Слитки танталата лития LiTaO3 с легированием Fe/Mg, изготовленные на заказ, размером 4, 6 и 8 дюймов для промышленных датчиков
Технические параметры
Спецификация | Общепринятый | Высокая точность |
Материалы | Пластины LiTaO3(LT)/LiNbO3 | Пластины LiTaO3(LT)/LiNbO3 |
Ориентация | X-112°Y,36°Y,42°Y±0,5° | X-112°Y,36°Y,42°Y±0,5° |
Параллельный | 30″ | 10'' |
Перпендикуляр | 10′ | 5' |
Качество поверхности | 40/20 | 20/10 |
Искажение волнового фронта | λ/4@632нм | λ/8@632нм |
Плоскостность поверхности | λ/4@632нм | λ/8@632нм |
Чистая апертура | >90% | >90% |
Фаска | <0,2×45° | <0,2×45° |
Допуск толщины/диаметра | ±0,1 мм | ±0,1 мм |
Максимальные размеры | диаметр 150×50 мм | диаметр 150×50 мм |
XKH Услуги
1. Изготовление крупномасштабных слитков
Размер и резка: слитки размером 3–8 дюймов с огранкой по осям X/Y/Z, огранкой под углом 42°Y и индивидуальными угловыми огранками (допуск ±0,01°).
Контроль легирования: совместное легирование Fe/Mg по методу Чохральского (диапазон концентраций 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) для оптимизации фоторефрактивного сопротивления и термической стабильности.
2. Передовые технологические процессы
Гетерогенная интеграция: Композитные пластины LiTaO3 на основе кремния (POI) с регулируемой толщиной (300–600 нм) и теплопроводностью до 8,78 Вт/м·К для высокочастотных фильтров на ПАВ.
Изготовление волноводов: методы протонного обмена (PE) и обратного протонного обмена (RPE), позволяющие получать субмикронные волноводы (Δn >0,7) для высокоскоростных электрооптических модуляторов (полоса пропускания >40 ГГц).
3. Системы управления качеством
Сквозное тестирование: Рамановская спектроскопия (проверка политипа), рентгеновская дифракция (кристалличность), АСМ (морфология поверхности) и тестирование оптической однородности (Δn <5×10⁻⁵).
4. Поддержка глобальной цепочки поставок
Производственная мощность: ежемесячный выпуск >5000 слитков (8 дюймов: 70%), поддержка экстренной поставки в течение 48 часов.
Логистическая сеть: Охват Европы, Северной Америки и Азиатско-Тихоокеанского региона посредством авиа/морских перевозок с упаковкой с контролируемой температурой.
5. Техническое сотрудничество
Совместные научно-исследовательские лаборатории: сотрудничество в области платформ фотонной интеграции (например, соединение слоев SiO2 с низкими потерями).
Краткое содержание
Слитки LiTaO3 служат стратегическими материалами, преобразующими оптоэлектронику и квантовые технологии. Благодаря инновациям в области роста кристаллов (например, PVT), устранения дефектов и гетерогенной интеграции (например, POI) мы предлагаем высоконадежные и экономичные решения для сетей связи 5G/6G, квантовых вычислений и промышленного Интернета вещей. Приверженность XKH к сокращению дефектов слитков и масштабированию производства 8-дюймовых компонентов обеспечивает клиентам лидирующие позиции в глобальных цепочках поставок, открывая новую эру экосистем широкозонных полупроводников.

