Керамическая вилка-рука из карбида кремния SiC для критически важных систем обработки

Изображение вилки/кисти из карбида кремния и керамики SiC для критически важных систем обработки

Краткое описание:

TheКерамическая вилка из карбида кремнияЭто передовой компонент, разработанный для передовой промышленной автоматизации, обработки полупроводников и сверхчистых сред. Его уникальная вилкообразная архитектура и сверхплоская керамическая поверхность делают его идеальным для работы с чувствительными подложками, включая кремниевые пластины, стеклянные панели и оптические устройства. Разработанный с высокой точностью и изготовленный из сверхчистого карбида кремния,Керамическая вилка из карбида кремнияобеспечивает непревзойденную механическую прочность, термическую надежность и контроль загрязнений.

Написать нам письмо

Функции

Подробная схема

Представлена керамическая вилка-рука из карбида кремния

В отличие от обычного металлического или пластикового оружия,Керамическая вилка из карбида кремнияОбеспечивает стабильную работу в экстремальных температурных, химических и вакуумных условиях. Этот компонент обеспечивает безопасную, эффективную и безотходную транспортировку ценных деталей как в чистом помещении класса 1, так и в высоковакуумной плазменной камере.

Благодаря конструкции, адаптированной для роботизированных рук, манипуляторов пластин и автоматизированных инструментов передачи,Керамическая вилка из карбида кремнияпредставляет собой разумное усовершенствование любой высокоточной системы.

Процесс изготовления керамической вилки-руки из карбида кремния

Создание высокопроизводительногоКерамическая вилка из карбида кремниявключает в себя строго контролируемый технологический процесс изготовления керамических изделий, который обеспечивает повторяемость, надежность и сверхнизкий уровень дефектов.

1. Материаловедение

При изготовлении используется только порошок карбида кремния сверхвысокой чистоты.Керамическая вилка из карбида кремния, что обеспечивает низкое содержание ионов и высокую насыпную прочность. Порошки точно смешиваются с спекающими добавками и связующими для достижения оптимальной плотности.

2. Формирование базовой структуры

Базовая геометриявилка/рукаИзготовлен методом холодного изостатического прессования или литья под давлением, что обеспечивает высокую плотность в сыром виде и равномерное распределение напряжений. U-образная конфигурация оптимизирована для обеспечения соотношения жёсткости к массе и динамических характеристик.

3. Процесс спекания

Зелёное телоКерамическая вилка из карбида кремнияСпекается в высокотемпературной печи в среде инертного газа при температуре более 2000 °C. Этот этап обеспечивает плотность, близкую к теоретической, что позволяет получить компонент, устойчивый к растрескиванию, короблению и изменению размеров при реальных тепловых нагрузках.

4. Прецизионная шлифовка и обработка

Для придания окончательных размеров используется современный алмазный инструмент с ЧПУ.Керамическая вилка из карбида кремния. Жесткие допуски (±0,01 мм) и зеркальная чистота поверхности снижают выбросы частиц и механическое напряжение.

5. Кондиционирование и очистка поверхностей

Окончательная обработка поверхности включает химическую полировку и ультразвуковую очистку для подготовкивилка/рукаДля прямой интеграции в сверхчистые системы. Также доступны дополнительные покрытия (CVD-SiC, антибликовые покрытия).

Этот тщательный процесс гарантирует, что каждыйКерамическая вилка из карбида кремниясоответствует самым строгим промышленным стандартам, включая требования к чистым помещениям SEMI и ISO.

Параметры керамической вилки из карбида кремния

Элемент	Условия испытания	Данные	Единица
Содержание карбида кремния	/	>99,5	%
Средний размер зерна	/	4-10	микрон
Плотность	/	>3.14	г/см3
Кажущаяся пористость	/	<0,5	Объем %
Твердость по Виккерсу	HV0.5	2800	кг/мм2
Модуль прочности на разрыв (3 балла)	Размер тестового стержня: 3 x 4 x 40 мм	450	МПа
Прочность на сжатие	20°С	3900	МПа
Модуль упругости	20°С	420	ГПа
Вязкость разрушения	/	3.5	МПа/м^1/2
Теплопроводность	20°С	160	Вт/(мК)
Электрическое сопротивление	20°С	10⁶-10⁸	Ом·см
Коэффициент теплового расширения	20°С-800°С	4.3	K^-110^-6
Макс. температура применения	Оксидная атмосфера	1600	°С
Макс. температура применения	Инертная атмосфера	1950	°С

Применение керамических вилочных протезов из карбида кремния

TheКерамическая вилка из карбида кремнияРазработан для использования в высокоточных, высокорисковых и чувствительных к загрязнению приложениях. Он обеспечивает надежную обработку, перемещение и поддержку критически важных компонентов без каких-либо компромиссов.

➤ Полупроводниковая промышленность

Используется в качестве роботизированной вилки на станциях фронтальной передачи пластин и FOUP.
Интегрированы в вакуумные камеры для плазменного травления и процессов PVD/CVD.
Выполняет функции несущего рычага в метрологических и юстировочных приборах.

TheКерамическая вилка из карбида кремнияустраняет риски электростатического разряда (ESD), обеспечивает точность размеров и противостоит плазменной коррозии.

➤ Фотоника и оптика

Обеспечивает защиту деликатных линз, лазерных кристаллов и датчиков во время изготовления или проверки.
Высокая жесткость предотвращает вибрацию, а керамический корпус препятствует загрязнению оптических поверхностей.

➤ Производство дисплеев и панелей

Обрабатывает тонкое стекло, OLED-модули и ЖК-подложки во время транспортировки или проверки.
Плоский и химически инертныйКерамическая вилка из карбида кремниязащищает от царапин и химического травления.

➤ Аэрокосмические и научные приборы

Используется при сборке оптики спутников, в вакуумной робототехнике и в установках синхротронного излучения.
Безупречно работает в чистых помещениях космического класса и средах с высоким риском радиационного облучения.

В каждой области,Керамическая вилка из карбида кремнияповышает эффективность системы, снижает количество отказов деталей и сводит к минимуму время простоя.

FAQ – Часто задаваемые вопросы о вилке/кисти из карбида кремния

В1: Чем керамическая вилка/рука из карбида кремния лучше металлических аналогов?

TheКерамическая вилка из карбида кремнияОбладает превосходной твёрдостью, меньшей плотностью, лучшей химической стойкостью и значительно меньшим тепловым расширением по сравнению с металлами. Он также подходит для использования в чистых помещениях, не подвержен коррозии и образованию частиц.

В2: Могу ли я запросить индивидуальные размеры для моей вилочной руки/кисти из карбида кремния?

Да. Мы предлагаем полную настройку, включая ширину и толщину вилки, монтажные отверстия, вырезы и обработку поверхности. Будь то пластины размером 6, 8 или 12 дюймов,вилка/рукаможно подогнать под размер.

В3: Как долго прослужит керамическая вилочная рука/кисть из карбида кремния под воздействием плазмы или вакуума?

Благодаря высокой плотности материала SiC и инертной природе,вилка/рукаСохраняет работоспособность даже после тысяч технологических циклов. Демонстрирует минимальный износ под воздействием агрессивной плазмы или вакуумного тепла.

В4: Подходит ли продукт для чистых помещений класса ISO 1?

Конечно.Керамическая вилка из карбида кремнияпроизводится и упаковывается в сертифицированных чистых помещениях, где уровень частиц значительно ниже требований ISO Класса 1.

В5: Какова максимальная рабочая температура для этой вилки/руки?

TheКерамическая вилка из карбида кремнияможет непрерывно работать при температуре до 1500 °C, что делает его пригодным для непосредственного использования в высокотемпературных технологических камерах и термовакуумных системах.

Эти часто задаваемые вопросы отражают наиболее распространенные технические проблемы, с которыми сталкиваются инженеры, руководители лабораторий и системные интеграторы, использующиеКерамическая вилка из карбида кремния.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.