Диаметр 300x1,0 мм Толщина Сапфировая пластина C-Plane SSP/DSP

Краткое описание:

Компания Shanghai Xinkehui New Material Co., Ltd. может производить сапфировые пластины с различной ориентацией поверхности (c, r, a и m-плоскость) и контролировать угол среза с точностью до 0,1 градуса. Используя нашу фирменную технологию, мы можем достичь высокого качества, необходимого для таких применений, как эпитаксиальный рост и соединение пластин.


Подробности продукта

Теги продукта

Введение вафельной коробки

Кристаллические Материалы 99,999% Al2O3,Высокая чистота, Монокристаллический, Al2O3
Качество хрусталя Включения, следы блоков, двойники, цвет, микропузырьки и центры дисперсии отсутствуют.
Диаметр 2дюйма 3дюйма 4дюйма 6 дюймов ~ 12 дюймов
50,8± 0,1 мм 76,2±0,2 мм 100±0,3 мм В соответствии с положениями стандартного производства
Толщина 430±15мкм 550±15мкм 650±20мкм Может быть настроено заказчиком
Ориентация Плоскость C (0001) к плоскости M (1-100) или плоскости A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, плоскость R (1-1 0 2), плоскость A (1 1-2 0 ), плоскость M (1-1 0 0), любая ориентация, любой угол
Длина первичной плоскости 16,0±1мм 22,0±1,0 мм 32,5±1,5 мм В соответствии с положениями стандартного производства
Первичная плоская ориентация Плоскость А (1 1-2 0 ) ± 0,2°      
ТТВ ≤10мкм ≤15мкм ≤20мкм ≤30мкм
ЛТВ ≤10мкм ≤15мкм ≤20мкм ≤30мкм
МДП ≤10мкм ≤15мкм ≤20мкм ≤30мкм
ПОКЛОН ≤10мкм ≤15мкм ≤20мкм ≤30мкм
Варп ≤10мкм ≤15мкм ≤20мкм ≤30мкм
Передняя поверхность Эпи-полировка (Ra< 0,2 нм)

*Изгиб: Отклонение центральной точки срединной поверхности свободной, незакрепленной пластины от плоскости отсчета, где плоскость отсчета определяется тремя углами равностороннего треугольника.

*Деформация: разница между максимальным и минимальным расстояниями срединной поверхности свободной, незакрепленной пластины от опорной плоскости, определенной выше.

Высококачественные продукты и услуги для полупроводниковых приборов нового поколения и эпитаксиального роста:

Высокая степень плоскостности (контролируемое TTV, изгиб, перекос и т. д.)

Высококачественная очистка (низкий уровень загрязнения частицами, низкий уровень загрязнения металлами)

Сверление подложки, прорезание канавок, резка и полировка задней стороны

Прикрепление данных, таких как чистота и форма подложки (необязательно)

Если вам нужны сапфировые подложки, пожалуйста, свяжитесь с нами:

почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Мы свяжемся с вами как можно скорее!

Подробная схема

вкс (2)
вкс (1)

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам