Шаблон AlN 50,8 мм/100 мм на шаблоне NPSS/FSS AlN на сапфире
AlN-на-сапфире
AlN-на-сапфире может использоваться для изготовления различных фотоэлектрических устройств, таких как:
1. Светодиодные чипы: светодиодные чипы обычно изготавливаются из плёнок нитрида алюминия и других материалов. Эффективность и стабильность светодиодов можно повысить, используя пластины AlN-на-сапфире в качестве подложки.
2. Лазеры: пластины AlN-на-сапфире также могут использоваться в качестве подложек для лазеров, которые обычно используются в медицине, связи и обработке материалов.
3. Солнечные элементы: Для производства солнечных элементов используются такие материалы, как нитрид алюминия. Подложка из нитрида алюминия на сапфире может повысить эффективность и срок службы солнечных элементов.
4. Другие оптоэлектронные приборы: пластины AlN-на-сапфире также могут быть использованы для изготовления фотодетекторов, оптоэлектронных приборов и других оптоэлектронных устройств.
В заключение следует отметить, что пластины AlN-On-Sapphire широко используются в оптоэлектрической области благодаря своей высокой теплопроводности, высокой химической стабильности, низким потерям и превосходным оптическим свойствам.
Шаблон AlN 50,8 мм/100 мм на NPSS/FSS
Элемент | Замечания | |||
Описание | Шаблон AlN-on-NPSS | Шаблон AlN-on-FSS | ||
Диаметр пластины | 50,8 мм, 100 мм | |||
Субстрат | c-плоскость NPSS | Планарный сапфир с c-плоскостью (FSS) | ||
Толщина подложки | 50,8 мм, 100 мм планарный сапфир (FSS) 100 мм: 650 мкм | |||
Толщина эпитаксиального слоя АИН | 3~4 мкм (цель: 3,3 мкм) | |||
Проводимость | Изолирующий | |||
Поверхность | Как вырос | |||
Среднеквадратичное отклонение < 1 нм | Среднеквадратичное отклонение < 2 нм | |||
Задняя сторона | Измельченный | |||
FWHM(002)XRC | < 150 угловых секунд | < 150 угловых секунд | ||
FWHM(102)XRC | < 300 угловых секунд | < 300 угловых секунд | ||
Исключение границ | < 2 мм | < 3 мм | ||
Первичная плоская ориентация | а-плоскость+0,1° | |||
Длина первичной плоскости | 50,8 мм: 16+/-1 мм 100 мм: 30+/-1 мм | |||
Упаковка | Упаковано в транспортную коробку или отдельный контейнер для пластин |
Подробная схема

