Лодка из кремниевой карбидной (SiC) пластины

Изображение лодки из кремниевой карбидной (SiC) пластины.

Краткое описание:

Лодочка для кремниевых пластин (SiC) — это носитель для полупроводниковых технологических процессов, изготовленный из высокочистого материала SiC, предназначенный для удержания и транспортировки пластин во время критически важных высокотемпературных процессов, таких как эпитаксия, окисление, диффузия и отжиг.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Обзор кварцевого стекла

В связи с быстрым развитием силовых полупроводников и устройств с широкой запрещенной зоной, традиционные кварцевые лодочки сталкиваются с такими ограничениями, как деформация при высоких температурах, сильное загрязнение частицами и короткий срок службы. Ложочки из кремниево-карбидных пластин, обладающие превосходной термической стабильностью, низким уровнем загрязнения и увеличенным сроком службы, все чаще заменяют кварцевые лодочки и становятся предпочтительным выбором в производстве устройств на основе карбида кремния.

Основные характеристики

1. Материальные преимущества

Изготовлено из высокочистого карбида кремния свысокая твердость и прочность.
Температура плавления выше 2700 °C, что значительно выше, чем у кварца, обеспечивая долговременную стабильность в экстремальных условиях.

2. Тепловые свойства

Высокая теплопроводность обеспечивает быструю и равномерную передачу тепла, минимизируя напряжение в подложке.
Коэффициент теплового расширения (КТР) точно соответствует КТР подложек из карбида кремния, что уменьшает деформацию и растрескивание пластин.

3. Химическая стабильность

Стабилен при высоких температурах и в различных атмосферах (H₂, N₂, Ar, NH₃ и др.).
Превосходная стойкость к окислению, предотвращающая разложение и образование частиц.

4. Производительность процесса

Гладкая и плотная поверхность уменьшает осыпание частиц и загрязнение.
Сохраняет стабильность размеров и несущую способность после длительного использования.

5. Экономическая эффективность

В 3–5 раз больший срок службы, чем у лодок с кварцевыми корпусами.
Снижение частоты технического обслуживания, сокращение времени простоя и затрат на замену.

Приложения

Эпитаксия SiC: Поддержка подложек из карбида кремния размером 4, 6 и 8 дюймов во время высокотемпературного эпитаксиального роста.
Изготовление силовых устройствИдеально подходит для SiC MOSFET, диодов Шоттки (SBD), IGBT и других устройств.
Термическая обработкаПроцессы отжига, азотирования и карбонизации.
Окисление и диффузияСтабильная платформа для поддержки кремниевых пластин при высокотемпературном окислении и диффузии.

Технические характеристики

Элемент	Спецификация
Материал	Высокочистый карбид кремния (SiC)
Размер вафли	4 дюйма / 6 дюймов / 8 дюймов (с возможностью индивидуальной настройки)
Максимальная рабочая температура.	≤ 1800°C
Коэффициент теплового расширения (КТР)	4,2 × 10⁻⁶ /K (близко к SiC подложке)
Теплопроводность	120–200 Вт/м·К
Шероховатость поверхности	Ra < 0,2 мкм
Параллелизм	±0,1 мм
Служба жизни	В 3 раза длиннее кварцевых лодок

Сравнение: кварцевая лодка против лодки из карбида кремния

Измерение	Кварцевая лодка	Лодка SiC
Термостойкость	≤ 1200 °C, деформация при высокой температуре.	≤ 1800 °C, термостабильный
CTE Match с SiC	Большое несоответствие, риск повреждения пластины.	Точное соответствие, снижает растрескивание пластин.
Загрязнение частицами	Высокая концентрация примесей.	Низкая, гладкая и плотная поверхность
Служба жизни	Короткая, частая замена	Длительный срок службы, в 3–5 раз больше обычного.
Подходящий процесс	Традиционная эпитаксия кремния	Оптимизировано для эпитаксии SiC и силовых устройств.

Часто задаваемые вопросы – Лодки из кремниевых карбидных (SiC) пластин

1. Что такое лодочка из кремниевой пластины (SiC)?

Лодочка для кремниевых пластин из карбида кремния (SiC) — это носитель для полупроводниковых технологических процессов, изготовленный из высокочистого карбида кремния. Она используется для удержания и транспортировки пластин во время высокотемпературных процессов, таких как эпитаксия, окисление, диффузия и отжиг. По сравнению с традиционными кварцевыми лодочками, лодочки из SiC обладают превосходной термической стабильностью, меньшим загрязнением и более длительным сроком службы.

2. Почему стоит выбрать лодочки из кремниевых пластин вместо кварцевых?

Повышенная термостойкостьСтабильна при температуре до 1800°C по сравнению с кварцем (≤1200°C).
Более подходящий вариант для ХТЭ: Расположен в непосредственной близости от подложек из карбида кремния, что минимизирует напряжение и растрескивание пластины.
Более низкое образование частицГладкая, плотная поверхность снижает загрязнение.
Более длительный срок службыВ 3–5 раз дольше, чем лодки из кварца, что снижает эксплуатационные расходы.

3. Какие размеры кремниевых пластин могут поддерживаться в лотках для кремниевых пластин из карбида кремния?

Мы предлагаем стандартные проекты для4-дюймовые, 6-дюймовые и 8-дюймовыевафли, с возможностью полной индивидуализации в соответствии с потребностями заказчика.

4. В каких процессах обычно используются лодочки из кремниевых пластин?

Эпитаксиальный рост SiC
Производство силовых полупроводниковых приборов (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Высокотемпературный отжиг, азотирование и карбонизация
Процессы окисления и диффузии

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.