8-дюймовая кремниевая пластина P/N-типа (100) 1-100 Ом, фиктивная подложка для восстановления

Краткое описание:

Большой ассортимент двусторонних полированных пластин диаметром от 50 до 400 мм. Если вашей спецификации нет в нашем ассортименте, мы наладили долгосрочные отношения со многими поставщиками, которые могут изготовить пластины по индивидуальному заказу в соответствии с любыми уникальными требованиями. Двусторонние полированные пластины могут использоваться для кремния, стекла и других материалов, широко используемых в полупроводниковой промышленности.

Написать нам письмо

Функции

Введение вафельной коробки

8-дюймовая кремниевая пластина – это распространённый материал для кремниевой подложки, широко используемый в производстве интегральных схем. Такие кремниевые пластины широко используются для изготовления различных типов интегральных схем, включая микропроцессоры, микросхемы памяти, датчики и другие электронные устройства. 8-дюймовые кремниевые пластины обычно используются для изготовления микросхем относительно больших размеров, имея такие преимущества, как большая площадь поверхности и возможность изготовления большего количества микросхем на одной кремниевой пластине, что приводит к повышению эффективности производства. 8-дюймовая кремниевая пластина также обладает хорошими механическими и химическими свойствами, что делает её подходящей для крупносерийного производства интегральных схем.

Характеристики продукта

8-дюймовая полированная кремниевая пластина типа P/N (25 шт.)

Ориентация: 200

Удельное сопротивление: 0,1 - 40 Ом·см (может варьироваться в зависимости от партии)

Толщина: 725+/-20мкм

Prime/Monitor/Test Grade

СВОЙСТВА МАТЕРИАЛА

Параметр	Характеристика
Тип/Легирующая примесь	P, бор N, фосфор N, сурьма N, мышьяк
Ориентации	<100>, <111> ориентация нарезки по спецификации заказчика
Содержание кислорода	10¹⁹ppmA Индивидуальные допуски по спецификации заказчика
Содержание углерода	< 0,6 ppmA

МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

Параметр	Основной	Монитор/Тест А	Тест
Диаметр	200±0,2 мм	200 ± 0,2 мм	200 ± 0,5 мм
Толщина	725±20 мкм (стандарт)	725±25 мкм (стандарт) 450±25 мкм 625±25мкм 1000±25мкм 1300±25мкм 1500±25 мкм	725±50 мкм (стандарт)
ТТВ	< 5 мкм	< 10 мкм	< 15 мкм
Поклон	< 30 мкм	< 30 мкм	< 50 мкм
Сворачивать	< 30 мкм	< 30 мкм	< 50 мкм
Скругление краев	SEMI-STD
Маркировка	Только первичные полуплоские, полустандартные плоские, плоские, с выемкой

Параметр	Основной	Монитор/Тест А	Тест
Критерии лицевой стороны
Состояние поверхности	Химико-механическая полировка	Химико-механическая полировка	Химико-механическая полировка
Шероховатость поверхности	< 2 А°	< 2 А°	< 2 А°
Загрязнение Частицы @ >0,3 мкм	= 20	= 20	= 30
Дымка, Ямы Апельсиновая корка	Никто	Никто	Никто
Пила,Маркс Полосы	Никто	Никто	Никто
Критерии обратной стороны
Трещины, «гусиные лапки», следы от пилы, пятна	Никто	Никто	Никто
Состояние поверхности	Едкое травление