6-дюймовая кремниевая пластина N-типа или P-типа, полученная методом Чохральского (CZ Si).
Вставка коробки с вафлями
Технические характеристики кремниевой пластины:
Выращивание кремниевых пластин диаметром 6 дюймов: CZ, MCZ, FZ.
6 кремниевых пластин, класс: первичные, тестовые, фиктивные и т.д.
Диаметр 6-дюймовой кремниевой пластины: 6 дюймов/150 мм.
6-дюймовая кремниевая пластина, толщина: 200–3000 мкм.
6-дюймовая кремниевая пластина. Вид обработки: резка, притирка, травление, SSP, DSP и т.д.
Ориентация 6-дюймовой кремниевой пластины: (100) (111) (110) (531) (553) и т. д.
Силиконовая пластина 6 дюймов. Угол среза: до 4 градусов.
6-дюймовая кремниевая пластина. Тип/легирующая добавка: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, собственная легирующая добавка.
Сопротивление 6-дюймовой кремниевой пластины: CZ/MCZ: от 0,001 до 1000 Ом·см. FZ: до 20 кОм·см.
Тонкие пленки на 6-дюймовых кремниевых пластинах: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni, Fe, Mo и др., толщина покрытия до 20 000 Å/5%.
(b) LPCVD/PECVD: оксиды, нитриды, siC и т. д., толщина покрытия до 200 000 Å/3%.
(c) Кремниевые эпитаксиальные пластины и услуги по эпитаксиальному осаждению (SOS, GaN, GOI и др.).
Технологические процессы для 6-дюймовых кремниевых пластин: a. DSP, сверхтонкие, сверхплоские и т. д.
b. Уменьшение размеров, шлифовка, нарезка и т. д. c. MEMS.
С 2010 года компания Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd. занимается предоставлением клиентам комплексных решений для производства 4-дюймовых кремниевых пластин, начиная от пластин уровня отладки (макеты), пластин уровня тестирования (тестовые пластины) и заканчивая пластинами уровня готовой продукции (основные пластины), а также специальных пластин, оксидных пластин, нитридных пластин Si3N4, пластин с алюминиевым покрытием, кремниевых пластин с медным покрытием, пластин SOI, MEMS-стекла, сверхтолстых и сверхплоских пластин на заказ и т.д., размерами от 50 мм до 300 мм. Мы можем предоставлять услуги по односторонней/двусторонней полировке, утонению, нарезке, MEMS-обработке и другим видам обработки и индивидуальной настройке полупроводниковых пластин.
Подробная схема







