FZ CZ Si пластина в наличии 12-дюймовая кремниевая пластина Prime или Test
Введение вафельной коробки
Полированные пластины
Кремниевые пластины, которые специально отполированы с обеих сторон для получения зеркальной поверхности. Превосходные характеристики, такие как чистота и плоскостность, определяют лучшие характеристики этой пластины.
Нелегированные кремниевые пластины
Их также называют собственными кремниевыми пластинами. Этот полупроводник представляет собой чистую кристаллическую форму кремния без присутствия какой-либо легирующей примеси по всей пластине, что делает его идеальным и совершенным полупроводником.
Пластины из легированного кремния
N-тип и P-тип — это два типа легированных кремниевых пластин.
Легированные кремниевые пластины N-типа содержат мышьяк или фосфор. Широко используется в производстве современных КМОП-устройств.
Кремниевые пластины P-типа, легированные бором. В основном используются для изготовления печатных плат или фотолитографии.
Эпитаксиальные пластины
Эпитаксиальные пластины — это обычные пластины, используемые для получения целостности поверхности. Эпитаксиальные пластины доступны в толстых и тонких пластинах.
Многослойные эпитаксиальные пластины и толстые эпитаксиальные пластины также используются для регулирования энергопотребления и управления питанием устройств.
Тонкие эпитаксиальные пластины обычно используются в высококачественных МОП-приборах.
Пластины SOI
Эти пластины используются для электрической изоляции тонких слоев монокристаллического кремния от всей кремниевой пластины. Пластины SOI обычно используются в кремниевой фотонике и высокопроизводительных радиочастотных приложениях. Пластины SOI также используются для снижения паразитной емкости устройства в микроэлектронных устройствах, что помогает улучшить производительность.
Почему изготовление пластин затруднено?
12-дюймовые кремниевые пластины очень трудно нарезать с точки зрения выхода годного. Хотя кремний твердый, он также хрупкий. Грубые области образуются, поскольку распиленные края пластины имеют тенденцию ломаться. Алмазные диски используются для сглаживания краев пластин и удаления любых повреждений. После резки пластины легко ломаются, поскольку теперь у них острые края. Края пластин спроектированы таким образом, что хрупкие, острые края устранены, а вероятность соскальзывания снижена. В результате операции по формированию краев регулируется диаметр пластины, пластина округляется (после нарезки отрезанная пластина становится овальной), а также делаются надрезы или ориентированные плоскости или определяются их размер.
Подробная схема


