4H/6H-P 6-дюймовая пластина SiC с нулевым MPD, производственный класс, макетный класс
Таблица общих параметров композитных подложек SiC типа 4H/6H-P
6 Подложка из карбида кремния (SiC) диаметром дюйма Спецификация
| Оценка | Нулевое производство MPDОценка (Z) Оценка) | Стандартное производствоОценка (P) Оценка) | Оценка манекена (D Оценка) | ||
| Диаметр | 145,5 мм~150,0 мм | ||||
| Толщина | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Ориентация пластины | -Offось: 2,0°-4,0° в направлении [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, по оси:〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
| Плотность микротрубок | 0 см-2 | ||||
| Удельное сопротивление | p-типа 4H/6H-P | ≤0,1 Ом·см | ≤0,3 Ом·см | ||
| n-типа 3C-N | ≤0,8 мОмꞏсм | ≤1 м Ом ꞏсм | |||
| Первичная плоская ориентация | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
| Длина первичной плоскости | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Длина вторичной плоскости | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Вторичная плоская ориентация | Кремниевая поверхность вверх: 90° по часовой стрелке от плоскости Prime ± 5,0° | ||||
| Исключение границ | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Бук/Варп | <2,5 мкм/<5 мкм/<15 мкм/<30 мкм | <10 мкм/<15 мкм/<25 мкм/<40 мкм | |||
| Шероховатость | Полировка Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Трещины на краях под воздействием света высокой интенсивности | Никто | Общая длина ≤ 10 мм, единичная длина ≤ 2 мм | |||
| Шестигранные пластины с высокой интенсивностью света | Кумулятивная площадь ≤0,05% | Кумулятивная площадь ≤0,1% | |||
| Политипные области с высокой интенсивностью света | Никто | Кумулятивная площадь≤3% | |||
| Визуальные углеродные включения | Кумулятивная площадь ≤0,05% | Кумулятивная площадь ≤3% | |||
| Царапины на поверхности кремния под воздействием высокоинтенсивного света | Никто | Суммарная длина ≤1×диаметр пластины | |||
| Edge Chips High By Intensity Light | Не допускается ширина и глубина ≥0,2 мм | допускается 5, ≤1 мм каждый | |||
| Загрязнение поверхности кремния высокой интенсивностью | Никто | ||||
| Упаковка | Многопластинчатая кассета или однопластинчатый контейнер | ||||
Примечания:
※ Пределы дефектов применяются ко всей поверхности пластины, за исключением области исключения краев. # Царапины следует проверять на поверхности Si.
6-дюймовая SiC-пластина типа 4H/6H-P с нулевым MPD (производственный или фиктивный класс) широко используется в современных электронных приложениях. Её превосходная теплопроводность, высокое пробивное напряжение и устойчивость к агрессивным средам делают её идеальным выбором для силовой электроники, такой как высоковольтные переключатели и инверторы. Пластины с нулевым MPD (производственный класс) обеспечивают минимальное количество дефектов, что критически важно для высоконадежных устройств. Пластины промышленного класса используются в крупносерийном производстве силовых устройств и СВЧ-приложений, где производительность и точность имеют решающее значение. Пластины фиктивного класса, в свою очередь, используются для калибровки технологических процессов, тестирования оборудования и создания прототипов, обеспечивая постоянный контроль качества в условиях производства полупроводников.
Преимущества композитных подложек SiC N-типа включают в себя:
- Высокая теплопроводность: Пластина SiC 4H/6H-P эффективно рассеивает тепло, что делает ее пригодной для высокотемпературных и мощных электронных приложений.
- Высокое напряжение пробоя: Его способность выдерживать высокие напряжения без сбоев делает его идеальным для применения в силовой электронике и высоковольтных коммутационных системах.
- Нулевой уровень MPD (микродефектов труб): Минимальная плотность дефектов обеспечивает более высокую надежность и производительность, что критически важно для требовательных электронных устройств.
- Промышленный класс для массового производства: Подходит для крупномасштабного производства высокопроизводительных полупроводниковых приборов со строгими стандартами качества.
- Макет для тестирования и калибровки: Позволяет оптимизировать процесс, тестировать оборудование и создавать прототипы без использования дорогостоящих промышленных пластин.
В целом, 6-дюймовые SiC-пластины 4H/6H-P классов Zero MPD, Production и Dummy обеспечивают значительные преимущества для разработки высокопроизводительных электронных устройств. Эти пластины особенно полезны в приложениях, требующих работы при высоких температурах, высокой плотности мощности и эффективного преобразования энергии. Класс Zero MPD обеспечивает минимальное количество дефектов для надежной и стабильной работы устройств, в то время как пластины промышленного класса поддерживают крупносерийное производство со строгим контролем качества. Пластины Dummy представляют собой экономически эффективное решение для оптимизации технологических процессов и калибровки оборудования, что делает их незаменимыми для высокоточного производства полупроводников.
Подробная схема
