Исследовательское производство кремниевых пластин SiC 4H-N/6H-N, макетный образец, диаметр 150 мм, подложка из карбида кремния.
Технические характеристики подложки из карбида кремния (SiC) диаметром 6 дюймов
| Оценка | Ноль MPD | Производство | Научный уровень | Оценка фиктивного образца |
| Диаметр | 150,0 мм ± 0,25 мм | |||
| Толщина | 4H-N | 350 мкм ± 25 мкм | ||
| 4H-SI | 500 мкм ± 25 мкм | |||
| Ориентация пластины | На оси: <0001> ±0,5° для 4H-SI | |||
| Основная квартира | {10-10}±5.0° | |||
| Основная плоская длина | 47,5 мм ± 2,5 мм | |||
| Исключение края | 3 мм | |||
| TTV/Bow/Warp | ≤15 мкм/≤40 мкм/≤60 мкм | |||
| Плотность микротрубок | ≤1 см-2 | ≤5 см-2 | ≤15 см-2 | ≤50 см-2 |
| Сопротивление 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ом!см | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Шероховатость | Польская радиация Ra ≤1 нм, радиация CMP Ra ≤0,5 нм | |||
| #Трещины от света высокой интенсивности | Никто | 1 допустимое значение, ≤2 мм | Суммарная длина ≤10 мм, длина отдельного элемента ≤2 мм | |
| *Шестигранные пластины, полученные с помощью света высокой интенсивности | Суммарная площадь ≤1% | Суммарная площадь ≤ 2% | Суммарная площадь ≤ 5% | |
| *Политипизированные участки с помощью света высокой интенсивности | Никто | Суммарная площадь ≤ 2% | Суммарная площадь ≤ 5% | |
| *Царапины от света высокой интенсивности | 3 царапины на 1 x диаметр пластины, суммарная длина | 5 царапин на 1 x диаметр пластины суммарная длина | 5 царапин на 1 x суммарную длину диаметра пластины | |
| Краевой чип | Никто | Допускается 3, ≤0,5 мм каждый | Допускается 5, ≤1 мм каждый | |
| Загрязнение светом высокой интенсивности | Никто
| |||
Продажи и обслуживание клиентов
Закупка материалов
Отдел закупок материалов отвечает за сбор всего необходимого сырья для производства вашей продукции. Полная отслеживаемость всех продуктов и материалов, включая химический и физический анализ, всегда доступна.
Качество
В процессе и после изготовления или механической обработки вашей продукции отдел контроля качества следит за тем, чтобы все материалы и допуски соответствовали или превосходили ваши технические требования.
Услуга
Мы гордимся тем, что в нашем штате работают инженеры по продажам с более чем 5-летним опытом работы в полупроводниковой отрасли. Они обучены отвечать на технические вопросы, а также оперативно предоставлять коммерческие предложения, соответствующие вашим потребностям.
Мы всегда рядом, когда у вас возникают проблемы, и решаем их в течение 10 часов.



