Пластина FZ CZ Si в наличии 12-дюймовая кремниевая пластина Prime или Test
Введение вафельной коробки
Полированные пластины
Кремниевые пластины, специально отполированные с обеих сторон для получения зеркальной поверхности. Превосходные характеристики, такие как чистота и плоскостность, определяют лучшие характеристики этой пластины.
Нелегированные кремниевые пластины
Их также называют пластинами собственного кремния. Этот полупроводник представляет собой чистую кристаллическую форму кремния без каких-либо легирующих примесей по всей пластине, что делает его идеальным и совершенным полупроводником.
Легированные кремниевые пластины
N-тип и P-тип — это два типа легированных кремниевых пластин.
Пластины кремния, легированные N-типом, содержат мышьяк или фосфор. Они широко используются в производстве современных КМОП-устройств.
Пластины кремния P-типа, легированные бором. В основном используются для изготовления печатных плат или фотолитографии.
Эпитаксиальные пластины
Эпитаксиальные пластины — это традиционные пластины, используемые для обеспечения целостности поверхности. Они бывают толстыми и тонкими.
Многослойные эпитаксиальные пластины и толстые эпитаксиальные пластины также используются для регулирования энергопотребления и управления мощностью устройств.
Тонкие эпитаксиальные пластины обычно используются в высококачественных МОП-приборах.
Пластины SOI
Эти пластины используются для электрической изоляции тонких слоёв монокристаллического кремния от всей кремниевой пластины. Пластины SOI широко используются в кремниевой фотонике и высокопроизводительных СВЧ-приложениях. Пластины SOI также используются для уменьшения паразитной ёмкости микроэлектронных устройств, что способствует повышению их производительности.
Почему изготовление пластин затруднено?
12-дюймовые кремниевые пластины очень трудно поддаются нарезке с точки зрения выхода годного материала. Несмотря на свою твёрдость, кремний также хрупкий. Шероховатости образуются, когда распиленные края пластины склонны к поломке. Алмазные диски используются для сглаживания краев пластин и удаления любых повреждений. После резки пластины легко ломаются, поскольку у них появляются острые края. Кромки пластин разработаны таким образом, чтобы исключить хрупкие, острые края и снизить вероятность соскальзывания. В результате операции формирования кромок регулируется диаметр пластины, она закругляется (после нарезки отрезанная пластина имеет овальную форму), а также делаются надрезы или ориентированные плоскости или калибруются.
Подробная схема


