Керамическая пластина из карбида кремния (SiC).
Подробная схема
Обзор продукта
Керамические пластины из карбида кремния (SiC) — это высокопрочные, высокочистые керамические компоненты, разработанные для условий, требующих исключительной термической стабильности, механической прочности и химической стойкости. Благодаря превосходной твердости, низкой плотности и высокой теплопроводности, пластины из SiC широко используются в полупроводниковой промышленности, высокотемпературных печах, прецизионном машиностроении и агрессивных промышленных средах.
Эти пластины сохраняют структурную целостность в экстремальных условиях, что делает их идеальным материалом для высокопроизводительного оборудования нового поколения.
Основные характеристики и свойства
-
Высокая твердость и износостойкость– По своим характеристикам сравним с алмазом, что гарантирует длительный срок службы.
-
Низкий коэффициент теплового расширения– Минимизирует деформацию при быстром нагреве или охлаждении.
-
Высокая теплопроводность– Эффективное рассеивание тепла в системах терморегулирования.
-
Выдающаяся химическая стабильность– Устойчив к кислотам, щелочам и плазменной среде.
-
Легкий, но чрезвычайно прочный– Высокое соотношение прочности к весу по сравнению с металлами.
-
Превосходные характеристики при высоких температурах– Рабочие температуры до 1600 °C (в зависимости от марки).
-
Высокая механическая жесткость– Идеально подходит для точной опоры и обеспечения структурной устойчивости.
Метод изготовления
Керамические пластины из карбида кремния обычно изготавливаются одним из следующих способов:
• Реакционно-связанный карбид кремния (RBSC / RBSiC)
-
Образуется путем пропитки пористого SiC-преформа расплавленным кремнием.
-
Обладает высокой прочностью, хорошей обрабатываемостью и стабильностью размеров.
-
Подходит для больших плит, требующих строгого контроля плоскостности.
• Спеченный карбид кремния (SSiC)
-
Получено методом безнапорного спекания порошка высокочистого карбида кремния.
-
Обладает превосходной чистотой, прочностью и коррозионной стойкостью.
-
Идеально подходит для полупроводниковой и химической промышленности, требующей сверхчистых условий.
• Карбид кремния, полученный методом химического осаждения из газовой фазы (CVD-SiC)
-
Процесс химического осаждения из паровой фазы
-
Высочайшая чистота, чрезвычайно высокая плотность и ультрагладкая поверхность.
-
Часто используется в носителях полупроводниковых пластин, подложках и деталях вакуумных камер.
Приложения
Керамические пластины из карбида кремния (SiC) широко используются в различных отраслях промышленности:
Полупроводники и электроника
-
пластины-носители для пластин
-
Сусцепторы
-
Компоненты диффузионной печи
-
Детали камеры травления и осаждения
Компоненты высокотемпературной печи
-
Опорные пластины
-
Мебель для печей
-
Теплоизоляция и защита системы отопления
Промышленное оборудование
-
Механические износостойкие пластины
-
Скользящие накладки
-
Компоненты насосов и клапанов
-
Пластины, устойчивые к химической коррозии
Аэрокосмическая и оборонная промышленность
-
Легкие высокопрочные конструкционные пластины
-
Компоненты высокотемпературной защиты
Технические характеристики и индивидуальная настройка
Керамические пластины из карбида кремния могут быть изготовлены по индивидуальным чертежам:
• Размеры:
Толщина: 0,5–30 мм
Максимальная длина стороны: до 600 мм (зависит от процесса).
• Допустимая погрешность:
±0,01–0,05 мм в зависимости от класса обработки
• Качество обработки поверхности:
-
Обработанный / перекрытый
-
Полированная поверхность (Ra < 5 нм для CVD-SiC)
-
Спеченная поверхность
• Марки материалов:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC
• Варианты формы:
Плоские пластины, квадратные пластины, круглые пластины, пластины с прорезями, перфорированные пластины и т. д.
Часто задаваемые вопросы о кварцевых стеклах
В1: В чем разница между пластинами RBSiC и SSiC?
A:RBSiC обладает хорошей механической прочностью и экономичностью, в то время как SSiC отличается более высокой чистотой, лучшей коррозионной стойкостью и большей прочностью. SSiC предпочтителен для применения в полупроводниковой и химической промышленности.
Вопрос 2: Могут ли керамические пластины из карбида кремния выдерживать термический удар?
A:Да. Карбид кремния обладает низким коэффициентом теплового расширения и высокой теплопроводностью, что обеспечивает превосходную термостойкость.
В3: Можно ли отполировать пластины для получения зеркальной поверхности?
A:Да. CVD-SiC и высокочистый SSiC позволяют достичь зеркальной полировки, необходимой для оптических или полупроводниковых целей.
Вопрос 4: Вы оказываете услуги по изготовлению деталей на заказ?
A:Да. Пластины могут быть изготовлены по вашим чертежам, включая отверстия, пазы, углубления и специальные формы.
О нас
Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.














