4Х-Н 8-дюймовая вафельная подложка SiC, манекен из карбида кремния, толщина исследования 500 мкм
Как выбрать пластины карбида кремния и подложки SiC?
При выборе пластин и подложек карбида кремния (SiC) необходимо учитывать несколько факторов.Вот несколько важных критериев:
Тип материала: Определите тип материала SiC, который подходит для вашего применения, например 4H-SiC или 6H-SiC.Наиболее часто используемая кристаллическая структура — 4H-SiC.
Тип легирования: решите, нужна ли вам легированная или нелегированная подложка SiC.Распространенными типами легирования являются N-тип (n-легирование) или P-тип (p-легирование), в зависимости от ваших конкретных требований.
Качество кристаллов: Оцените качество кристаллов пластин или подложек SiC.Желаемое качество определяется такими параметрами, как количество дефектов, кристаллографическая ориентация и шероховатость поверхности.
Диаметр пластины: выберите подходящий размер пластины в зависимости от вашего применения.Общие размеры включают 2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма и 6 дюймов.Чем больше диаметр, тем больший выход вы можете получить с одной пластины.
Толщина: Учитывайте желаемую толщину пластин или подложек SiC.Типичные варианты толщины варьируются от нескольких микрометров до нескольких сотен микрометров.
Ориентация: Определите кристаллографическую ориентацию, соответствующую требованиям вашего приложения.Общие ориентации включают (0001) для 4H-SiC и (0001) или (0001̅) для 6H-SiC.
Качество поверхности: Оцените качество поверхности пластин или подложек SiC.Поверхность должна быть гладкой, отполированной, без царапин и загрязнений.
Репутация поставщика. Выбирайте надежного поставщика с большим опытом производства высококачественных пластин и подложек SiC.Учитывайте такие факторы, как производственные возможности, контроль качества и отзывы клиентов.
Стоимость. Учитывайте финансовые последствия, включая цену за пластину или подложку, а также любые дополнительные расходы на индивидуальную настройку.
Важно тщательно оценить эти факторы и проконсультироваться с отраслевыми экспертами или поставщиками, чтобы убедиться, что выбранные пластины и подложки SiC соответствуют вашим конкретным требованиям применения.