Шаблон AlN 50,8 мм/100 мм на шаблоне NPSS/FSS AlN на сапфире

Краткое описание:

AlN-на-сапфире – это комбинация материалов, в которой плёнки нитрида алюминия выращиваются на сапфировых подложках. В этой структуре высококачественная плёнка нитрида алюминия может быть получена методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) или органометрического химического осаждения из газовой фазы (MOCVD), что обеспечивает хорошее сочетание плёнки нитрида алюминия и сапфировой подложки. Преимуществами этой структуры являются высокая теплопроводность нитрида алюминия, высокая химическая стабильность и превосходные оптические свойства, в то время как сапфировая подложка обладает превосходными механическими и термическими свойствами, а также прозрачностью.


Функции

AlN-на-сапфире

AlN-на-сапфире может использоваться для изготовления различных фотоэлектрических устройств, таких как:
1. Светодиодные чипы: светодиодные чипы обычно изготавливаются из плёнок нитрида алюминия и других материалов. Эффективность и стабильность светодиодов можно повысить, используя пластины AlN-на-сапфире в качестве подложки.
2. Лазеры: пластины AlN-на-сапфире также могут использоваться в качестве подложек для лазеров, которые обычно используются в медицине, связи и обработке материалов.
3. Солнечные элементы: Для производства солнечных элементов используются такие материалы, как нитрид алюминия. Подложка из нитрида алюминия на сапфире может повысить эффективность и срок службы солнечных элементов.
4. Другие оптоэлектронные приборы: пластины AlN-на-сапфире также могут быть использованы для изготовления фотодетекторов, оптоэлектронных приборов и других оптоэлектронных устройств.

В заключение следует отметить, что пластины AlN-On-Sapphire широко используются в оптоэлектрической области благодаря своей высокой теплопроводности, высокой химической стабильности, низким потерям и превосходным оптическим свойствам.

Шаблон AlN 50,8 мм/100 мм на NPSS/FSS

Элемент Замечания
Описание Шаблон AlN-on-NPSS Шаблон AlN-on-FSS
Диаметр пластины 50,8 мм, 100 мм
Субстрат c-плоскость NPSS Планарный сапфир с c-плоскостью (FSS)
Толщина подложки 50,8 мм, 100 мм планарный сапфир (FSS) 100 мм: 650 мкм
Толщина эпитаксиального слоя АИН 3~4 мкм (цель: 3,3 мкм)
Проводимость Изолирующий

Поверхность

Как вырос
Среднеквадратичное отклонение < 1 нм Среднеквадратичное отклонение < 2 нм
Задняя сторона Измельченный
FWHM(002)XRC < 150 угловых секунд < 150 угловых секунд
FWHM(102)XRC < 300 угловых секунд < 300 угловых секунд
Исключение границ < 2 мм < 3 мм
Первичная плоская ориентация а-плоскость+0,1°
Длина первичной плоскости 50,8 мм: 16+/-1 мм 100 мм: 30+/-1 мм
Упаковка Упаковано в транспортную коробку или отдельный контейнер для пластин

Подробная схема

Шаблон FSS AlN на сапфире3
Шаблон FSS AlN на сапфире4

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам