафельных колец, рабочий размер 8 дюймов/12 дюймов для резки вафельных колец

Полностью автоматическое оборудование для резки вафельных колец. Рабочий размер 8/12 дюймов. Главное изображение для резки вафельных колец.

Краткое описание:

XKH самостоятельно разработала полностью автоматическую систему обрезки кромок пластин, представляющую собой передовое решение, предназначенное для передовых процессов производства полупроводников. Это оборудование включает инновационную технологию многоосевого синхронного управления и отличается высокожесткой шпиндельной системой (максимальная скорость вращения: 60 000 об/мин), обеспечивая прецизионную обрезку кромок с точностью резки до ±5 мкм. Система демонстрирует отличную совместимость с различными полупроводниковыми подложками, включая, но не ограничиваясь:
1.Кремниевые пластины (Si): подходят для обработки краев пластин размером 8-12 дюймов;
2. Компаундные полупроводники: полупроводниковые материалы третьего поколения, такие как GaAs и SiC;
3. Специальные подложки: пластины пьезоэлектрических материалов, включая LT/LN;

Модульная конструкция поддерживает быструю замену нескольких расходных материалов, включая алмазные лезвия и лазерные режущие головки, с совместимостью, превышающей отраслевые стандарты. Для специализированных технологических требований мы предлагаем комплексные решения, охватывающие:
· Специализированная поставка расходных материалов для резки
· Услуги таможенного оформления
· Решения по оптимизации параметров процесса

Напишите нам письмо

Функции

Технические параметры

Параметр	Единица	Спецификация
Максимальный размер заготовки	mm	ø12"
Шпиндель	Конфигурация	Один шпиндель
	Скорость	3000–60000 об/мин
	Выходная мощность	1,8 кВт (2,4 опционально) при 30 000 мин⁻¹
	Макс. диаметр лезвия	Ø58 мм
Ось X	Диапазон резки	310 мм
Ось Y	Диапазон резки	310 мм
	Шаг приращения	0,0001 мм
	Точность позиционирования	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (единичная ошибка)
Ось Z	Движение Резолюция	0,00005 мм
Ось Z	Повторяемость	0,001 мм
θ-ось	Макс. вращение	380 градусов
Тип шпинделя		Один шпиндель, оснащенный жестким лезвием для кольцевой резки
Точность резки кольца	мкм	±50
Точность позиционирования пластины	мкм	±50
Эффективность одиночной пластины	мин/пластина	8
Эффективность многослойной пластины		До 4-х пластин, обрабатываемых одновременно
Вес оборудования	kg	≈3,200
Габариты оборудования (Ш×Г×В)	mm	2730 × 1550 × 2070

Принцип работы

Система обеспечивает исключительную производительность обрезки благодаря следующим основным технологиям:

1.Интеллектуальная система управления движением:
· Высокоточный линейный привод (точность повторного позиционирования: ±0,5 мкм)
· Шестиосевое синхронное управление, поддерживающее сложное планирование траектории
· Алгоритмы подавления вибрации в реальном времени, обеспечивающие стабильность резки

2.Расширенная система обнаружения:
· Интегрированный 3D лазерный датчик высоты (точность: 0,1 мкм)
· Высокое разрешение визуального позиционирования ПЗС (5 мегапикселей)
· Модуль онлайн-контроля качества

3. Полностью автоматизированный процесс:
· Автоматическая загрузка/выгрузка (совместим со стандартным интерфейсом FOUP)
· Интеллектуальная система сортировки
· Установка очистки замкнутого цикла (класс чистоты: 10)

Типичные применения

Это оборудование обеспечивает значительную ценность в различных областях производства полупроводников:

Область применения	Технологические материалы	Технические преимущества
Производство ИС	Кремниевые пластины 8/12"	Улучшает выравнивание литографии
Устройства питания	Пластины SiC/GaN	Предотвращает дефекты кромок
Датчики МЭМС	Пластины SOI	Обеспечивает надежность устройства
Радиочастотные устройства	Пластины GaAs	Улучшает высокочастотные характеристики
Расширенная упаковка	Восстановленные вафли	Увеличивает выход упаковки

Функции

1.Конфигурация из четырех станций для высокой эффективности обработки；
2. Стабильное отсоединение и удаление кольца TAIKO;
3. Высокая совместимость с основными расходными материалами.
4. Технология многоосевой синхронной обрезки обеспечивает точность резки кромок.
5. Полностью автоматизированный технологический процесс значительно снижает затраты на рабочую силу.
6. Индивидуальная конструкция рабочего стола обеспечивает стабильную обработку специальных конструкций.

Функции

1.Система обнаружения падения кольца;
2.Автоматическая очистка рабочего стола；
3. Интеллектуальная система УФ-отслаивания;
4. Запись журнала операций.
5. Интеграция модуля автоматизации производства;

Обязательство по обслуживанию

XKH предоставляет комплексные услуги поддержки на протяжении всего жизненного цикла, направленные на максимальную производительность оборудования и эффективность эксплуатации на протяжении всего производственного цикла.
1. Услуги по настройке
· Индивидуальная конфигурация оборудования: наша инженерная группа тесно сотрудничает с клиентами для оптимизации параметров системы (скорость резки, выбор лезвия и т. д.) на основе конкретных свойств материала (Si/SiC/GaAs) и требований процесса.
· Поддержка разработки процесса: мы предлагаем обработку образцов с подробными отчетами по анализу, включая измерение шероховатости кромок и картирование дефектов.
· Совместная разработка расходных материалов: для новых материалов (например, Ga₂O₃) мы сотрудничаем с ведущими производителями расходных материалов для разработки лезвий/лазерной оптики для конкретных областей применения.

2. Профессиональная техническая поддержка
· Специализированная поддержка на месте: назначение сертифицированных инженеров для критических этапов наращивания мощности (обычно 2–4 недели), охватывающих:
Калибровка оборудования и тонкая настройка процесса
Обучение навыкам работы оператора
Руководство по интеграции чистых помещений класса 5 ISO
· Профилактическое обслуживание: ежеквартальные проверки работоспособности с анализом вибрации и диагностикой серводвигателей для предотвращения незапланированных простоев.
· Удаленный мониторинг: отслеживание производительности оборудования в режиме реального времени с помощью нашей платформы Интернета вещей (JCFront Connect®) с автоматическими оповещениями об аномалиях.

3. Услуги с добавленной стоимостью
· База знаний о процессах: доступ к более чем 300 проверенным рецептам резки различных материалов (обновляется ежеквартально).
· Согласование технологической дорожной карты: защитите свои инвестиции в будущем с помощью путей обновления оборудования и программного обеспечения (например, модуля обнаружения дефектов на основе искусственного интеллекта).
· Экстренное реагирование: гарантированная 4-часовая удаленная диагностика и 48-часовое вмешательство на месте (глобальное покрытие).

4. Инфраструктура обслуживания
· Гарантия производительности: договорное обязательство по обеспечению ≥98% времени безотказной работы оборудования с подтвержденным соглашением об уровне обслуживания временем реагирования.

Постоянное совершенствование

Мы проводим дважды в год опросы удовлетворенности клиентов и внедряем инициативы Kaizen для улучшения предоставления услуг. Наша команда R&D преобразует полевые идеи в модернизацию оборудования — 30% улучшений прошивки происходят из отзывов клиентов.