4H-N 8-дюймовая подложка из карбида кремния, исследовательский класс, толщина 500 мкм
Как выбрать пластины карбида кремния и подложки SiC?
При выборе пластин и подложек из карбида кремния (SiC) необходимо учитывать ряд факторов. Вот некоторые из них:
Тип материала: Определите тип SiC, подходящий для вашего применения, например, 4H-SiC или 6H-SiC. Наиболее часто используемая кристаллическая структура — 4H-SiC.
Тип легирования: Определите, нужна ли вам легированная или нелегированная подложка из SiC. Распространенные типы легирования — N-тип (n-легирование) или P-тип (p-легирование), в зависимости от ваших конкретных требований.
Качество кристалла: оценка качества кристалла SiC-пластин или подложек. Требуемое качество определяется такими параметрами, как количество дефектов, кристаллографическая ориентация и шероховатость поверхности.
Диаметр пластины: выберите подходящий размер пластины в зависимости от вашего применения. Распространенные размеры: 2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма и 6 дюймов. Чем больше диаметр, тем выше выход готовой продукции с одной пластины.
Толщина: Учитывайте желаемую толщину пластин или подложек SiC. Типичные значения толщины варьируются от нескольких микрометров до нескольких сотен микрометров.
Ориентация: определите кристаллографическую ориентацию, соответствующую требованиям вашего приложения. Распространенные ориентации включают (0001) для 4H-SiC и (0001) или (0001̅) для 6H-SiC.
Качество поверхности: Оцените качество поверхности пластин или подложек SiC. Поверхность должна быть гладкой, полированной, без царапин и загрязнений.
Репутация поставщика: выбирайте надежного поставщика с обширным опытом производства высококачественных SiC-пластин и подложек. Примите во внимание такие факторы, как производственные возможности, контроль качества и отзывы клиентов.
Стоимость: рассмотрите финансовые последствия, включая цену за пластину или подложку, а также любые дополнительные расходы на настройку.
Важно тщательно оценить эти факторы и проконсультироваться с отраслевыми экспертами или поставщиками, чтобы убедиться, что выбранные пластины и подложки SiC соответствуют конкретным требованиям вашего применения.
Подробная схема



