4H-N/6H-N SiC пластина исследовательского производства Dummy grade Dia150mm подложка из карбида кремния

Краткое описание:

Мы можем предоставить высокотемпературные сверхпроводящие тонкопленочные подложки, магнитные тонкие пленки и сегнетоэлектрические тонкопленочные подложки, полупроводниковые кристаллы, оптические кристаллы, лазерные кристаллические материалы, в то же время предоставляя услуги по ориентации, резке кристаллов, шлифовке, полировке и другим видам обработки. Наши подложки SiC поставляются с завода Tankeblue в Китае.


Функции

Спецификация подложки из карбида кремния (SiC) диаметром 6 дюймов

Оценка

Нулевой ПДД

Производство

Исследовательский уровень

Оценка манекена

Диаметр

150,0 мм±0,25 мм

Толщина

4H-N

350мкм±25мкм

4H-SI

500мкм±25мкм

Ориентация пластины

На оси:<0001>±0,5°для 4H-SI
Вне оси: 4,0° в направлении <1120>±0,5° для 4H-N

Первичная квартира

{10-10}±5,0°

Длина первичной плоскости

47,5 мм±2,5 мм

Исключение краёв

3мм

TTV/Бук/Варп

≤15мкм/≤40мкм/≤60мкм

Плотность микротрубок

≤1см-2

≤5см-2

≤15см-2

≤50см-2

Удельное сопротивление 4H-N 4H-SI

0,015~0,028 Ом!см

≥1E5Ω!см

Шероховатость

Полировка Ra ≤1нм CMP Ra≤0.5нм

#Трещины от света высокой интенсивности

Никто

1 допускается, ≤2 мм

Общая длина ≤10 мм, отдельная длина ≤2 мм

*Шестигранные пластины с высокой интенсивностью света

Кумулятивная площадь ≤1%

Общая площадь ≤ 2%

Общая площадь ≤ 5%

*Политипные области с высокой интенсивностью света

Никто

Общая площадь ≤ 2%

Общая площадь ≤ 5%

*&Царапины от яркого света

3 царапины на 1 диаметр пластины кумулятивной длины

5 царапин на 1 диаметр пластины совокупной длины

5 царапин на 1 диаметр пластины кумулятивная длина

Крайний чип

Никто

Допускается 3, ≤0,5 мм каждый

Допускается 5, ≤1 мм каждый

Загрязнение светом высокой интенсивности

Никто

Продажи и обслуживание клиентов

Закупка материалов

Отдел закупок материалов отвечает за сбор всего сырья, необходимого для производства вашего продукта. Полная прослеживаемость всех продуктов и материалов, включая химический и физический анализ, всегда доступна.

Качество

Во время и после изготовления или обработки вашей продукции отдел контроля качества следит за тем, чтобы все материалы и допуски соответствовали вашим спецификациям или превосходили их.

Услуга

Мы гордимся тем, что у нас есть инженеры по продажам с более чем 5-летним опытом работы в полупроводниковой промышленности. Они обучены отвечать на технические вопросы, а также предоставлять своевременные предложения для ваших нужд.

Мы будем рядом с вами в любое время, если у вас возникнут проблемы, и решим их в течение 10 часов.

Подробная схема

Подложка из карбида кремния (1)
Подложка из карбида кремния (2)

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам