Слитки танталата лития LiTaO3 с легированием Fe/Mg, изготовленные на заказ, размером 4, 6 и 8 дюймов, для промышленного сенсорного применения.
Технические параметры
Спецификация | Общепринятый | Высокая точность |
Материалы | пластины LiTaO3(LT)/LiNbO3 | пластины LiTaO3(LT)/LiNbO3 |
Ориентация | X-112°Y,36°Y,42°Y±0.5° | X-112°Y,36°Y,42°Y±0.5° |
Параллельный | 30″ | 10'' |
Перпендикуляр | 10′ | 5' |
Качество поверхности | 40/20 | 20/10 |
Искажение волнового фронта | λ/4@632 нм | λ/8@632 нм |
Плоскостность поверхности | λ/4@632 нм | λ/8@632 нм |
Свободная диафрагма | >90% | >90% |
Фаска | <0.2×45° | <0.2×45° |
Допуск по толщине/диаметру | ±0,1 мм | ±0,1 мм |
Максимальные размеры | диаметр 150 × 50 мм | диаметр 150 × 50 мм |
XKH Services
1. Крупномасштабное производство слитков
Размер и резка: слитки размером 3–8 дюймов с резкой по осям X/Y/Z, резкой под углом 42°Y и угловой резкой по индивидуальному заказу (допуск ±0,01°).
Контроль легирования: совместное легирование Fe/Mg методом Чохральского (диапазон концентраций 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) для оптимизации фоторефрактивного сопротивления и термической стабильности.
2. Передовые технологические процессы
Гетерогенная интеграция: композитные пластины LiTaO3 на основе кремния (POI) с контролируемой толщиной (300–600 нм) и теплопроводностью до 8,78 Вт/м·К для высокочастотных фильтров поверхностных акустических волн.
Изготовление волноводов: Методы протонного обмена (PE) и обратного протонного обмена (RPE), позволяющие создавать волноводы субмикронного размера (Δn >0,7) для высокоскоростных электрооптических модуляторов (полоса пропускания >40 ГГц).
3. Системы управления качеством
Комплексное тестирование: рамановская спектроскопия (проверка полиморфизма), рентгеновская дифракция (кристалличность), атомно-силовая микроскопия (морфология поверхности) и проверка оптической однородности (Δn <5×10⁻⁵).
4. Поддержка глобальной цепочки поставок
Производственная мощность: Ежемесячный объем производства >5000 слитков (8 дюймов: 70%), что позволяет осуществлять экстренную доставку в течение 48 часов.
Логистическая сеть: охват Европы, Северной Америки и Азиатско-Тихоокеанского региона посредством авиа- и морских перевозок с использованием упаковки, требующей контроля температуры.
5. Техническая совместная разработка
Совместные научно-исследовательские лаборатории: сотрудничество в разработке платформ фотонной интеграции (например, соединение слоев SiO2 с низкими потерями).
Краткое содержание
Слитки LiTaO3 служат стратегическими материалами, меняющими оптоэлектронику и квантовые технологии. Благодаря инновациям в выращивании кристаллов (например, PVT), уменьшении дефектов и гетерогенной интеграции (например, POI), мы предлагаем высоконадежные и экономически эффективные решения для связи 5G/6G, квантовых вычислений и промышленного Интернета вещей. Приверженность XKH к снижению дефектов в слитках и масштабированию 8-дюймового производства гарантирует клиентам лидирующие позиции в глобальных цепочках поставок, способствуя развитию следующей эры экосистем широкозонных полупроводников.









