6-дюймовая кремниевая пластина N-типа или P-типа, пластина CZ Si
Введение вафельной коробки
Характеристики кремниевой пластины:
Рост 6-дюймовой кремниевой пластины: CZ, MCZ, FZ.
6 Класс кремниевой пластины: Prime, Test, Dummy и т.д.
6-дюймовая кремниевая пластина Диаметр: 6 дюймов/150 мм.
6-дюймовая кремниевая пластина. Толщина: 200~3000 мкм.
6-дюймовая кремниевая пластина. Отделка: резка, шлифовка, травление, SSP, DSP и т. д.
6-дюймовая кремниевая пластина Ориентация: (100) (111) (110) (531) (553) и т.д.。
6-дюймовая кремниевая пластина. Обрезка: до 4 градусов.
6-дюймовая кремниевая пластина Тип/Легирующая примесь: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Собственная.
6-дюймовая кремниевая пластина Удельное сопротивление: CZ/MCZ: от 0,001 до 1000 Ом-см. FZ: до 20 кОм-см.
6-дюймовая кремниевая пластина Тонкие пленки: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo и т.д., толщина покрытия до 20.000 А/5%.
(b)LPCVD/PECVD: оксид, нитрид, карбид кремния и т. д., толщина покрытия до 200.000 А/3%.
(c)Кремниевые эпитаксиальные пластины и эпитаксиальные услуги (SOS, GaN, GOI и т.д.).
6-дюймовые кремниевые пластины. Процессы: a.DSP, сверхтонкие, сверхплоские и т. д.
б.Уменьшение размеров, шлифовка, резка и т. д. в. MEMS.
С 2010 года компания Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd. стремится предоставлять клиентам комплексные решения для 4-дюймовых кремниевых пластин, от отладочного уровня пластин Dummy Wafer, тестового уровня пластин Test Wafer до уровня пластин Prime Wafer, а также специальные пластины, оксидные пластины Oxide, нитридные пластины Si3N4, алюминиевые пластины, кремниевые пластины с медным покрытием, пластины SOI, MEMS-стекло, индивидуальные сверхтолстые и сверхплоские пластины и т. д. размерами от 50 мм до 300 мм, и мы можем предоставить полупроводниковые пластины с односторонней/двусторонней полировкой, утончением, резкой, MEMS и другими услугами по обработке и настройке.
Подробная схема


