4-дюймовая кремниевая пластина FZ CZ N-типа DSP или SSP тестового класса
Введение вафельной коробки
Кремниевые пластины являются неотъемлемой частью сегодняшнего растущего технологического сектора. Рынку полупроводниковых материалов требуются кремниевые пластины с точными характеристиками для производства большого количества новых интегральных схемных устройств. Мы понимаем, что по мере роста стоимости производства полупроводников растет и стоимость этих производственных материалов, таких как кремниевые пластины. Мы понимаем важность качества и экономической эффективности в продуктах, которые мы поставляем нашим клиентам. Мы предлагаем пластины, которые являются экономически эффективными и имеют стабильное качество. В основном мы производим кремниевые пластины и слитки (CZ), эпитаксиальные пластины и пластины SOI.
Диаметр | Диаметр | Полированный | Легированный | Ориентация | Удельное сопротивление/Ом.см | Толщина/мкм |
2дюйма | 50,8±0,5 мм | ССП ЦСП | Номер детали | 100 | 1-20 | 200-500 |
3дюйма | 76,2±0,5 мм | ССП ЦСП | П/Б | 100 | NA | 525±20 |
4дюйма | 101,6±0,2 101,6±0,3 101,6±0,4 | ССП ЦСП | Номер детали | 100 | 0,001-10 | 200-2000 |
6 дюймов | 152,5±0,3 | ССПЦСП | Номер детали | 100 | 1-10 | 500-650 |
8 дюймов | 200±0,3 | ЦСПССП | Номер детали | 100 | 0,1-20 | 625 |
Применение кремниевых пластин
Подложка: покрытие PECVD/LPCVD, магнетронное распыление
Подложка: XRD, SEM, атомно-силовая инфракрасная спектроскопия, просвечивающая электронная микроскопия, флуоресцентная спектроскопия и другие аналитические тесты, молекулярно-лучевой эпитаксиальный рост, рентгеновский анализ микроструктуры кристаллов, обработка: травление, склеивание, устройства MEMS, силовые устройства, устройства MOS и другая обработка
С 2010 года компания Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd. стремится предоставлять клиентам комплексные решения для 4-дюймовых кремниевых пластин, от отладочного уровня пластин Dummy Wafer, тестового уровня пластин Test Wafer до уровня пластин Prime Wafer, а также специальные пластины, оксидные пластины Oxide, нитридные пластины Si3N4, алюминиевые пластины, кремниевые пластины с медным покрытием, пластины SOI, MEMS-стекло, индивидуальные сверхтолстые и сверхплоские пластины и т. д. размерами от 50 мм до 300 мм, и мы можем предоставить полупроводниковые пластины с односторонней/двусторонней полировкой, утончением, резкой, MEMS и другими услугами по обработке и настройке.
Подробная схема

