Присоска для керамического лотка из карбида кремния Поставка керамической трубки из карбида кремния Высокотемпературное спекание Обработка по индивидуальному заказу
Основные характеристики:
1. Керамический поддон из карбида кремния
- Высокая твердость и износостойкость: твердость близка к твердости алмаза и позволяет в течение длительного времени выдерживать механический износ при обработке пластин.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения: быстрое рассеивание тепла и размерная стабильность, что позволяет избежать деформации, вызванной термическим напряжением.
- Высокая плоскостность и чистота поверхности: плоскостность поверхности достигает микронного уровня, что обеспечивает полный контакт между пластиной и диском, снижая загрязнение и повреждение.
Химическая стабильность: Высокая коррозионная стойкость, подходит для процессов влажной очистки и травления в производстве полупроводников.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Высокая термостойкость: может работать в условиях высоких температур свыше 1600°C в течение длительного времени, подходит для высокотемпературных процессов в полупроводниках.
Отличная коррозионная стойкость: устойчив к кислотам, щелочам и различным химическим растворителям, подходит для суровых технологических условий.
- Высокая твердость и износостойкость: противостоят эрозии частиц и механическому износу, продлевают срок службы.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения: быстрая теплопроводность и размерная стабильность, снижение деформации или растрескивания, вызванных термическим напряжением.
Параметры продукта:
Параметры керамического подноса из карбида кремния:
| (Материальная собственность) | (Единица) | (ссик) | |
| (Содержание SiC) | (Вес)% | >99 | |
| (Средний размер зерна) | микрон | 4-10 | |
| (Плотность) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Кажущаяся пористость) | Vo1% | <0,5 | |
| (Твёрдость по Виккерсу) | ВН 0,5 | ГПа | 28 |
| *() Прочность на изгиб* (три точки) | 20ºС | МПа | 450 |
| (Прочность на сжатие) | 20ºС | МПа | 3900 |
| (модуль упругости) | 20ºС | ГПа | 420 |
| (Вязкость разрушения) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Теплопроводность) | 20°ºС | Вт/(м*К) | 160 |
| (Удельное сопротивление) | 20°ºС | Ом.см | 106-108 |
(Коэффициент теплового расширения) | а(КТ**...80ºС) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Максимальная рабочая температура) | oºC | 1700 | |
Параметры керамической трубки из карбида кремния:
| Предметы | Индекс |
| α-SIC | 99% мин. |
| Кажущаяся пористость | 16% макс. |
| Насыпная плотность | 2,7 г/см3 мин |
| Прочность на изгиб при высокой температуре | 100 МПа мин. |
| Коэффициент теплового расширения | К-1 4,7x10 -6 |
| Коэффициент теплопроводности (1400ºC) | 24 Вт/мК |
| Макс. рабочая температура | 1650ºС |
Основные области применения:
1. Керамическая пластина из карбида кремния
- Резка и полировка пластин: служит опорной платформой для обеспечения высокой точности и стабильности во время резки и полировки.
- Процесс литографии: пластина фиксируется в литографической машине для обеспечения высокой точности позиционирования во время экспонирования.
- Химико-механическая полировка (ХМП): действует как опорная платформа для полировальных кругов, обеспечивая равномерное давление и распределение тепла.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Трубка высокотемпературной печи: используется в высокотемпературном оборудовании, таком как диффузионная печь и окислительная печь, для перемещения пластин для высокотемпературной обработки.
- Процесс CVD/PVD: в качестве несущей трубы в реакционной камере, устойчивой к высоким температурам и агрессивным газам.
- Аксессуары для полупроводникового оборудования: для теплообменников, газопроводов и т. д., для повышения эффективности терморегулирования оборудования.
XKH предлагает полный спектр индивидуальных услуг для подносов, присосок и трубок из карбида кремния из керамики. Подносы и присоски из карбида кремния из керамики XKH могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с требованиями заказчика по различным размерам, формам и шероховатости поверхности, а также поддерживают специальную обработку покрытия, повышают износостойкость и коррозионную стойкость; Для трубок из карбида кремния из керамики XKH может изготавливать под заказ различные внутренние диаметры, внешние диаметры, длины и сложную структуру (например, фасонные или пористые трубки), а также обеспечивать полировку, антиокислительное покрытие и другие процессы обработки поверхности. XKH гарантирует, что клиенты смогут в полной мере воспользоваться преимуществами производительности изделий из карбида кремния из керамики для удовлетворения строгих требований таких высокотехнологичных производственных областей, как полупроводники, светодиоды и фотоэлектрические элементы.
Подробная схема
