4H-N 8-дюймовая подложка из карбида кремния, макет исследовательского класса, толщина 500 мкм
Как выбрать пластины карбида кремния и подложки SiC?
При выборе пластин и подложек из карбида кремния (SiC) следует учитывать несколько факторов. Вот некоторые важные критерии:
Тип материала: Определите тип материала SiC, который подходит для вашего применения, например, 4H-SiC или 6H-SiC. Наиболее часто используемая кристаллическая структура — 4H-SiC.
Тип легирования: Решите, нужна ли вам легированная или нелегированная подложка SiC. Распространенные типы легирования — N-тип (n-легированный) или P-тип (p-легированный), в зависимости от ваших конкретных требований.
Качество кристалла: Оцените качество кристалла пластин или подложек SiC. Желаемое качество определяется такими параметрами, как количество дефектов, кристаллографическая ориентация и шероховатость поверхности.
Диаметр пластины: выберите подходящий размер пластины в зависимости от вашего применения. Обычные размеры включают 2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма и 6 дюймов. Чем больше диаметр, тем больше выход можно получить с пластины.
Толщина: Рассмотрите желаемую толщину пластин или подложек SiC. Типичные варианты толщины варьируются от нескольких микрометров до нескольких сотен микрометров.
Ориентация: Определите кристаллографическую ориентацию, которая соответствует требованиям вашего приложения. Обычные ориентации включают (0001) для 4H-SiC и (0001) или (0001̅) для 6H-SiC.
Отделка поверхности: Оцените отделку поверхности пластин или подложек SiC. Поверхность должна быть гладкой, отполированной и без царапин или загрязнений.
Репутация поставщика: выберите надежного поставщика с большим опытом в производстве высококачественных пластин и подложек SiC. Примите во внимание такие факторы, как производственные возможности, контроль качества и отзывы клиентов.
Стоимость: рассмотрите возможные затраты, включая цену за пластину или подложку, а также любые дополнительные расходы на настройку.
Важно тщательно оценить эти факторы и проконсультироваться с отраслевыми экспертами или поставщиками, чтобы убедиться, что выбранные пластины и подложки SiC соответствуют вашим конкретным требованиям к применению.
Подробная схема



