4H/6H-P 6-дюймовая пластина SiC Нулевая марка MPD Производственная марка

4H/6H-P 6-дюймовая пластина SiC, класс нулевого MPD, производственный класс, фиктивный класс Рекомендуемое изображение

Краткое описание:

6-дюймовая пластина SiC типа 4H/6H-P представляет собой полупроводниковый материал, используемый в производстве электронных устройств, известный своей превосходной теплопроводностью, высоким напряжением пробоя и устойчивостью к высоким температурам и коррозии. Производственный класс и класс Zero MPD (Micro Pipe Defect) обеспечивают его надежность и стабильность в высокопроизводительной силовой электронике. Пластины промышленного класса используются для крупносерийного производства устройств со строгим контролем качества, тогда как пластины-пустышки в основном используются для отладки технологических процессов и испытаний оборудования. Выдающиеся свойства SiC позволяют широко применять его в высокотемпературных, высоковольтных и высокочастотных электронных устройствах, таких как силовые устройства и радиочастотные устройства.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Композитные подложки SiC типа 4H/6H-P Таблица общих параметров

6 Диаметр в дюймах Подложка из карбида кремния (SiC) Спецификация

Оценка			Производство с нулевым MPDОценка (З Оценка)	Стандартное производствоОценка (П Оценка)	Фиктивная оценка (D Оценка)
Диаметр			145,5 мм~150,0 мм
Толщина			350 мкм ± 25 мкм
Ориентация пластины			-Offось: 2,0°-4,0° в сторону [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, по оси:〈111〉± 0,5° для 3C-N
Плотность микротрубок			0 см-2
Удельное сопротивление	р-тип 4H/6H-P		≤0,1 Омꞏсм		≤0,3 Омꞏсм
	n-тип 3C-N		≤0,8 мОмꞏсм		≤1 м Омꞏсм
Первичная плоская ориентация		4H/6H-П	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Основная плоская длина			32,5 мм ± 2,0 мм
Вторичная плоская длина			18,0 мм ± 2,0 мм
Вторичная плоская ориентация			Кремниевая лицевая сторона вверх: 90° по часовой стрелке. от Прайм-флэт ± 5,0°
Исключение краев			3 мм		6 мм
LTV/TTV/Лук/Деформация			<2,5 мкм/<5 мкм/<15 мкм/<30 мкм		<10 мкм/<15 мкм/<25 мкм/<40 мкм
Шероховатость			Польский Ra≤1 нм
			CMP Ra≤0,2 нм		Ra≤0,5 нм
Краевые трещины от света высокой интенсивности			Никто		Совокупная длина ≤ 10 мм, отдельная длина≤2 мм
Шестигранные пластины от света высокой интенсивности			Совокупная площадь ≤0,05%		Совокупная площадь ≤0,1%
Политипные области под воздействием света высокой интенсивности			Никто		Совокупная площадь≤3%
Визуальные включения углерода			Совокупная площадь ≤0,05%		Совокупная площадь ≤3%
Поверхность кремния царапается светом высокой интенсивности			Никто		Совокупная длина≤1×диаметр пластины
Краевые чипы с высокой интенсивностью света			Не допускается ширина и глубина ≥0,2 мм.		Допускается 5, ≤1 мм каждый
Загрязнение поверхности кремния высокой интенсивности			Никто
Упаковка			Кассета с несколькими пластинами или одиночный контейнер для пластин

Примечания:

※ Пределы дефектов применяются ко всей поверхности пластины, за исключением области исключения краев. # Царапины следует проверять на лицевой стороне Si o

6-дюймовая пластина SiC типа 4H/6H-P с классом нулевого MPD и производственным или макетным классом широко используется в передовых электронных приложениях. Его превосходная теплопроводность, высокое напряжение пробоя и устойчивость к суровым условиям окружающей среды делают его идеальным для силовой электроники, такой как высоковольтные переключатели и инверторы. Марка Zero MPD обеспечивает минимальное количество дефектов, что критически важно для устройств с высокой надежностью. Пластины промышленного класса используются в крупномасштабном производстве силовых устройств и радиочастотных устройств, где производительность и точность имеют решающее значение. С другой стороны, пластины-пустышки используются для калибровки процесса, тестирования оборудования и прототипирования, что обеспечивает постоянный контроль качества в условиях производства полупроводников.

К преимуществам композитных подложек SiC N-типа относятся:

Высокая теплопроводность: Пластина SiC 4H/6H-P эффективно рассеивает тепло, что делает ее подходящей для высокотемпературных и мощных электронных приложений.
Высокое напряжение пробоя: Способность без сбоев выдерживать высокое напряжение делает его идеальным для силовой электроники и высоковольтных переключателей.
Нулевой уровень MPD (дефект микротрубы): Минимальная плотность дефектов обеспечивает более высокую надежность и производительность, что критически важно для требовательных электронных устройств.
Промышленный уровень для массового производства: Подходит для крупномасштабного производства высокопроизводительных полупроводниковых приборов со строгими стандартами качества.
Манекен для тестирования и калибровки: Обеспечивает оптимизацию процессов, тестирование оборудования и создание прототипов без использования дорогостоящих пластин производственного уровня.

В целом, 6-дюймовые пластины SiC 4H/6H-P с классом Zero MPD, производственным классом и фиктивным классом предлагают значительные преимущества для разработки высокопроизводительных электронных устройств. Эти пластины особенно полезны в приложениях, требующих работы при высоких температурах, высокой плотности мощности и эффективного преобразования энергии. Марка Zero MPD гарантирует минимальное количество дефектов, обеспечивая надежную и стабильную работу устройства, а пластины промышленного уровня поддерживают крупномасштабное производство со строгим контролем качества. Пластины-пустышки представляют собой экономичное решение для оптимизации процессов и калибровки оборудования, что делает их незаменимыми для высокоточного производства полупроводников.