12-дюймовая сапфировая пластина Dia300x1.0mmt C-Plane SSP/DSP
Ситуация на рынке 12-дюймовых сапфировых подложек
В настоящее время сапфир имеет два основных применения: во-первых, это материал подложки, в основном светодиодный материал, а во-вторых, материал для циферблатов часов, в авиации, космонавтике и специальном производстве окон.
Хотя карбид кремния, кремний и нитрид галлия также доступны в качестве подложек для светодиодов в дополнение к сапфиру, массовое производство все еще невозможно из-за стоимости и некоторых нерешенных технических проблем. Подложка сапфира благодаря техническому развитию в последние годы, ее соответствие решетке, электропроводность, механические свойства, теплопроводность и другие свойства были значительно улучшены и продвинуты, экономически эффективное преимущество является значительным, поэтому сапфир стал самым зрелым и стабильным материалом подложки в светодиодной промышленности, широко используется на рынке, доля рынка достигает 90%.
Характеристика 12-дюймовой сапфировой пластины-подложки
1. Поверхности сапфировой подложки имеют чрезвычайно низкое количество частиц, менее 50 частиц размером 0,3 мкм или больше на 2 дюйма в диапазоне размеров от 2 до 8 дюймов, и основные металлы (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) ниже 2E10/см2. 12-дюймовый базовый материал также, как ожидается, достигнет этого класса.
2. Может использоваться в качестве несущей пластины для 12-дюймового процесса производства полупроводников (внутриустройствовые транспортные поддоны) и в качестве подложки для склеивания.
3. Возможность контролировать форму вогнутой и выпуклой поверхности.
Материал: монокристалл Al2O3 высокой чистоты, сапфировая пластина.
Качество светодиодов, без пузырьков, трещин, двойников, родинок, цвета и т. д.
12-дюймовые сапфировые пластины
| Ориентация | Плоскость С<0001> +/- 1 град. |
| Диаметр | 300,0 +/-0,25 мм |
| Толщина | 1,0 +/-25мкм |
| Выемка | Выемка или плоский |
| ТТВ | <50мкм |
| ПОКЛОН | <50мкм |
| Края | Защитная фаска |
| Лицевая сторона – полировка 80/50 | |
| Лазерная маркировка | Никто |
| Упаковка | Коробка для хранения одной пластины |
| Лицевая сторона отполирована до блеска (Ra <0,3 нм) | |
| Задняя сторона отполирована до блеска (Ra <0,3 нм) | |
Подробная схема
