тип вафель 4Х-Н карбида кремния 8инч 200мм толщина 500ум ранга продукции

8-дюймовые 200-миллиметровые вафли карбида кремния SiC типа 4H-N производственного класса толщиной 500 мкм Рекомендуемое изображение

Краткое описание:

Шанхайский технологический институт Синьхехуэй. Co., Ltd предлагает лучший выбор и цены на высококачественные пластины и подложки карбида кремния диаметром до 8 дюймов N- и полуизолирующего типа. Маленькие и крупные компании по производству полупроводниковых приборов и исследовательские лаборатории по всему миру используют наши пластины из карбида кремния и полагаются на них.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Спецификация подложки SiC толщиной 200 мм, 8 дюймов

Размер: 8 дюймов;

Диаметр: 200 мм±0,2;

Толщина: 500 мкм±25;

Ориентация поверхности: 4 в сторону [11-20]±0,5°;

Ориентация выреза: [1-100] ± 1°;

Глубина надреза: 1±0,25 мм;

Микротрубка: <1 см2;

Шестигранные пластины: не разрешено;

Сопротивление: 0,015~0,028 Ом;

ЭПД:<8000 см2;

ТЭД:<6000 см2

БПД:<2000см2

ТСД:<1000см2

СФ: площадь<1%

ТТВ≤15ум;

Деформация≤40 мкм;

Лук≤25 мкм;

Полизоны: ≤5%;

Царапина: <5 и совокупная длина < 1 диаметра пластины;

Сколы/вмятины: нет, допускается ширина и глубина D>0,5 мм;

Трещины: Нет;

Пятно: Нет

Край пластины: Фаска;

Поверхностная обработка: двусторонняя полировка, Si Face CMP;

Упаковка: кассета с несколькими пластинами или одиночный контейнер для пластин;

Современные трудности в получении кристаллов 4H-SiC толщиной 200 мм, в основном

1) Подготовка высококачественных затравочных кристаллов 4H-SiC размером 200 мм;

2) Неравномерность температурного поля большого размера и контроль процесса зародышеобразования;

3) Эффективность транспорта и выделение газообразных компонентов в крупных системах выращивания кристаллов;

4) Растрескивание кристаллов и распространение дефектов, вызванное увеличением термических напряжений больших размеров.

Для преодоления этих проблем и получения высококачественных 200-миллиметровых пластин SiC предлагаются следующие решения:

Что касается подготовки затравочных кристаллов размером 200 мм, соответствующее температурное поле потока и расширяющийся узел были изучены и разработаны с учетом качества кристаллов и размера расширения; Начиная с кристалла SiC SE:D диаметром 150 мм, выполните итерацию затравочного кристалла, чтобы постепенно увеличивать размер кристалла SiC, пока он не достигнет 200 мм; Благодаря множественному выращиванию и обработке кристаллов постепенно оптимизируйте качество кристаллов в области расширения кристаллов и улучшите качество затравочных кристаллов размером 200 мм.

Что касается подготовки проводящих кристаллов и подложек размером 200 мм, исследования оптимизировали температурное поле и конструкцию поля потока для выращивания кристаллов большого размера, выращивания проводящих кристаллов SiC размером 200 мм и контроля однородности легирования. После грубой обработки и придания формы кристаллу был получен 8-дюймовый электропроводящий слиток 4H-SiC стандартного диаметра. После резки, шлифования, полировки и обработки для получения пластин SiC диаметром 200 мм и толщиной 525 мкм или около того.