4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch производство Пустышка класса Dia150mm Карбид кремния
Спецификация подложки из карбида кремния (SiC) диаметром 6 дюймов
Оценка | Нулевой MPD | Производство | Исследовательский уровень | Фиктивная оценка |
Диаметр | 150,0 мм±0,25 мм | |||
Толщина | 4Ч-Н | 350 мкм±25 мкм | ||
4H-SI | 500 мкм±25 мкм | |||
Ориентация пластины | По оси: <0001>±0,5° для 4H-SI | |||
Первичная квартира | {10-10}±5,0° | |||
Основная плоская длина | 47,5 мм±2,5 мм | |||
Исключение краев | 3 мм | |||
TTV/Лук/Варп | ≤15 мкм/≤40 мкм/≤60 мкм | |||
Плотность микротрубок | ≤1 см-2 | ≤5см-2 | ≤15см-2 | ≤50см-2 |
Удельное сопротивление 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ом!см | |||
≥1E5Ом!см | ||||
Шероховатость | Польский Ra ≤1 нм CMP Ra≤0,5 нм | |||
#Трещины от света высокой интенсивности | Никто | 1 разрешено, ≤2 мм | Совокупная длина ≤10 мм, одиночная длина≤2 мм | |
* Шестигранные пластины при свете высокой интенсивности | Совокупная площадь ≤1% | Совокупная площадь ≤ 2% | Совокупная площадь ≤ 5% | |
*Области политипирования при свете высокой интенсивности. | Никто | Совокупная площадь ≤ 2% | Совокупная площадь ≤ 5% | |
*&Царапины от света высокой интенсивности | 3 царапины на 1 x совокупную длину диаметра пластины | 5 царапин на совокупную длину 1 x диаметра пластины | 5 царапин на общую длину 1 x диаметра пластины | |
Краевой чип | Никто | Допускается 3, ≤0,5 мм каждый | Допускается 5, ≤1 мм каждый | |
Загрязнение светом высокой интенсивности | Никто
|
Продажи и обслуживание клиентов
Закупка материалов
Отдел закупок материалов отвечает за сбор всего сырья, необходимого для производства вашего продукта. Всегда доступна полная отслеживаемость всех продуктов и материалов, включая химический и физический анализ.
Качество
Во время и после производства или механической обработки вашей продукции отдел контроля качества следит за тем, чтобы все материалы и допуски соответствовали вашим спецификациям или превосходили их.
Услуга
Мы гордимся тем, что у нас есть инженеры по продажам с более чем 5-летним опытом работы в полупроводниковой промышленности. Они обучены отвечать на технические вопросы, а также предоставлять своевременные расценки для ваших нужд.
Мы на вашей стороне в любое время, когда у вас возникнут проблемы, и решим их в течение 10 часов.