6-дюймовая кремниевая пластина N-типа или P-типа CZ Si пластина
Представление вафельной коробки
Технические характеристики кремниевой пластины:
6-дюймовая кремниевая пластина. Рост: CZ, MCZ, FZ.
6. Класс кремниевой пластины: Prime, Test, Dummy и т. д.
6-дюймовая кремниевая пластина. Диаметр: 6 дюймов/150 мм.
Толщина кремниевой пластины 6 дюймов: 200 ~ 3000 мкм.
6-дюймовая кремниевая пластина. Отделка: резка, притирка, травление, SSP, DSP и т. д.
Ориентация кремниевой пластины 6 дюймов: (100) (111) (110) (531) (553) и т. д.
6-дюймовая кремниевая пластина. Отрезок: до 4 градусов.
6-дюймовая кремниевая пластина. Тип/легирующая добавка: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, внутренняя.
6-дюймовая кремниевая пластина. Сопротивление: CZ/MCZ: от 0,001 до 1000 Ом-см. ФЗ: до 20кОм-см.
6-дюймовая кремниевая пластина. Тонкие пленки: (а) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo и т. д. Толщина покрытия до 20 000 А/5%.
(b)LPCVD/PECVD: оксиды, нитриды, карбид кремния и т. д., толщина покрытия до 200 000 А/3%.
(c) Кремниевые эпитаксиальные пластины и эпитаксиальные услуги (SOS, GaN, GOI и т. д.).
6-дюймовая кремниевая пластина. Процессы: DSP, ультратонкий, ультраплоский и т. д.
b. Уменьшение размеров, обратное шлифование, нарезка кубиками и т. д. c. МЭМС.
С 2010 года компания Shanghai XKH Material Tech. Компания Co.,Ltd стремится предоставлять клиентам комплексные решения для 4-дюймовых пластин Silicon Wafer, от пластин уровня отладки Dummy Wafer, пластин тестового уровня Test Wafer до пластин уровня продукта Prime Wafer, а также специальных пластин, оксидных пластин Oxide, Нитридные пластины Si3N4, пластины с алюминиевым покрытием, кремниевые пластины с медным покрытием, пластины SOI, стекло MEMS, сверхтолстые по индивидуальному заказу и сверхплоские пластины и т. д. размером от 50 до 300 мм. Мы можем предоставить полупроводниковые пластины с односторонней/двухсторонней полировкой, утончением, нарезкой кубиками, МЭМС и другими услугами по обработке и настройке.