12-дюймовая сапфировая пластина Dia300x1,0 мм, C-плоскость SSP/DSP
Ситуация на рынке 12-дюймовых сапфировых подложек
В настоящее время сапфир имеет два основных применения: одно - материал подложки, который в основном представляет собой материал подложки для светодиодов, другое - циферблат часов, авиация, аэрокосмическая промышленность, специальный материал для изготовления окон.
Хотя в качестве подложек для светодиодов помимо сапфира также доступны карбид кремния, кремний и нитрид галлия, массовое производство по-прежнему невозможно из-за стоимости и некоторых нерешенных технических проблем. Сапфировая подложка благодаря техническому развитию в последние годы, ее согласование решетки, электропроводность, механические свойства, теплопроводность и другие свойства были значительно улучшены и продвинуты, экономическое преимущество является значительным, поэтому сапфир стал наиболее зрелым и стабильным материалом подложки. в светодиодной промышленности широко используется на рынке, доля рынка достигает 90%.
Характеристики 12-дюймовой подложки из сапфировой пластины
1. Поверхности сапфировой подложки имеют чрезвычайно низкое количество частиц: менее 50 частиц размером 0,3 микрона или больше на 2 дюйма в диапазоне размеров от 2 до 8 дюймов, а также основные металлы (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni). , Cu, Zn) ниже 2E10/см2. Ожидается, что 12-дюймовый базовый материал также достигнет этого класса.
2. Может использоваться в качестве несущей пластины для процесса производства 12-дюймовых полупроводников (транспортировочные поддоны внутри устройства) и в качестве подложки для склеивания.
3. Можно контролировать форму вогнутой и выпуклой поверхности.
Материал: Монокристалл Al2O3 высокой чистоты, сапфировая пластина.
Качество светодиодов, отсутствие пузырей, трещин, двойников, линий, цвета и т. д.
12-дюймовые сапфировые пластины
Ориентация | C-плоскость<0001> +/- 1 град. |
Диаметр | 300,0 +/-0,25 мм |
Толщина | 1,0 +/-25 мкм |
Нотч | Выемка или плоская |
ТТВ | <50 мкм |
ПОКЛОН | <50 мкм |
Края | Защитная фаска |
Лицевая сторона – полировка 80/50 | |
Лазерная маркировка | Никто |
Упаковка | Коробка для одиночных вафель |
Лицевая сторона Epi полированная (Ra<0,3нм) | |
Задняя сторона Epi-полированная (Ra <0,3 нм) |