12-дюймовая сапфировая пластина-подложка диаметром 300x1,0 мм C-Plane SSP/DSP
Ситуация на рынке 12-дюймовых сапфировых подложек
В настоящее время сапфир имеет два основных применения: во-первых, это материал подложки, в основном светодиодный материал, а во-вторых, материал для циферблатов часов, в авиации, космонавтике и в специальном производстве окон.
Хотя, помимо сапфира, в качестве подложек для светодиодов также доступны карбид кремния, кремний и нитрид галлия, их массовое производство по-прежнему невозможно из-за высокой стоимости и некоторых нерешённых технических проблем. Благодаря техническому развитию последних лет, сапфировые подложки значительно улучшились, их соответствие кристаллической решётке, электропроводность, механические свойства, теплопроводность и другие характеристики были значительно улучшены, а соотношение цены и качества стало значительным. Поэтому сапфир стал наиболее зрелым и стабильным материалом для подложек в светодиодной промышленности, получив широкое распространение на рынке, его доля достигла 90%.
Характеристики 12-дюймовой сапфировой пластины-подложки
1. Поверхности сапфировых подложек характеризуются крайне низким содержанием частиц: менее 50 частиц размером 0,3 мкм и более на 2 дюйма в диапазоне размеров от 2 до 8 дюймов, а содержание основных металлов (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) — менее 2E10/см². Ожидается, что материал подложки толщиной 12 дюймов также будет соответствовать этому классу.
2. Может использоваться в качестве несущей пластины для 12-дюймового процесса изготовления полупроводников (внутриустройствовые транспортные поддоны), а также в качестве подложки для склеивания.
3. Возможность управления формой вогнутой и выпуклой поверхности.
Материал: Высокочистый монокристалл Al2O3, сапфировая пластина.
Качество светодиодов: без пузырьков, трещин, двойников, родинок, цвета и т. д.
12-дюймовые сапфировые пластины
| Ориентация | Плоскость С<0001> +/- 1 град. |
| Диаметр | 300,0 +/-0,25 мм |
| Толщина | 1,0 +/-25 мкм |
| Выемка | Выемка или плоский |
| ТТВ | <50 мкм |
| ПОКЛОН | <50 мкм |
| Края | Защитная фаска |
| Лицевая сторона – полировка 80/50 | |
| Лазерная метка | Никто |
| Упаковка | Коробка для хранения одной пластины |
| Лицевая сторона полированная (Ra <0,3 нм) | |
| Обратная сторона полированная (Ra <0,3 нм) | |
Подробная схема
