Процесс TVG на кварцево-сапфировой пластине BF33. Штамповка стеклянной пластины.
Преимущества TGV (сквозного стеклянного канала) в основном заключаются в следующем:
1) Отличные высокочастотные электрические характеристики. Стекло является диэлектриком, его диэлектрическая проницаемость составляет всего около 1/3 от диэлектрической проницаемости кремния, а коэффициент потерь на 2-3 порядка ниже, чем у кремния, что значительно снижает потери в подложке и паразитные эффекты, обеспечивая целостность передаваемого сигнала.
(2) Легко получить сверхтонкие стеклянные подложки больших размеров. Мы предлагаем сапфировое стекло, кварцевое стекло, стекло Corning, а также стекло SCHOTT и другие производители стекла, предлагающие сверхбольшие (>2 м × 2 м) и сверхтонкие (<50 мкм) стеклянные панели, а также сверхтонкие гибкие стеклянные материалы.
3) Низкая стоимость. Преимущество в лёгком доступе к сверхтонким стеклянным панелям большого размера и отсутствии необходимости нанесения изолирующих слоёв. Стоимость изготовления стеклянной адаптерной пластины составляет всего около 1/8 стоимости изготовления адаптерной пластины на основе кремния.
4) Простота процесса. Не требуется наносить изолирующий слой на поверхность подложки и внутреннюю стенку TGV (сквозного стеклянного отверстия), а также утончать сверхтонкую адаптерную пластину;
(5) Высокая механическая стабильность. Даже при толщине адаптерной пластины менее 100 мкм деформация остаётся незначительной;
6) Широкий спектр применения. Помимо хороших перспектив применения в области высоких частот, прозрачный материал может также использоваться в области интеграции оптоэлектронных систем, а герметичность и коррозионная стойкость делают стеклянную подложку перспективной в области инкапсуляции МЭМС.
В настоящее время наша компания предлагает технологию TGV (Through Glass Via) для изготовления стекол через отверстия, организует обработку входящих материалов и поставляет готовую продукцию напрямую. Мы предлагаем сапфировые, кварцевые, Corning, SCHOTT, BF33 и другие виды стёкол. Если у вас есть потребность, свяжитесь с нами в любое время! Мы будем рады вашим запросам!
Подробная схема

