Керамическая керамическая лоток керамика керамика керамика керамида керамическая трубка подавать высокотемпературные спекания пользовательская обработка

Керамический керамический лоток из керамики керамика керамика керамида керамическая трубка подавать высокотемпературные спекания.

Краткое описание:

Керамический лоток из карбида кремния и кремниевые керамические трубки являются незаменимыми высокопроизводительными материалами в производстве полупроводников. Керамический лоток из карбида кремния в основном используется в обработке пластин. Керамические трубки из карбида кремния широко используются в высокотемпературных пробирках, диффузионных пробирках и других сценариях, чтобы противостоять экстремальным средам и поддерживать эффективное тепловое управление. Оба основаны на карбиде кремния в качестве основного материала, который стал ключевым компонентом в полупроводниковой промышленности благодаря ее превосходным физическим и химическим свойствам.

Отправить нам электронное письмо

Деталь продукта

Теги продукта

Основные особенности:

1. Керамический лоток из карбида кремния
- Высокая твердость и стойкость к износу: твердость близок к алмазу и может долго выдерживать механический износ в переработке пластин.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент термического расширения: быстрое рассеивание тепла и размерная стабильность, избегая деформации, вызванной тепловым напряжением.
- Высокая плоская и поверхностная отделка: поверхностная плоскостность находится до уровня микрона, обеспечивая полный контакт между пластиной и диском, уменьшая загрязнение и повреждение.
Химическая стабильность: сильная коррозионная устойчивость, подходящая для мокрой очистки и процессов травления в производстве полупроводников.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Высокая температурная сопротивление: он может работать в высокотемпературной среде выше 1600 ° C в течение длительного времени, подходящего для высокотемпературного процесса полупроводника.
Превосходная коррозионная устойчивость: устойчивая к кислотам, щелочкам и различным химическим растворителям, подходящим для суровых процессовых сред.
- Высокая твердость и износостойкость: сопротивляться эрозии частиц и механического износа, продлить срок службы.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент термического расширения: быстрая проводимость тепла и размерной стабильности, снижение деформации или растрескивание, вызванное тепловым напряжением.

Параметр продукта:

Силиконовый карбид -керамический параметр:

(Материальное свойство)		(Единица)	(SSIC)
(Содержание SIC)		(WT)%	> 99
(Средний размер зерна)		микрон	4-10
(Плотность)		кг/дм3	> 3.14
(Кажущаяся пористость)		Vo1%	<0,5
(Твердость Виккерса)	HV 0,5	Средний балл	28
() Прочность на гибкость (три очка)	20ºC	МПА	450
(Прочность на сжатие)	20ºC	МПА	3900
(Модуль упругости)	20ºC	Средний балл	420
(Прочность перелома)		MPA/M '%	3.5
(Теплопроводность)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Удельное сопротивление)	20 ° ºC	Оммс	106-108
(Коэффициент термического расширения)	A (Rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Максимальная рабочая температура)		oºc	1700

Керамическая трубка из карбина кремния:

Предметы	Индекс
α-SIC	99% мин
Кажущаяся пористость	16% макс
Объемная плотность	2,7 г/см3 мин
Изгибая прочность при высокой температуре	100 МПа мин
Коэффициент термического расширения	K -1 4.7x10 -6
Коэффициент теплопроводности (1400ºC)	24 Вт/Мк
Максимум Рабочая температура	1650ºC

Основные приложения:

1. Керамическая тарелка из карбида кремния
- Резка и полировка пластин: служит платформой для подшипника для обеспечения высокой точности и стабильности во время резки и полировки.
- Литографический процесс: пластина фиксируется в литографической машине, чтобы обеспечить высокое точное положение во время экспозиции.
- Химическая механическая полировка (CMP): действует в качестве опорной платформы для полировки, обеспечивая равномерное давление и распределение тепла.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Трубка с высокой температурой печи: используется для высокотемпературного оборудования, такого как диффузионная печь и окислительная печь для переноса пластин для обработки высокой температуры.
- Процесс CVD/PVD: в качестве подшипника в реакционной камере, устойчивая к высоким температурам и коррозионным газам.
- Аксессуары для полупроводникового оборудования: для теплообменников, газопроводов и т. Д. Для повышения эффективности теплового управления оборудованием.
XKH предлагает полный спектр пользовательских услуг для керамических керамических лоток из кремниевых карбидов, всасывающих чашек и керамических трубок из карбида кремния. Керамические керамические лотки и всасывание кремниевых карбидов XKH можно настроить в соответствии с требованиями клиентов различных размеров, форм и шероховатости поверхности, а также поддерживать специальную обработку покрытия, повысить устойчивость к износу и коррозионную стойкость; Для кремниевых карбида керамических трубок XKH может настраивать различные внутренние диаметра, внешний диаметр, длину и сложную структуру (такую как фигурную трубку или пористую трубку), а также обеспечивает полировку, антиоксидирующее покрытие и другие процессы обработки поверхности. XKH гарантирует, что клиенты могут в полной мере воспользоваться преимуществами производительности кремниевых керамических продуктов из карбида для удовлетворения требовательных требований высококачественных производственных областей, таких как полупроводники, светодиоды и фотоэлектрические.