4H-N/6H-N SiC пластина исследовательского производства Dummy grade Dia150mm подложка из карбида кремния
Спецификация подложки из карбида кремния (SiC) диаметром 6 дюймов
Оценка | Нулевой ПДД | Производство | Исследовательский уровень | Оценка манекена |
Диаметр | 150,0 мм±0,25 мм | |||
Толщина | 4H-N | 350мкм±25мкм | ||
4H-SI | 500мкм±25мкм | |||
Ориентация пластины | На оси:<0001>±0,5°для 4H-SI | |||
Первичная квартира | {10-10}±5,0° | |||
Длина первичной плоскости | 47,5 мм±2,5 мм | |||
Исключение краёв | 3мм | |||
TTV/Бук/Варп | ≤15мкм/≤40мкм/≤60мкм | |||
Плотность микротрубок | ≤1см-2 | ≤5см-2 | ≤15см-2 | ≤50см-2 |
Удельное сопротивление 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ом!см | |||
≥1E5Ω!см | ||||
Шероховатость | Полировка Ra ≤1нм CMP Ra≤0.5нм | |||
#Трещины от света высокой интенсивности | Никто | 1 допускается, ≤2 мм | Общая длина ≤10 мм, отдельная длина ≤2 мм | |
*Шестигранные пластины с высокой интенсивностью света | Кумулятивная площадь ≤1% | Общая площадь ≤ 2% | Общая площадь ≤ 5% | |
*Политипные области с высокой интенсивностью света | Никто | Общая площадь ≤ 2% | Общая площадь ≤ 5% | |
*&Царапины от яркого света | 3 царапины на 1 диаметр пластины кумулятивной длины | 5 царапин на 1 диаметр пластины совокупной длины | 5 царапин на 1 диаметр пластины кумулятивная длина | |
Крайний чип | Никто | Допускается 3, ≤0,5 мм каждый | Допускается 5, ≤1 мм каждый | |
Загрязнение светом высокой интенсивности | Никто
|
Продажи и обслуживание клиентов
Закупка материалов
Отдел закупок материалов отвечает за сбор всего сырья, необходимого для производства вашего продукта. Полная прослеживаемость всех продуктов и материалов, включая химический и физический анализ, всегда доступна.
Качество
Во время и после изготовления или обработки вашей продукции отдел контроля качества следит за тем, чтобы все материалы и допуски соответствовали вашим спецификациям или превосходили их.
Услуга
Мы гордимся тем, что у нас есть инженеры по продажам с более чем 5-летним опытом работы в полупроводниковой промышленности. Они обучены отвечать на технические вопросы, а также предоставлять своевременные предложения для ваших нужд.
Мы будем рядом с вами в любое время, если у вас возникнут проблемы, и решим их в течение 10 часов.
Подробная схема

