8-дюймовая кремниевая пластина P/N-типа (100) 1-100 Ом, имитация восстановленной подложки
Вставка коробки с вафлями
8-дюймовая кремниевая пластина — это широко используемый материал кремниевой подложки, применяемый в процессе производства интегральных схем. Такие кремниевые пластины обычно используются для изготовления различных типов интегральных схем, включая микропроцессоры, микросхемы памяти, датчики и другие электронные устройства. 8-дюймовые кремниевые пластины обычно используются для изготовления микросхем относительно больших размеров, обладая такими преимуществами, как большая площадь поверхности и возможность изготовления большего количества микросхем на одной кремниевой пластине, что приводит к повышению эффективности производства. 8-дюймовая кремниевая пластина также обладает хорошими механическими и химическими свойствами, что делает её подходящей для крупномасштабного производства интегральных схем.
Характеристики продукта
8-дюймовые полированные кремниевые пластины типа P/N (25 шт.)
Ориентация: 200
Удельное сопротивление: 0,1–40 Ом•см (может варьироваться в зависимости от партии).
Толщина: 725±20 мкм
Основной/Монитор/Тестовый класс
СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
| Параметр | Характерный |
| Тип/Допант | P, бор N, фосфор N, сурьма N, мышьяк |
| Ориентации | <100>, <111> ориентация среза в соответствии со спецификациями заказчика |
| Содержание кислорода | 1019ppmA. Индивидуальные допуски по спецификации заказчика. |
| Содержание углерода | < 0,6 ppmA |
МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
| Параметр | Основной | Монитор/Тест А | Тест |
| Диаметр | 200±0,2 мм | 200 ± 0,2 мм | 200 ± 0,5 мм |
| Толщина | 725±20 мкм (стандарт) | 725±25 мкм (стандарт) 450±25 мкм 625±25 мкм 1000±25 мкм 1300±25 мкм 1500±25 мкм | 725±50 мкм (стандарт) |
| ТТВ | < 5 мкм | < 10 мкм | < 15 мкм |
| Поклон | < 30 мкм | < 30 мкм | < 50 мкм |
| Сворачивать | < 30 мкм | < 30 мкм | < 50 мкм |
| Скругление кромок | ПОЛУСТАНДАРТНЫЙ | ||
| Маркировка | Только квартиры-полуотдельники, квартиры-полуотдельники стандартной комплектации Jeida Flat, Notch | ||
| Параметр | Основной | Монитор/Тест А | Тест |
| Критерии лицевой стороны | |||
| Состояние поверхности | Химико-механическая полировка | Химико-механическая полировка | Химико-механическая полировка |
| Шероховатость поверхности | < 2 А° | < 2 А° | < 2 А° |
| Загрязнение Частицы размером >0,3 мкм | = 20 | = 20 | = 30 |
| Дымка, Ямы Апельсиновая кожура | Никто | Никто | Никто |
| Пила, следы Поперечные полосы | Никто | Никто | Никто |
| Критерии обратной стороны | |||
| Трещины, «гусиные лапки», следы от пилы, пятна | Никто | Никто | Никто |
| Состояние поверхности | едкое травление | ||
Подробная схема





