Кремниевая пластина с металлическим покрытием из титана и меди (титан/медь)

Изображение кремниевой пластины с металлическим покрытием из титана и меди (титан/медь).

Краткое описание:

НашКремниевые пластины с металлическим покрытием из Ti/Cuимеет высококачественную кремниевую (или опционально стеклянную/кварцевую) подложку, покрытуютитановый адгезионный слойи амедный проводящий слойс использованиемстандартное магнетронное распылениеПромежуточный слой из титана значительно улучшает адгезию и стабильность процесса, а верхний слой из меди обеспечивает низкоомную однородную поверхность, идеально подходящую для электрического сопряжения и последующей микрообработки.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Кремниевая пластина с металлическим покрытием из титана и меди (титан/медь)6

Обзор

Эти пластины, предназначенные как для исследовательских, так и для опытно-промышленных применений, доступны в различных размерах и диапазонах удельного сопротивления, с возможностью гибкой настройки толщины, типа подложки и конфигурации покрытия.

Основные характеристики

Высокая адгезия и надежностьСлой титана улучшает адгезию пленки к Si/SiO₂ и повышает прочность при обращении.
Поверхность с высокой проводимостьюМедное покрытие обеспечивает превосходные электрические характеристики контактов и тестовых структур.
Широкий диапазон индивидуализацииРазмер пластины, удельное сопротивление, ориентация, толщина подложки и толщина пленки предоставляются по запросу.
Готовые к обработке подложкиСовместимость с распространенными лабораторными и производственными рабочими процессами (литография, гальваническое нанесение покрытий, метрология и т. д.)
Доступные серии материаловПомимо Ti/Cu, мы также предлагаем пластины с металлическим покрытием из Au, Pt, Al, Ni, Ag.

Типичная структура и осаждение

Куча: Подложка + адгезионный слой из титана + слой медного покрытия
Стандартный процесс: Магнетронное распыление
Дополнительные процессыТермическое испарение / Гальваническое покрытие (для более толстых медных слоев)

Механические свойства кварцевого стекла

Элемент	Параметры
Размер вафли	2", 4", 6", 8"; 10×10 мм; размеры нарезки на заказ
Тип проводимости	P-тип / N-тип / Собственное высокое сопротивление (Un)
Ориентация	<100>, <111>, и т. д.
Сопротивление	<0,0015 Ом·см; 1–10 Ом·см; >1000–10000 Ом·см
Толщина (мкм)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; на заказ
Материалы подложки	Кремний; опционально кварц, стекло BF33 и т. д.
толщина пленки	10 нм / 50 нм / 100 нм / 150 нм / 300 нм / 500 нм / 1 мкм (настраиваемый)
Варианты металлической пленки	Ти/Си; также доступны Au, Pt, Al, Ni, Ag

Кремниевая пластина с металлическим покрытием из титана и меди (титан/медь)4

Приложения

Омический контакт и проводящие подложкидля исследований и разработок устройств и электрических испытаний
Затравочные слои для гальванического покрытия(RDL, структуры MEMS, толстый слой меди)
Субстраты для роста наноматериалов методом золь-гелядля исследований нано- и тонкопленочных материалов
Микроскопия и метрология поверхностей(Подготовка образцов и измерения для СЭМ/АСМ/СПМ)
Биохимические поверхностинапример, платформы для культивирования клеток, белковые/ДНК-микроматрицы и рефлектометрические подложки.

Часто задаваемые вопросы (кремниевые пластины с металлическим покрытием Ti/Cu)

В1: Почему под медным покрытием используется слой титана?
А: Титан работает какадгезионный (связующий) слойэто улучшает сцепление меди с подложкой и повышает стабильность границы раздела, что помогает уменьшить отслаивание или расслоение во время обработки и транспортировки.

В2: Какова типичная конфигурация толщины слоя Ti/Cu?
А: К распространённым комбинациям относятся:Ti: десятки нанометров (например, 10–50 нм)иCu: 50–300 нмдля напыленных пленок. Более толстые слои меди (на уровне микрометров) часто получают с помощьюэлектроосаждение на напыленном медном затравочном слоев зависимости от вашего применения.

В3: Можно ли покрыть обе стороны пластины?
А: Да.Одностороннее или двустороннее покрытиеДоступно по запросу. Пожалуйста, укажите ваши требования при оформлении заказа.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.