Пластина LiTaO3 2–8 дюймов 10 x 10 x 0,5 мм 1-канальная, 2-канальная для связи 5G/6G
Технические параметры
Имя | LiTaO3 оптического качества | Уровень звуковой таблицы LiTaO3 |
Осевой | Z-срез +/- 0,2 ° | 36 ° Y-образный разрез / 42 ° Y-образный разрез / X-образный разрез (+ / - 0,2 °) |
Диаметр | 76,2 мм + / - 0,3 мм/ 100±0,2 мм | 76,2 мм +/-0,3 мм 100 мм + /-0,3 мм 0r 150±0,5 мм |
Базовая плоскость | 22 мм +/- 2 мм | 22 мм +/-2 мм 32 мм +/-2 мм |
Толщина | 500мкм +/-5мм 1000мкм +/-5мм | 500мкм +/-20мм 350 мкм +/-20 мм |
ТТВ | ≤ 10 мкм | ≤ 10 мкм |
Температура Кюри | 605 °C + / - 0,7 °C (метод ДТА) | 605 °C + / -3 °C (метод ДТА) |
Качество поверхности | Двусторонняя полировка | Двусторонняя полировка |
Скошенные края | закругление краев | закругление краев |
Ключевые характеристики
1.Электрические и оптические характеристики
· Электрооптический коэффициент: r33 достигает 30 пм/В (X-срез), что в 1,5 раза выше, чем у LiNbO3, что обеспечивает сверхширокополосную электрооптическую модуляцию (ширина полосы пропускания >40 ГГц).
· Широкий спектральный диапазон: диапазон пропускания 0,4–5,0 мкм (толщина 8 мм), с краем поглощения ультрафиолета всего 280 нм, идеально подходит для УФ-лазеров и устройств на квантовых точках.
· Низкий пироэлектрический коэффициент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(м²·K), что обеспечивает стабильность в высокотемпературных инфракрасных датчиках.
2. Термические и механические свойства
· Высокая теплопроводность: 4,6 Вт/м·К (X-срез), в четыре раза выше, чем у кварца, выдерживает температурные колебания от -200 до 500 °C.
· Низкий коэффициент теплового расширения: КТР = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000 °C), совместим с кремниевыми корпусами для минимизации термических напряжений.
3. Контроль дефектов и точность обработки
· Плотность микротрубок: <0,1 см⁻² (8-дюймовые пластины), плотность дислокаций <500 см⁻² (проверено травлением KOH).
· Качество поверхности: полировка методом ХМП до Ra <0,5 нм, что соответствует требованиям к плоскостности для EUV-литографии.
Ключевые приложения
Домен | Сценарии применения | Технические преимущества |
Оптическая связь | DWDM-лазеры 100G/400G, гибридные кремниевые фотонные модули | Широкий спектр пропускания пластины LiTaO3 и низкие потери в волноводе (α <0,1 дБ/см) позволяют расширить C-диапазон. |
Связь 5G/6G | Фильтры ПАВ (1,8–3,5 ГГц), фильтры BAW-SMR | Пластины с Y-образным срезом 42° достигают Kt² >15%, обеспечивая низкие вносимые потери (<1,5 дБ) и высокий спад (>30 дБ). |
Квантовые технологии | Детекторы одиночных фотонов, параметрические источники с понижением частоты | Высокий нелинейный коэффициент (χ(2)=40 пм/В) и низкая скорость темнового счета (<100 счетов/с) повышают квантовую точность. |
Промышленные датчики | Высокотемпературные датчики давления, трансформаторы тока | Пьезоэлектрический отклик пластины LiTaO3 (g33 >20 мВ/м) и устойчивость к высоким температурам (>400 °C) подходят для экстремальных условий. |
XKH Услуги
1. Изготовление пластин на заказ
· Размер и резка: пластины размером 2–8 дюймов с разрезом по осям X/Y/Z, разрезом под углом 42°Y и индивидуальными угловыми разрезами (допуск ±0,01°).
· Легирование: легирование Fe, Mg методом Чохральского (диапазон концентраций 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) для оптимизации электрооптических коэффициентов и термической стабильности.
2. Передовые технологические процессы
· Периодическая поляризация (PPLT): технология Smart-Cut для пластин LTOI, обеспечивающая точность периода домена ±10 нм и квазисинхронизированное (QPM) преобразование частоты.
· Гетерогенная интеграция: композитные пластины LiTaO3 на основе Si (POI) с регулируемой толщиной (300–600 нм) и теплопроводностью до 8,78 Вт/м·К для высокочастотных фильтров на ПАВ.
3.Системы управления качеством
· Комплексное тестирование: Рамановская спектроскопия (проверка политипа), рентгеновская дифракция (кристалличность), АСМ (морфология поверхности) и тестирование оптической однородности (Δn <5×10⁻⁵).
4. Поддержка глобальной цепочки поставок
· Производственная мощность: ежемесячный выпуск >5000 пластин (8 дюймов: 70%), с возможностью экстренной доставки в течение 48 часов.
· Логистическая сеть: Охват Европы, Северной Америки и Азиатско-Тихоокеанского региона посредством авиа/морских перевозок с упаковкой с контролируемой температурой.


