Станок для резки алмазной проволокой из карбида кремния, обработка слитков SiC диаметром 4/6/8/12 дюймов

Изображение: Станок для резки алмазной проволокой из карбида кремния, обработка слитков SiC 4/6/8/12 дюймов

Краткое описание:

Станок для резки карбида кремния алмазным канатом – это высокоточное оборудование, предназначенное для резки слитков карбида кремния (SiC) с помощью технологии алмазной проволочной пилы. Высокоскоростная алмазная проволока (диаметром 0,1–0,3 мм) используется для многопроволочной резки слитков SiC, обеспечивая высокоточную подготовку пластин с минимальным повреждением. Данное оборудование широко используется для обработки подложек силовых полупроводников SiC (MOSFET/SBD), радиочастотных устройств (GaN-на-SiC) и оптоэлектронных устройств, являясь ключевым оборудованием в цепочке производства SiC.

Напишите нам письмо

Функции

Принцип работы：

1. Фиксация слитка: слиток SiC (4H/6H-SiC) фиксируется на режущей платформе с помощью приспособления, обеспечивающего точность позиционирования (±0,02 мм).

2. Движение алмазной линии: алмазная линия (алмазные частицы, нанесенные гальваническим способом на поверхность) приводится в движение системой направляющих колес для высокоскоростной циркуляции (скорость линии 10~30 м/с).

3. Подача резки: слиток подается вдоль заданного направления, и алмазная линия разрезается одновременно несколькими параллельными линиями (100~500 линий) для формирования нескольких пластин.

4. Охлаждение и удаление стружки: Распылите охлаждающую жидкость (деионизированная вода + присадки) в зоне резания, чтобы уменьшить тепловое повреждение и удалить стружку.

Основные параметры:

1. Скорость резки: 0,2~1,0 мм/мин (в зависимости от направления кристалла и толщины SiC).

2. Натяжение лески: 20~50 Н (слишком сильное натяжение приведет к обрыву лески, слишком слабое натяжение повлияет на точность резки).

3. Толщина пластины: стандартно 350~500 мкм, пластина может достигать 100 мкм.

Основные характеристики:

(1) Точность резки
Допуск по толщине: ±5 мкм (для пластины толщиной 350 мкм), что лучше, чем при обычной резке в растворе (±20 мкм).

Шероховатость поверхности: Ra<0,5мкм (не требуется дополнительная шлифовка для уменьшения объема последующей обработки).

Коробление: <10 мкм (уменьшение трудности последующей полировки).

(2) Эффективность обработки
Многолинейная резка: резка 100–500 деталей за один раз, увеличение производительности в 3–5 раз (по сравнению с однолинейной резкой).

Срок службы линии: Алмазная линия может резать 100–300 км SiC (в зависимости от твердости слитка и оптимизации процесса).

(3) Обработка с минимальными повреждениями
Поломка кромки: <15 мкм (традиционная резка >50 мкм), повышение выхода годных пластин.

Подповерхностный поврежденный слой: <5 мкм (уменьшить удаление полировкой).

(4) Охрана окружающей среды и экономика
Отсутствие загрязнения раствора: снижение затрат на утилизацию жидких отходов по сравнению с резкой раствора.

Использование материала: потери при резании <100 мкм/резец, экономия сырья SiC.

Режущий эффект:

1. Качество пластины: отсутствие макроскопических трещин на поверхности, небольшое количество микроскопических дефектов (контролируемое распространение дислокаций). Возможность непосредственного попадания в зону грубой полировки, что сокращает время технологического процесса.

2. Консистенция: отклонение толщины пластины в партии составляет <±3%, что подходит для автоматизированного производства.

3.Применимость: поддерживает резку слитков 4H/6H-SiC, совместима с проводящим/полуизолированным типом.

Технические характеристики：

Спецификация	Подробности
Размеры (Д × Ш × В)	2500x2300x2500 или по индивидуальному заказу
Диапазон размеров обрабатываемого материала	4, 6, 8, 10, 12 дюймов из карбида кремния
Шероховатость поверхности	Ra≤0,3u
Средняя скорость резания	0,3 мм/мин
Масса	5,5т
Этапы настройки процесса резки	≤30 шагов
Шум оборудования	≤80 дБ
Натяжение стальной проволоки	0~110 Н (натяжение проволоки 0,25 составляет 45 Н)
Скорость стальной проволоки	0~30 м/с
Общая мощность	50 кВт
Диаметр алмазного каната	≥0,18 мм
Конечная плоскостность	≤0,05 мм
Скорость резки и ломки	≤1% (за исключением человеческих причин, кремниевого материала, линии, технического обслуживания и других причин)

Услуги XKH:

XKH предоставляет полный спектр услуг по резке алмазной проволокой из карбида кремния, включая выбор оборудования (соответствие диаметра проволоки/скорости проволоки), разработку процесса (оптимизация параметров резки), поставку расходных материалов (алмазная проволока, направляющее колесо) и послепродажную поддержку (обслуживание оборудования, анализ качества резки), чтобы помочь клиентам достичь высокой производительности (>95%), низкой стоимости массового производства пластин SiC. Он также предлагает индивидуальные обновления (такие как сверхтонкая резка, автоматическая загрузка и выгрузка) со сроком выполнения заказа 4-8 недель.