Шаблон AlN 50,8 мм/100 мм на шаблоне NPSS/FSS AlN на сапфире

Краткое описание:

AlN-On-Sapphire относится к комбинации материалов, в которых пленки нитрида алюминия выращиваются на сапфировых подложках. В этой структуре высококачественная пленка нитрида алюминия может быть выращена методом химического осаждения из паровой фазы (CVD) или органометрического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD), что делает пленку нитрида алюминия и сапфировую подложку хорошей комбинацией. Преимущества этой структуры заключаются в том, что нитрид алюминия обладает высокой теплопроводностью, высокой химической стабильностью и превосходными оптическими свойствами, в то время как сапфировая подложка имеет превосходные механические и термические свойства и прозрачность.


Функции

AlN-на-сапфире

AlN-на-сапфире может использоваться для изготовления различных фотоэлектрических устройств, таких как:
1. Светодиодные чипы: светодиодные чипы обычно изготавливаются из пленок нитрида алюминия и других материалов. Эффективность и стабильность светодиодов можно улучшить, используя пластины AlN-On-Sapphire в качестве подложки светодиодных чипов.
2. Лазеры: пластины AlN-на-сапфире также могут использоваться в качестве подложек для лазеров, которые обычно применяются в медицине, связи и обработке материалов.
3. Солнечные элементы: Производство солнечных элементов требует использования таких материалов, как нитрид алюминия. AlN-On-Sapphire в качестве подложки может повысить эффективность и срок службы солнечных элементов.
4. Другие оптоэлектронные приборы: пластины AlN-On-Sapphire также могут использоваться для изготовления фотодетекторов, оптоэлектронных приборов и других оптоэлектронных приборов.

В заключение следует отметить, что пластины AlN-On-Sapphire широко используются в оптоэлектрической области благодаря своей высокой теплопроводности, высокой химической стабильности, низким потерям и превосходным оптическим свойствам.

Шаблон AlN 50,8 мм/100 мм на NPSS/FSS

Элемент Замечания
Описание Шаблон AlN-on-NPSS Шаблон AlN-on-FSS
Диаметр пластины 50,8мм, 100мм
Субстрат c-плоскость NPSS Планарный сапфир c-plane (FSS)
Толщина подложки 50,8 мм, 100 мм c-плоскость планарный сапфир (FSS)100 мм: 650 мкм
Толщина эпитаксиального слоя AIN 3~4 мкм (цель: 3,3 мкм)
Проводимость Изолирующий

Поверхность

Как вырос
Среднеквадратичное отклонение <1 нм Среднеквадратичное отклонение <2 нм
Задняя сторона Измельченный
ПШПМ(002)XRC < 150 угловых секунд < 150 угловых секунд
ПШПМ(102)XRC < 300 угловых секунд < 300 угловых секунд
Исключение кромки < 2мм < 3 мм
Первичная плоская ориентация а-плоскость+0,1°
Длина первичной плоскости 50,8 мм: 16+/-1 мм 100 мм: 30+/-1 мм
Упаковка Упаковано в транспортную коробку или отдельный контейнер для пластин

Подробная схема

Шаблон FSS AlN на сапфире3
Шаблон FSS AlN на сапфире4

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам