Сапфировая пластина диаметром 300 мм и толщиной 1,0 мм, плоскость C, SSP/DSP
Вставка коробки с вафлями
| Кристаллические материалы | 99,999% Al2O3, высокая чистота, монокристаллический Al2O3 | |||
| Кристальное качество | Включения, следы от блоков, двойники, цвет, микропузырьки и центры рассеивания отсутствуют. | |||
| Диаметр | 2 дюйма | 3 дюйма | 4 дюйма | 6–12 дюймов |
| 50,8± 0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | В соответствии с положениями стандарта производства | |
| Толщина | 430±15 мкм | 550±15 мкм | 650±20 мкм | Может быть настроен по желанию клиента. |
| Ориентация | C-плоскость (0001) к M-плоскости (1-100) или A-плоскости (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-плоскость (1-1 0 2), A-плоскость (1 1-2 0), M-плоскость (1-1 0 0), любая ориентация, любой угол | |||
| Основная плоская длина | 16,0±1 мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | В соответствии с положениями стандарта производства |
| Ориентация основной квартиры | Плоскость А (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
| ТТВ | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| ЛТВ | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| ТИР | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| ПОКЛОН | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| Искажение | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| Передняя поверхность | Эпитаксиально отполированный (Ra < 0,2 нм) | |||
*Изгиб: Отклонение центральной точки срединной поверхности свободной, незакрепленной пластины от опорной плоскости, которая определяется тремя вершинами равностороннего треугольника.
*Искривление: разница между максимальным и минимальным расстояниями срединной поверхности свободной, незакрепленной пластины от опорной плоскости, определенной выше.
Высококачественная продукция и услуги для полупроводниковых устройств следующего поколения и эпитаксиального роста:
Высокая степень плоскостности (контролируемое значение TTV, изгиб, деформация и т. д.)
Высококачественная очистка (низкий уровень загрязнения частицами, низкий уровень загрязнения металлами)
Сверление, нарезание канавок, резка и полировка обратной стороны подложки.
Добавление данных, таких как чистота и форма субстрата (необязательно).
Если вам необходимы сапфировые подложки, пожалуйста, свяжитесь с нами:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Мы свяжемся с вами как можно скорее!
Подробная схема
