Станок для резки алмазной проволоки из карбида кремния, предназначенный для обработки слитков SiC размером 4/6/8/12 дюймов.

Станок для резки алмазной проволоки из карбида кремния, обработка слитков SiC размером 4/6/8/12 дюймов. Изображение к статье.

Краткое описание:

Станок для резки алмазной проволокой из карбида кремния — это высокоточное оборудование, предназначенное для нарезки слитков карбида кремния (SiC). Используя технологию алмазной проволочной пилы, станок с высокоскоростным перемещением алмазной проволоки (диаметр линии 0,1–0,3 мм) выполняет многопроволочную резку слитков SiC, обеспечивая высокоточную подготовку пластин с минимальным повреждением. Оборудование широко используется в обработке силовых полупроводников (MOSFET/SBD), радиочастотных устройств (GaN-on-SiC) и оптоэлектронных устройств, являясь ключевым элементом в производственной цепочке SiC.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Принцип работы:

1. Фиксация слитка: слиток SiC (4H/6H-SiC) фиксируется на режущей платформе с помощью зажимного приспособления для обеспечения точности позиционирования (±0,02 мм).

2. Движение алмазной линии: алмазная линия (нанесенные методом гальванического осаждения алмазные частицы на поверхность) приводится в движение системой направляющих колес для высокоскоростного вращения (скорость линии 10–30 м/с).

3. Подача при резке: слиток подается в заданном направлении, и одновременно с этим происходит резка алмазной кромки с помощью множества параллельных линий (100–500 линий) для формирования нескольких пластин.

4. Охлаждение и удаление стружки: Распылите охлаждающую жидкость (деионизированную воду + добавки) в зону резки, чтобы уменьшить тепловое повреждение и удалить стружку.

Ключевые параметры:

1. Скорость резки: 0,2–1,0 мм/мин (в зависимости от направления кристаллов и толщины SiC).

2. Натяжение лески: 20–50 Н (слишком высокое натяжение приводит к обрыву лески, слишком низкое влияет на точность резки).

3. Толщина пластины: стандартная 350–500 мкм, возможна толщина пластины до 100 мкм.

Основные характеристики:

(1) Точность резки
Допуск по толщине: ±5 мкм (на пластине толщиной 350 мкм), что лучше, чем при обычной резке раствора (±20 мкм).

Шероховатость поверхности: Ra<0,5 мкм (дополнительная шлифовка не требуется для уменьшения объема последующей обработки).

Деформация: <10 мкм (упрощает последующую полировку).

(2) Эффективность обработки
Многолинейная резка: резка 100–500 деталей за раз, что увеличивает производительность в 3–5 раз (по сравнению с однолинейной резкой).

Срок службы линии: Алмазная линия может разрезать 100–300 км SiC (в зависимости от твердости слитка и оптимизации процесса).

(3) Обработка с низким уровнем повреждений
Разрыв кромки: <15 мкм (традиционная резка >50 мкм), повышение выхода годных пластин.

Подповерхностный слой повреждений: <5 мкм (уменьшает объем удаляемого при полировке материала).

(4) Охрана окружающей среды и экономика
Отсутствие загрязнения раствора: снижение затрат на утилизацию жидких отходов по сравнению с резкой раствора.

Эффективность использования материала: потери при резке <100 мкм/резец, экономия сырья из карбида кремния.

Режущий эффект:

1. Качество пластины: отсутствие макроскопических трещин на поверхности, мало микроскопических дефектов (контролируемое распространение дислокаций). Возможность непосредственного перехода к грубой полировке, что сокращает технологический процесс.

2. Стабильность: отклонение толщины пластины в партии составляет <±3%, что подходит для автоматизированного производства.

3. Применимость: Поддерживает резку слитков 4H/6H-SiC, совместим с проводящими/полуизолированными материалами.

Технические характеристики:

Спецификация	Подробности
Габариты (Д × Ш × В)	2500x2300x2500 или на заказ
Диапазон размеров обрабатываемого материала	4, 6, 8, 10, 12 дюймов карбида кремния
Шероховатость поверхности	Ra≤0,3u
Средняя скорость резки	0,3 мм/мин
Масса	5,5 т
Этапы настройки процесса резки	≤30 шагов
шум оборудования	≤80 дБ
натяжение стальной проволоки	0~110 Н (натяжение проволоки 0,25 Н составляет 45 Н)
скорость стальной проволоки	0~30 м/с
Суммарная мощность	50 кВт
диаметр алмазной проволоки	≥0,18 мм
Плоскостность торца	≤0,05 мм
скорость резки и поломки	≤1% (за исключением человеческих факторов, используемых кремниевых материалов, производственных линий, технического обслуживания и других причин)

XKH Services:

Компания XKH предоставляет полный комплекс услуг по обработке кремнийкарбидных алмазных пластин с помощью станков для резки, включая подбор оборудования (подбор диаметра и скорости проволоки), разработку технологических процессов (оптимизация параметров резки), поставку расходных материалов (алмазная проволока, направляющие колеса) и послепродажное обслуживание (техническое обслуживание оборудования, анализ качества резки), помогая клиентам достичь высокой производительности (>95%) и низкой себестоимости массового производства кремнийкарбидных пластин. Компания также предлагает индивидуальные решения по модернизации (например, сверхтонкая резка, автоматическая загрузка и выгрузка) со сроком выполнения 4-8 недель.