Пластины LiTaO3 2-8 дюймов 10x10x0,5 мм 1sp 2sp для связи 5G/6G

Краткое описание:

Пластины из LiTaO3 (танталата лития), ключевой материал в полупроводниках третьего поколения и оптоэлектронике, благодаря своей высокой температуре Кюри (610°C), широкому диапазону прозрачности (0,4–5,0 мкм), превосходному пьезоэлектрическому коэффициенту (d33 > 1500 пКл/Н) и низким диэлектрическим потерям (tanδ < 2%), совершают революцию в 5G-коммуникациях, фотонной интеграции и квантовых устройствах. Используя передовые технологии изготовления, такие как физический парофазный транспорт (PVT) и химическое парофазное осаждение (CVD), компания XKH предлагает пластины с X/Y/Z-срезом, Y-срезом под углом 42° и периодически поляризованными (PPLT) пластинами в форматах 2–8 дюймов, обладающими шероховатостью поверхности (Ra) <0,5 нм и плотностью микротрубок <0,1 см⁻². Наши услуги включают легирование железом, химическое восстановление и гетерогенную интеграцию Smart-Cut, что позволяет создавать высокоэффективные оптические фильтры, инфракрасные детекторы и квантовые источники света. Этот материал способствует прорывам в миниатюризации, высокочастотной работе и термической стабильности, ускоряя замещение отечественных технологий в критически важных областях.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Технические параметры

Имя	LiTaO3 оптического качества	Уровень звуковой таблицы LiTaO3
Осевой	Z-образный срез +/- 0,2°	Y-образный разрез 36° / Y-образный разрез 42° / X-образный разрез (+ / - 0,2 °)
Диаметр	76,2 мм +/- 0,3 мм/ 100±0,2 мм	76,2 мм +/- 0,3 мм 100 мм +/- 0,3 мм или 150±0,5 мм
Опорная плоскость	22 мм +/- 2 мм	22 мм +/- 2 мм 32 мм +/- 2 мм
Толщина	500 мкм +/- 5 мм 1000 мкм +/- 5 мм	500 мкм +/- 20 мм 350 мкм +/- 20 мм
ТТВ	≤ 10 мкм	≤ 10 мкм
температура Кюри	605 °C +/- 0,7 °C (метод ДТА)	605 °C +/-3 °C (метод ДТА)
Качество поверхности	Двусторонняя полировка	Двусторонняя полировка
Скошенные края	скругление кромок	скругление кромок

Основные характеристики

1. Электрические и оптические характеристики
• Электрооптический коэффициент: r33 достигает 30 пм/В (X-срез), что в 1,5 раза выше, чем у LiNbO3, обеспечивая сверхширокополосную электрооптическую модуляцию (полоса пропускания >40 ГГц).
• Широкий спектральный диапазон пропускания: 0,4–5,0 мкм (толщина 8 мм), с краем поглощения в ультрафиолетовом диапазоне всего 280 нм, идеально подходит для УФ-лазеров и устройств на основе квантовых точек.
• Низкий пироэлектрический коэффициент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ Кл/(м²·К), что обеспечивает стабильность в высокотемпературных инфракрасных датчиках.

2. Тепловые и механические свойства
• Высокая теплопроводность: 4,6 Вт/м·К (X-срез), в четыре раза выше, чем у кварца, выдерживает температурные циклы от -200 до 500 °C.
• Низкий коэффициент теплового расширения: КТР = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000 °C), совместим с кремниевой упаковкой для минимизации термических напряжений.
3. Контроль дефектов и точность обработки.
• Плотность микротрубок: <0,1 см⁻² (8-дюймовые пластины), плотность дислокаций <500 см⁻² (подтверждено травлением KOH).
• Качество поверхности: полировка методом химико-механической полировки (CMP) до Ra <0,5 нм, соответствующая требованиям к плоскостности для EUV-литографии.

Основные области применения

Домен	Сценарии применения	Технические преимущества
Оптическая связь	Лазеры DWDM 100G/400G, гибридные модули кремниевой фотоники	Широкий спектральный диапазон пропускания пластины LiTaO3 и низкие потери в волноводе (α <0,1 дБ/см) позволяют расширить диапазон C-диапазона.
Связь 5G/6G	Фильтры на поверхностных акустических волнах (1,8–3,5 ГГц), фильтры BAW-SMR	Пластины, срезанные под углом 42°Y, обеспечивают Kt² >15%, низкие вносимые потери (<1,5 дБ) и высокий спад (>30 дБ).
Квантовые технологии	Детекторы одиночных фотонов, источники параметрического преобразования частоты	Высокий нелинейный коэффициент (χ(2)=40 пм/В) и низкая частота фоновых отсчетов (<100 отсчетов/с) повышают квантовую точность.
Промышленные датчики	Высокотемпературные датчики давления, трансформаторы тока	Пьезоэлектрический отклик пластины LiTaO3 (g33 >20 мВ/м) и устойчивость к высоким температурам (>400°C) делают ее подходящей для экстремальных условий эксплуатации.

XKH Services

1. Изготовление кремниевых пластин на заказ.

• Размер и резка: пластины диаметром от 2 до 8 дюймов с резкой по осям X/Y/Z, резкой по оси Y под углом 42° и нестандартными угловыми резками (допуск ±0,01°).

• Контроль легирования: легирование Fe и Mg методом Чохральского (диапазон концентраций 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) для оптимизации электрооптических коэффициентов и термической стабильности.

2. Передовые технологические процессы

• Периодическая поляризация (PPLT): технология Smart-Cut для пластин LTOI, обеспечивающая точность периода домена ±10 нм и квазифазовое согласование (QPM) преобразования частоты.

• Гетерогенная интеграция: композитные пластины LiTaO3 на основе кремния (POI) с контролируемой толщиной (300–600 нм) и теплопроводностью до 8,78 Вт/м·К для высокочастотных фильтров поверхностных акустических волн.

3. Системы управления качеством

• Комплексное тестирование: рамановская спектроскопия (проверка полиморфизма), рентгенодифракционный анализ (кристалличность), атомно-силовая микроскопия (морфология поверхности) и проверка оптической однородности (Δn <5×10⁻⁵).

4. Поддержка глобальной цепочки поставок

• Производственная мощность: Ежемесячный объем производства >5000 пластин (8-дюймовые: 70%), с возможностью экстренной доставки в течение 48 часов.

• Логистическая сеть: покрытие Европы, Северной Америки и Азиатско-Тихоокеанского региона авиа- и морскими перевозками с использованием упаковки, требующей контроля температуры.