8-дюймовая кремниевая пластина P/N-типа (100) 1-100 Ом фиктивная подложка для восстановления

Краткое описание:

Большой запас двухсторонних полированных пластин, все пластины диаметром от 50 до 400 мм. Если ваша спецификация отсутствует в нашем запасе, мы установили долгосрочные отношения со многими поставщиками, которые могут изготовить пластины на заказ в соответствии с любой уникальной спецификацией. Двухсторонние полированные пластины могут использоваться для кремния, стекла и других материалов, обычно используемых в полупроводниковой промышленности.


Функции

Введение вафельной коробки

8-дюймовая кремниевая пластина является широко используемым материалом кремниевой подложки и широко применяется в процессе производства интегральных схем. Такие кремниевые пластины обычно используются для изготовления различных типов интегральных схем, включая микропроцессоры, чипы памяти, датчики и другие электронные устройства. 8-дюймовые кремниевые пластины обычно используются для изготовления чипов относительно больших размеров, с такими преимуществами, как большая площадь поверхности и возможность изготавливать больше чипов на одной кремниевой пластине, что приводит к повышению эффективности производства. 8-дюймовая кремниевая пластина также имеет хорошие механические и химические свойства, что подходит для крупномасштабного производства интегральных схем.

Характеристики продукта

8" тип P/N, полированная кремниевая пластина (25 шт.)

Ориентация: 200

Удельное сопротивление: 0,1 - 40 Ом•см (может отличаться от партии к партии)

Толщина: 725+/-20мкм

Prime/Monitor/Test класс

СВОЙСТВА МАТЕРИАЛА

Параметр Характеристика
Тип/Лекарственная примесь P, бор N, фосфор N, сурьма N, мышьяк
Ориентации <100>, <111> ориентация среза по спецификации заказчика
Содержание кислорода 1019ppmA Индивидуальные допуски по спецификации заказчика
Содержание углерода < 0,6 частей на миллион А

МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

Параметр Основной Монитор/ Тест А Тест
Диаметр 200±0,2 мм 200 ± 0,2 мм 200 ± 0,5 мм
Толщина 725±20мкм (стандарт) 725±25мкм(стандарт) 450±25мкм

625±25мкм

1000±25мкм

1300±25мкм

1500±25 мкм

725±50мкм (стандарт)
ТТВ < 5 мкм < 10 мкм < 15 мкм
Поклон < 30 мкм < 30 мкм < 50 мкм
Сворачивать < 30 мкм < 30 мкм < 50 мкм
Закругление кромок ПОЛУСТАНДАРТНЫЙ
Маркировка Только первичные полуплоские, полустандартные плоские Jeida Flat, Notch
Параметр Основной Монитор/ Тест А Тест
Критерии лицевой стороны
Состояние поверхности Химическая Механическая Полировка Химическая Механическая Полировка Химическая Механическая Полировка
Шероховатость поверхности < 2 А° < 2 А° < 2 А°
Загрязнение

Частицы@ >0,3 мкм

= 20 = 20 = 30
Дымка,Ямы

Апельсиновая корка

Никто Никто Никто
Пила,Маркс

Полосы

Никто Никто Никто
Критерии обратной стороны
Трещины, гусиные лапки, следы от пилы, пятна Никто Никто Никто
Состояние поверхности Каустическое травление

Подробная схема

IMG_1463 (1)
IMG_1463 (2)
IMG_1463 (3)

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам