8-дюймовая пластина из ниобата лития LiNbO3 LN
Подробная информация
Диаметр | 200±0,2 мм |
большая плоскостность | 57,5 мм, выемка |
Ориентация | 128Y-образная насечка, X-образная насечка, Z-образная насечка |
Толщина | 0,5±0,025 мм, 1,0±0,025 мм |
Поверхность | DSP и SSP |
ТТВ | < 5 мкм |
ПОКЛОН | ± (20 мкм ~40 мкм) |
Варп | <= 20 мкм ~ 50 мкм |
ЛТВ (5ммx5мм) | <1,5 мкм |
ПЛТВ(<0,5мкм) | ≥98% (5 мм*5 мм) с исключением кромки 2 мм |
Ra | Ra<=5А |
Царапать и копать (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
Край | Знакомьтесь с SEMI M1.2@с GC800#. обычный в типе C |
Конкретные характеристики
Диаметр: 8 дюймов (приблизительно 200 мм)
Толщина: Стандартная толщина составляет от 0,5 мм до 1 мм. Другие значения толщины могут быть изготовлены по индивидуальному заказу.
Ориентация кристалла: основная распространенная ориентация кристалла — это 128Y-срез, Z-срез и X-срез, а другие ориентации кристалла могут быть предусмотрены в зависимости от конкретного применения.
Преимущества размера: 8-дюймовые вафли из серрата-карпа имеют несколько преимуществ по сравнению с вафлями меньшего размера:
Большая площадь: по сравнению с 6-дюймовыми или 4-дюймовыми пластинами, 8-дюймовые пластины обеспечивают большую площадь поверхности и могут вмещать больше устройств и интегральных схем, что приводит к повышению эффективности производства и выхода продукции.
Более высокая плотность: при использовании 8-дюймовых пластин можно реализовать больше устройств и компонентов на той же площади, увеличивая интеграцию и плотность устройств, что, в свою очередь, повышает производительность устройств.
Лучшая однородность: более крупные пластины имеют лучшую однородность в процессе производства, что помогает снизить вариативность в процессе изготовления и повысить надежность и однородность продукции.
8-дюймовые пластины L и LN имеют тот же диаметр, что и обычные кремниевые пластины, и легко соединяются. Они представляют собой высокоэффективный материал для «соединённых ПАВ-фильтров», способный работать в высоких диапазонах частот.
Подробная схема



