Вафля FZ CZ Si на складе 12-дюймовая кремниевая пластина Prime или Test
Представление вафельной коробки
Полированные вафли
Кремниевые пластины, специально отполированные с обеих сторон до зеркальной поверхности.Превосходные характеристики, такие как чистота и плоскостность, определяют лучшие характеристики этой пластины.
Нелегированные кремниевые пластины
Они также известны как внутренние кремниевые пластины.Этот полупроводник представляет собой чистую кристаллическую форму кремния без каких-либо примесей по всей пластине, что делает его идеальным и совершенным полупроводником.
Легированные кремниевые пластины
N-тип и P-тип — это два типа легированных кремниевых пластин.
Пластины легированного кремния N-типа содержат мышьяк или фосфор.Он широко используется при производстве современных КМОП-устройств.
Пластины кремния P-типа, легированные бором.В основном его используют для изготовления печатных плат или фотолитографии.
Эпитаксиальные пластины
Эпитаксиальные пластины — это обычные пластины, используемые для обеспечения целостности поверхности.Эпитаксиальные пластины доступны в толстых и тонких пластинах.
Многослойные эпитаксиальные пластины и толстые эпитаксиальные пластины также используются для регулирования энергопотребления и контроля мощности устройств.
Тонкие эпитаксиальные пластины обычно используются в лучших МОП-инструментах.
SOI пластины
Эти пластины используются для электрической изоляции тонких слоев монокристаллического кремния от всей кремниевой пластины.Пластины КНИ обычно используются в кремниевой фотонике и высокопроизводительных радиочастотных приложениях.Пластины SOI также используются для уменьшения паразитной емкости устройств в микроэлектронных устройствах, что помогает повысить производительность.
Почему изготовление пластин затруднено?
12-дюймовые кремниевые пластины очень сложно нарезать с точки зрения производительности.Хотя кремний тверд, он также хрупок.Неровные участки образуются из-за того, что края распиленных пластин имеют тенденцию ломаться.Алмазные диски используются для сглаживания краев пластин и устранения повреждений.После резки вафли легко ломаются, поскольку теперь у них острые края.Края пластин сконструированы таким образом, что исключаются хрупкие острые края и снижается вероятность соскальзывания.В результате операции формирования кромки регулируется диаметр пластины, скругляется пластина (после нарезки отрезанная пластина имеет овальную форму), выполняются или калибруются надрезы или ориентированные плоскости.