4H/6H-P 6-дюймовая пластина SiC с нулевым MPD-классом Промышленный класс Макетный класс

Краткое описание:

6-дюймовая пластина SiC типа 4H/6H-P — это полупроводниковый материал, используемый в производстве электронных устройств, известный своей превосходной теплопроводностью, высоким пробивным напряжением и устойчивостью к высоким температурам и коррозии. Производственный класс и класс Zero MPD (Micro Pipe Defect) обеспечивают его надежность и стабильность в высокопроизводительной силовой электронике. Производственные пластины используются для крупномасштабного производства устройств со строгим контролем качества, в то время как пластины фиктивного класса в основном используются для отладки процессов и тестирования оборудования. Выдающиеся свойства SiC делают его широко применяемым в высокотемпературных, высоковольтных и высокочастотных электронных устройствах, таких как силовые устройства и радиочастотные устройства.

Напишите нам письмо

Подробности продукта

Теги продукта

Таблица общих параметров композитных подложек SiC типа 4H/6H-P

6 Подложка из карбида кремния (SiC) диаметром дюйм Спецификация

Оценка			Нулевое производство MPDОценка (З) Оценка)	Стандартное производствоОценка (P) Оценка)	Оценка манекена (D Оценка)
Диаметр			145,5 мм~150,0 мм
Толщина			350 мкм ± 25 мкм
Ориентация пластины			-Offось: 2,0°-4,0° в направлении [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, по оси:〈111〉± 0,5° для 3C-N
Плотность микротрубок			0 см-2
Удельное сопротивление	p-тип 4H/6H-P		≤0,1 Омꞏсм		≤0,3 Омꞏсм
	n-тип 3C-N		≤0,8 мОмꞏсм		≤1 м Омꞏсм
Первичная плоская ориентация		4H/6H-P	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Длина первичной плоскости			32,5 мм ± 2,0 мм
Длина вторичной плоскости			18,0 мм ± 2,0 мм
Вторичная плоская ориентация			Кремниевая поверхность вверх: 90° по часовой стрелке от плоскости Prime ± 5,0°
Исключение кромки			3 мм		6 мм
LTV/TTV/Бук/Варп			<2,5 мкм/<5 мкм/<15 мкм/<30 мкм		<10 мкм/<15 мкм/<25 мкм/<40 мкм
Шероховатость			Полировка Ra≤1 нм
			CMP Ra≤0,2 нм		Ra≤0,5 нм
Трещины на краях из-за света высокой интенсивности			Никто		Общая длина ≤ 10 мм, единичная длина ≤ 2 мм
Шестигранные пластины с высокой интенсивностью света			Кумулятивная площадь ≤0,05%		Кумулятивная площадь ≤0,1%
Политипные области с высокой интенсивностью света			Никто		Кумулятивная площадь≤3%
Визуальные углеродные включения			Кумулятивная площадь ≤0,05%		Общая площадь ≤3%
Царапины на поверхности кремния под воздействием света высокой интенсивности			Никто		Суммарная длина ≤1×диаметр пластины
Краевые чипы высокой интенсивности света			Не допускается ширина и глубина ≥0,2 мм		Допускается 5, ≤1 мм каждый
Загрязнение поверхности кремния высокой интенсивностью			Никто
Упаковка			Многопластинчатая кассета или однопластинчатый контейнер

Примечания:

※ Пределы дефектов применяются ко всей поверхности пластины, за исключением области исключения краев. # Царапины следует проверять на поверхности Si

6-дюймовая пластина SiC типа 4H/6H-P с классом Zero MPD и классом производства или фиктивным классом широко используется в передовых электронных приложениях. Ее превосходная теплопроводность, высокое пробивное напряжение и устойчивость к суровым условиям окружающей среды делают ее идеальной для силовой электроники, такой как высоковольтные переключатели и инверторы. Класс Zero MPD обеспечивает минимальное количество дефектов, что критически важно для высоконадежных устройств. Пластины промышленного класса используются в крупномасштабном производстве силовых устройств и радиочастотных приложений, где производительность и точность имеют решающее значение. Пластины класса Dummy, с другой стороны, используются для калибровки процесса, тестирования оборудования и создания прототипов, что обеспечивает постоянный контроль качества в условиях производства полупроводников.

Преимущества композитных подложек SiC N-типа включают в себя:

Высокая теплопроводность: Пластина SiC 4H/6H-P эффективно рассеивает тепло, что делает ее пригодной для высокотемпературных и мощных электронных приложений.
Высокое пробивное напряжение: Его способность выдерживать высокие напряжения без сбоев делает его идеальным для применения в силовой электронике и высоковольтных коммутационных устройствах.
Нулевой уровень MPD (микродефектов труб): Минимальная плотность дефектов обеспечивает более высокую надежность и производительность, что критически важно для требовательных электронных устройств.
Промышленный класс для массового производства: Подходит для крупномасштабного производства высокопроизводительных полупроводниковых приборов со строгими стандартами качества.
Манекен-класс для тестирования и калибровки: Позволяет оптимизировать процессы, тестировать оборудование и создавать прототипы без использования дорогостоящих пластин промышленного класса.

В целом, 6-дюймовые пластины SiC 4H/6H-P с классом Zero MPD, производственным классом и классом Dummy предлагают значительные преимущества для разработки высокопроизводительных электронных устройств. Эти пластины особенно полезны в приложениях, требующих высокотемпературной работы, высокой плотности мощности и эффективного преобразования энергии. Класс Zero MPD обеспечивает минимальное количество дефектов для надежной и стабильной работы устройства, в то время как пластины производственного класса поддерживают крупномасштабное производство со строгим контролем качества. Пластины класса Dummy обеспечивают экономически эффективное решение для оптимизации процесса и калибровки оборудования, что делает их незаменимыми для высокоточного изготовления полупроводников.