Керамический лоток-присоска из карбида кремния. Поставка керамической трубки из карбида кремния. Высокотемпературное спекание. Обработка по индивидуальному заказу.
Основные характеристики:
1. Керамический лоток из карбида кремния
- Высокая твердость и износостойкость: твердость близка к твердости алмаза и позволяет в течение длительного времени выдерживать механический износ при обработке пластин.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения: быстрое рассеивание тепла и размерная стабильность, что позволяет избежать деформации, вызванной термическим напряжением.
- Высокая плоскостность и чистота поверхности: плоскостность поверхности достигает микронного уровня, что обеспечивает полный контакт между пластиной и диском, снижая загрязнение и повреждение.
Химическая стабильность: высокая коррозионная стойкость, подходит для процессов влажной очистки и травления в производстве полупроводников.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Высокая термостойкость: может работать в условиях высоких температур свыше 1600 °C в течение длительного времени, подходит для высокотемпературных процессов в полупроводниках.
Отличная коррозионная стойкость: устойчив к воздействию кислот, щелочей и различных химических растворителей, пригоден для эксплуатации в агрессивных технологических средах.
- Высокая твердость и износостойкость: противостоят эрозии частиц и механическому износу, продлевают срок службы.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения: быстрая проводимость тепла и размерная стабильность, снижение деформации или растрескивания, вызванных термическим напряжением.
Параметры продукта:
Параметры керамического лотка из карбида кремния:
| (Материальная собственность) | (Единица) | (ссик) | |
| (содержание SiC) | (вес)% | >99 | |
| (Средний размер зерна) | микрон | 4-10 | |
| (Плотность) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Кажущаяся пористость) | Vo1% | <0,5 | |
| (твердость по Виккерсу) | HV 0,5 | ГПа | 28 |
| *() Прочность на изгиб* (три точки) | 20ºС | МПа | 450 |
| (Прочность на сжатие) | 20ºС | МПа | 3900 |
| (модуль упругости) | 20ºС | ГПа | 420 |
| (Вязкость разрушения) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Теплопроводность) | 20°ºС | Вт/(м*К) | 160 |
| (Сопротивление) | 20°ºС | Ом.см | 106-108 |
(Коэффициент теплового расширения) | а(РТ**...80ºС) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Максимальная рабочая температура) | oºC | 1700 | |
Параметры керамической трубки из карбида кремния:
| Предметы | Индекс |
| α-SIC | 99% мин. |
| Кажущаяся пористость | 16% макс. |
| Насыпная плотность | 2,7 г/см3 мин |
| Прочность на изгиб при высокой температуре | 100 МПа мин. |
| Коэффициент теплового расширения | К-1 4,7x10 -6 |
| Коэффициент теплопроводности (1400ºC) | 24 Вт/мК |
| Макс. рабочая температура | 1650ºС |
Основные области применения:
1. Керамическая пластина из карбида кремния
- Резка и полировка пластин: служит опорной платформой для обеспечения высокой точности и стабильности во время резки и полировки.
- Процесс литографии: пластина фиксируется в литографической машине для обеспечения высокой точности позиционирования во время экспонирования.
- Химико-механическая полировка (ХМП): действует как опорная платформа для полировальных кругов, обеспечивая равномерное давление и распределение тепла.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Трубка высокотемпературной печи: используется в высокотемпературном оборудовании, таком как диффузионная печь и окислительная печь, для перемещения пластин для высокотемпературной обработки.
- Процесс CVD/PVD: в качестве несущей трубы в реакционной камере, устойчивой к высоким температурам и агрессивным газам.
- Комплектующие для полупроводникового оборудования: для теплообменников, газопроводов и т.д., для повышения эффективности терморегулирования оборудования.
Компания XKH предлагает полный спектр услуг по изготовлению поддонов, присосок и трубок из карбидкремниевой керамики. Поддоны и присоски из карбидкремниевой керамики XKH могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с требованиями заказчика, с различными размерами, формами и шероховатостью поверхности, а также с возможностью нанесения специального покрытия для повышения износостойкости и коррозионной стойкости. Для трубок из карбидкремниевой керамики XKH может изготавливать под заказ различные варианты внутреннего и внешнего диаметра, длины и сложной структуры (например, профильные или пористые трубы), а также предлагает полировку, нанесение антиокислительного покрытия и другие виды обработки поверхности. XKH гарантирует, что заказчики смогут в полной мере воспользоваться преимуществами изделий из карбидкремниевой керамики для удовлетворения высоких требований таких высокотехнологичных производственных областей, как производство полупроводников, светодиодов и фотоэлектрических устройств.
Подробная схема
