Сверхточный SiC-подшипниковый столик

Изображение сверхточной платформы на воздушных подшипниках из карбида кремния.

Краткое описание:

В условиях непрерывного развития полупроводниковой промышленности к оборудованию для обработки и контроля предъявляются все более высокие требования к производительности. Опираясь на обширный опыт в области управления движением и позиционирования на нанометровом уровне, мы разработали планарный H-образный двухкоординатный сверхточный пневматический подшипниковый столик.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Обзор

Разработанная с использованием оптимизированной методом конечных элементов керамической структуры из карбида кремния (SiC) и технологии компенсированных воздушных подшипников, эта платформа обеспечивает исключительную точность, жесткость и динамический отклик. Она идеально подходит для:

Обработка и контроль полупроводниковых материалов
Микро/нанотехнологии и метрология
Нанометровая резка и полировка с помощью фрез
Высокоскоростное высокоточное сканирование

Основные характеристики

Направляющая из карбида кремния с воздушным подшипникомдля сверхвысокой жесткости и точности
Высокая динамикаСкорость до 1 м/с, ускорение до 4 g, быстрое осаждение.
Двухприводная портальная ось Yобеспечивает высокую грузоподъемность и стабильность
Параметры кодировщикаоптическая решетка или лазерный интерферометр
Точность позиционирования: ±0,15 мкм;повторяемость: ±75 нм
Оптимизированная прокладка кабелейдля лаконичного дизайна и долгосрочной надежности
Настраиваемые конфигурациидля удовлетворения специфических потребностей конкретного приложения

Сверхточная конструкция и прямой привод, бесконтактная архитектура.

Каркас из карбида кремния: Примерно в 5 раз большая жесткость, чем у алюминиевого сплава, и примерно в 5 раз меньшее тепловое расширение, что обеспечивает стабильность на высоких скоростях и термическую прочность.
Компенсированный воздушный подшипникЗапатентованная конструкция повышает жесткость, грузоподъемность и устойчивость при движении.
Динамическая производительность: Поддерживает скорость 1 м/с и ускорение 4 g, идеально подходит для высокопроизводительных процессов.
Бесшовная интеграцияСовместимо с системами виброизоляции, поворотными платформами, модулями наклона и платформами для обработки пластин.
Организация кабелейКонтролируемый радиус изгиба минимизирует напряжения, обеспечивая длительный срок службы.

Бесколлекторный линейный двигательПлавное движение без эффекта пульсации.
Многомоторный приводРазмещение двигателя в плоскости нагрузки улучшает прямолинейность, плоскостность и угловую точность.
ТеплоизоляцияДвигатели изолированы от конструкции сцены; для работы в условиях высоких нагрузок предусмотрено дополнительное воздушное или водяное охлаждение.

Технические характеристики

Модель	400-400	500-500	600-600
Оси	X (сканирование) / Y (шаг)	X (сканирование) / Y (шаг)	X (сканирование) / Y (шаг)
Ход (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Точность (мкм)	±0,15	±0,2	±0,2
Повторяемость (нм)	±75	±100	±100
Разрешение (нм)	0.3	0.3	0.3
Максимальная скорость (м/с)	1	1	1
Ускорение (g)	4	4	4
Прямолинейность (мкм)	±0,2	±0,3	±0,4
Стабильность (нм)	±5	±5	±5
Максимальная нагрузка (кг)	20	20	20
Тангаж/Крен/Рыскание (угловые секунды)	±1	±1	±1

Условия испытаний:

Подаваемый воздух: чистый, сухой; точка росы ≤ 0°F; фильтрация частиц ≤ 0,25 мкм; или 99,99% азота.
Точность измерения измерялась на высоте 25 мм над центром предметного столика при температуре 20±1 °C и относительной влажности 40–60%.

Приложения

Литография полупроводников, контроль качества и обработка полупроводниковых пластин.
Микро/нанотехнологии и прецизионная метрология
Высокотехнологичное производство оптики и интерферометрия.
Аэрокосмические и передовые научные исследования

Часто задаваемые вопросы – Подшипниковая платформа из карбида кремния

1. Что такое ступень с воздушным подшипником?

В пневматической платформе используется тонкая пленка сжатого воздуха между платформой и направляющей для обеспечения...движение без трения, износа и сверхплавное движениеВ отличие от обычных механических подшипников, он исключает эффект «залипания-проскальзывания», обеспечивает точность на нанометровом уровне и гарантирует долговременную надежность.

2. Почему для конструкции сцены используется карбид кремния (SiC)?

Высокая жесткость: примерно в 5 раз больше, чем у алюминиевого сплава, что минимизирует деформацию при динамическом движении.
Низкий коэффициент теплового расширения: Примерно в 5 раз ниже, чем у алюминия, что обеспечивает сохранение точности при перепадах температуры.
Легкий: Более низкая плотность по сравнению со сталью, что позволяет работать на высоких скоростях и с высоким ускорением.
Отличная устойчивостьПревосходное демпфирование и жесткость для сверхточного позиционирования.

3. Требуется ли смазка или техническое обслуживание платформы?

Традиционная смазка не требуется, поскольку...отсутствие механического контактаРекомендуемые работы по техническому обслуживанию включают:

Поставкачистый, сухой сжатый воздух или азот
Периодическая проверка фильтров и осушителей.
Контрольные кабели и системы охлаждения

4. Каковы требования к подаче воздуха?

Точка росы: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Фильтрация частиц: ≤ 0,25 мкм
Чистый, сухой воздух или азот чистотой 99,99%.
Стабильное давление с минимальными колебаниями

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.