50,8 мм, 2-дюймовый GaN на сапфировой пластине с эпи-слоем
Применение эпитаксиального листа нитрида галлия GaN
Эпитаксиальные чипы из нитрида галлия, основанные на характеристиках нитрида галлия, в основном подходят для приложений с высокой мощностью, высокой частотой и низким напряжением.
Это отражается в:
1) Высокая запрещенная зона: высокая запрещенная зона повышает уровень напряжения устройств из нитрида галлия и может выдавать более высокую мощность, чем устройства из арсенида галлия, что особенно подходит для базовых станций связи 5G, военных радаров и других областей;
2) Высокая эффективность преобразования: сопротивление включения силовых электронных устройств из нитрида галлия на 3 порядка ниже, чем у кремниевых устройств, что может значительно снизить потери при включении;
3) Высокая теплопроводность: высокая теплопроводность нитрида галлия обеспечивает отличные характеристики рассеивания тепла, подходящие для производства мощных, высокотемпературных и других устройств;
4) Напряженность электрического поля пробоя: Хотя напряженность электрического поля пробоя нитрида галлия близка к напряженности электрического поля нитрида кремния, из-за полупроводникового процесса, несоответствия решеток материалов и других факторов, допуск по напряжению устройств из нитрида галлия обычно составляет около 1000 В, а безопасное напряжение использования обычно ниже 650 В.
Элемент | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
Размеры | е 50,8 мм ± 0,1 мм | ||
Толщина | 4,5±0,5 мкм | 4,5±0,5 мкм | |
Ориентация | C-плоскость (0001) ±0,5° | ||
Тип проводимости | N-тип (нелегированный) | N-тип (легированный Si) | P-тип (легированный Mg) |
Сопротивление (300К) | < 0,5 Ом・см | < 0,05 Ом・см | ~ 10 Ом・см |
Концентрация носителей | < 5x1017см-3 | > 1x1018см-3 | > 6х1016 см-3 |
Мобильность | ~ 300 см2/Против | ~ 200 см2/Против | ~ 10 см2/Против |
Плотность дислокаций | Менее 5x108см-2(рассчитано по полувысоте рентгеноструктурного анализа) | ||
Структура подложки | GaN на сапфире (Стандарт: SSP Опция: DSP) | ||
Полезная площадь поверхности | > 90% | ||
Упаковка | Упаковываются в чистых помещениях класса 100, в кассеты по 25 шт. или в отдельные пластинчатые контейнеры, в атмосфере азота. |
* Другая толщина может быть настроена