Диаметр 300x1,0 мм Толщина Сапфировая пластина C-Plane SSP/DSP
Введение вафельной коробки
Кристаллические Материалы | 99,999% Al2O3,Высокая чистота, Монокристаллический, Al2O3 | |||
Качество хрусталя | Включения, следы блоков, двойники, цвет, микропузырьки и центры дисперсии отсутствуют. | |||
Диаметр | 2дюйма | 3дюйма | 4дюйма | 6 дюймов ~ 12 дюймов |
50,8± 0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | В соответствии с положениями стандартного производства | |
Толщина | 430±15мкм | 550±15мкм | 650±20мкм | Может быть настроено заказчиком |
Ориентация | Плоскость C (0001) к плоскости M (1-100) или плоскости A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, плоскость R (1-1 0 2), плоскость A (1 1-2 0 ), плоскость M (1-1 0 0), любая ориентация, любой угол | |||
Длина первичной плоскости | 16,0±1мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | В соответствии с положениями стандартного производства |
Первичная плоская ориентация | Плоскость А (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
ТТВ | ≤10мкм | ≤15мкм | ≤20мкм | ≤30мкм |
ЛТВ | ≤10мкм | ≤15мкм | ≤20мкм | ≤30мкм |
МДП | ≤10мкм | ≤15мкм | ≤20мкм | ≤30мкм |
ПОКЛОН | ≤10мкм | ≤15мкм | ≤20мкм | ≤30мкм |
Варп | ≤10мкм | ≤15мкм | ≤20мкм | ≤30мкм |
Передняя поверхность | Эпи-полировка (Ra< 0,2 нм) |
*Изгиб: Отклонение центральной точки срединной поверхности свободной, незакрепленной пластины от плоскости отсчета, где плоскость отсчета определяется тремя углами равностороннего треугольника.
*Деформация: разница между максимальным и минимальным расстояниями срединной поверхности свободной, незакрепленной пластины от опорной плоскости, определенной выше.
Высококачественные продукты и услуги для полупроводниковых приборов нового поколения и эпитаксиального роста:
Высокая степень плоскостности (контролируемое TTV, изгиб, перекос и т. д.)
Высококачественная очистка (низкий уровень загрязнения частицами, низкий уровень загрязнения металлами)
Сверление подложки, прорезание канавок, резка и полировка задней стороны
Прикрепление данных, таких как чистота и форма подложки (необязательно)
Если вам нужны сапфировые подложки, пожалуйста, свяжитесь с нами:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Мы свяжемся с вами как можно скорее!
Подробная схема

