12-дюймовая сапфировая пластина C-Plane SSP/DSP
Введение вафельной коробки
Производство 12-дюймовых сапфировых пластин — сложный и специализированный процесс. Вот некоторые ключевые этапы, связанные с производством 12-дюймовых сапфировых пластин:
Подготовка затравочного кристалла: Первым шагом является подготовка затравочного кристалла, который служит шаблоном для выращивания монокристаллического сапфира. Затравочный кристалл тщательно формируется и полируется для обеспечения надлежащего выравнивания и гладкости поверхности.
Плавка оксида алюминия: высокочистый оксид алюминия (Al2O3) плавится в тигле. Тигель обычно изготавливается из платины или других инертных материалов, которые выдерживают высокие температуры.
Рост кристалла: расплавленный оксид алюминия затем засевается подготовленным затравочным кристаллом и медленно охлаждается, поддерживая контролируемую атмосферу. Этот процесс позволяет кристаллу сапфира расти слой за слоем, образуя монокристаллический слиток.
Формование слитка: После того, как кристалл вырастает до нужного размера, его извлекают из тигля и придают ему форму цилиндрической були. Затем булю аккуратно разрезают на тонкие пластины.
Обработка пластин: нарезанные пластины подвергаются различным процессам для достижения желаемой толщины, отделки поверхности и качества. Сюда входят шлифовка, полировка и химико-механическая планаризация (ХМП) для удаления дефектов поверхности и достижения требуемой плоскостности и гладкости.
Очистка и осмотр: Обработанные пластины проходят тщательную очистку для удаления любых загрязнений. Затем их проверяют на наличие дефектов, таких как трещины, царапины и примеси.
Упаковка и отгрузка: Наконец, проверенные пластины упаковываются и подготавливаются к отправке клиентам, как правило, в контейнеры для пластин, обеспечивающие защиту во время транспортировки.
Важно отметить, что производство 12-дюймовых сапфировых пластин может потребовать специализированного оборудования и установок по сравнению с пластинами меньших размеров. Процесс может также включать передовые методы, такие как исключение краев и управление напряжением, чтобы гарантировать целостность и качество более крупных пластин.
Если вам нужны сапфировые подложки, пожалуйста, свяжитесь с нами:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Мы свяжемся с вами как можно скорее!
Подробная схема

