Пластина LiTaO3 2-8 дюймов 10x10x0,5 мм 1sp 2sp для 5G/6G связи

Краткое описание:

LiTaO3 Wafer (пластина танталата лития), ключевой материал в полупроводниках и оптоэлектронике третьего поколения, использует свою высокую температуру Кюри (610 °C), широкий диапазон прозрачности (0,4–5,0 мкм), превосходный пьезоэлектрический коэффициент (d33 > 1500 пКл/Н) и низкие диэлектрические потери (tanδ < 2%), чтобы произвести революцию в коммуникациях 5G, фотонной интеграции и квантовых устройствах. Используя передовые технологии изготовления, такие как физический перенос паров (PVT) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD), XKH обеспечивает пластины с разрезом X/Y/Z, разрезом 42°Y и периодически поляризованными (PPLT) пластинами в форматах 2–8 дюймов, характеризующимися шероховатостью поверхности (Ra) < 0,5 нм и плотностью микротрубок < 0,1 см⁻². Наши услуги охватывают легирование Fe, химическое восстановление и гетерогенную интеграцию Smart-Cut, направленные на высокопроизводительные оптические фильтры, инфракрасные детекторы и квантовые источники света. Этот материал обеспечивает прорывы в миниатюризации, высокочастотной работе и термической стабильности, ускоряя внутреннее замещение в критических технологиях.

Напишите нам письмо

Функции

Технические параметры

Имя	LiTaO3 оптического качества	Уровень звуковой таблицы LiTaO3
Аксиальный	Z-рез +/- 0,2 °	36 ° Y-образный разрез / 42 ° Y-образный разрез / X-образный разрез (+ / - 0,2 °)
Диаметр	76,2мм + / - 0,3мм/ 100±0,2 мм	76,2 мм +/-0,3 мм 100мм +/-0,3мм 0r 150±0,5мм
Базовая плоскость	22мм +/- 2мм	22мм +/-2мм 32мм +/-2мм
Толщина	500мкм +/-5мм 1000мкм +/-5мм	500мкм +/-20мм 350мкм +/-20мм
ТТВ	≤ 10мкм	≤ 10мкм
Температура Кюри	605 °C + / - 0,7 °C (метод ДТА)	605 °C + / -3 °C (метод DTA)
Качество поверхности	Двусторонняя полировка	Двусторонняя полировка
Скошенные края	закругление кромки	закругление кромки

Основные характеристики

1.Электрические и оптические характеристики
· Электрооптический коэффициент: r33 достигает 30 пм/В (X-срез), что в 1,5 раза выше, чем у LiNbO3, что обеспечивает сверхширокополосную электрооптическую модуляцию (ширина полосы пропускания >40 ГГц).
· Широкий спектральный отклик: диапазон пропускания 0,4–5,0 мкм (толщина 8 мм) с границей поглощения ультрафиолета всего 280 нм, идеально подходит для УФ-лазеров и устройств на квантовых точках.
· Низкий пироэлектрический коэффициент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(м²·K), что обеспечивает стабильность в высокотемпературных инфракрасных датчиках.

2.Термические и механические свойства
· Высокая теплопроводность: 4,6 Вт/м·К (X-срез), в четыре раза больше, чем у кварца, выдерживает термоциклирование от -200 до 500 °C.
· Низкий коэффициент теплового расширения: КТР = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), совместим с кремниевой упаковкой для минимизации термического напряжения.
3.Контроль дефектов и точность обработки
· Плотность микротрубок: <0,1 см⁻² (8-дюймовые пластины), плотность дислокаций <500 см⁻² (проверено травлением KOH).
· Качество поверхности: полировка методом ХМП до Ra <0,5 нм, что соответствует требованиям к плоскостности класса EUV-литографии.

Ключевые приложения

Домен	Сценарии применения	Технические преимущества
Оптическая связь	Лазеры DWDM 100G/400G, гибридные модули на основе кремниевой фотоники	Широкий спектр пропускания пластин LiTaO3 и низкие потери в волноводе (α <0,1 дБ/см) позволяют расширить C-диапазон.
5G/6G-связь	Фильтры SAW (1,8–3,5 ГГц), фильтры BAW-SMR	Пластины с Y-образным срезом 42° достигают Kt² >15%, обеспечивая низкие вносимые потери (<1,5 дБ) и высокий спад (>30 дБ).
Квантовые технологии	Детекторы одиночных фотонов, параметрические источники с понижением частоты	Высокий нелинейный коэффициент (χ(2)=40 пм/В) и низкая скорость темнового счета (<100 счетов/с) повышают квантовую точность.
Промышленное зондирование	Высокотемпературные датчики давления, трансформаторы тока	Пьезоэлектрический отклик пластины LiTaO3 (g33 >20 мВ/м) и устойчивость к высоким температурам (>400°C) подходят для экстремальных условий.

XKH Услуги

1.Изготовление пластин по индивидуальному заказу

· Размер и резка: пластины размером 2–8 дюймов с разрезом по осям X/Y/Z, разрезом по оси Y под углом 42° и индивидуальными угловыми разрезами (допуск ±0,01°).

· Контроль легирования: легирование Fe, Mg по методу Чохральского (диапазон концентраций 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) для оптимизации электрооптических коэффициентов и термической стабильности.

2. Передовые технологические процессы

· Периодическая поляризация (PPLT): технология Smart-Cut для пластин LTOI, обеспечивающая точность периода домена ±10 нм и квазисогласованное по фазе (QPM) преобразование частоты.

· Гетерогенная интеграция: композитные пластины LiTaO3 на основе Si (POI) с регулируемой толщиной (300–600 нм) и теплопроводностью до 8,78 Вт/м·К для высокочастотных ПАВ-фильтров.

3.Системы управления качеством

· Комплексное тестирование: Рамановская спектроскопия (проверка политипа), рентгеновская дифракция (кристалличность), АСМ (морфология поверхности) и тестирование оптической однородности (Δn <5×10⁻⁵).

4. Поддержка глобальной цепочки поставок

· Производственная мощность: ежемесячный выпуск >5000 пластин (8 дюймов: 70%), с возможностью срочной доставки в течение 48 часов.

· Логистическая сеть: покрытие в Европе, Северной Америке и Азиатско-Тихоокеанском регионе посредством воздушных/морских перевозок с упаковкой с контролируемой температурой.