Сапфировая пластина толщиной Dia300x1,0 мм C-плоскость SSP/DSP
Представление вафельной коробки
Кристаллические материалы | 99,999% Al2O3, монокристаллический Al2O3 высокой чистоты. | |||
Кристальное качество | Включения, следы блоков, двойники, цвет, микропузырьки и центры рассеяния отсутствуют. | |||
Диаметр | 2 дюйма | 3 дюйма | 4 дюйма | 6 дюймов ~ 12 дюймов |
50,8± 0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | В соответствии с положениями стандартного производства | |
Толщина | 430±15 мкм | 550±15 мкм | 650±20 мкм | Может быть настроен клиентом |
Ориентация | От C-плоскости (0001) до M-плоскости (1-100) или A-плоскости (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-плоскости (1-1 0 2), A-плоскости (1 1-2 0), M-плоскость (1-1 0 0), Любая ориентация, Любой угол | |||
Первичная плоская длина | 16,0±1 мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | В соответствии с положениями стандартного производства |
Первичная плоская ориентация | Плоскость А (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
ТТВ | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Общая ценность | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
МДП | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
ПОКЛОН | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Деформация | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Передняя поверхность | Эпи-полировка (Ra<0,2 нм) |
*Лук: отклонение центральной точки срединной поверхности свободной незажатой пластины от базовой плоскости, где базовая плоскость определяется тремя углами равностороннего треугольника.
*Деформация: разница между максимальным и минимальным расстоянием срединной поверхности свободной незажатой пластины от базовой плоскости, определенной выше.
Высококачественные продукты и услуги для полупроводниковых приборов нового поколения и эпитаксиального выращивания:
Высокая степень плоскостности (контролируемое TTV, изгиб, деформация и т. д.)
Качественная очистка (низкий уровень загрязнения частицами, низкий уровень загрязнения металлами)
Сверление подложки, обработка канавок, резка и полировка задней стороны.
Прикрепление таких данных, как чистота и форма подложки (необязательно).
Если вам нужны сапфировые подложки, пожалуйста, свяжитесь с нами:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Мы вернемся к вам как можно скорее!