Присоска для лотков из карбида кремния, трубка из карбида кремния для высокотемпературного спекания, индивидуальная обработка.
Основные характеристики:
1. Керамический лоток из карбида кремния
- Высокая твердость и износостойкость: твердость близка к твердости алмаза, что позволяет выдерживать механический износ в процессе обработки кремниевых пластин в течение длительного времени.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения: быстрое рассеивание тепла и стабильность размеров, предотвращение деформации, вызванной термическим напряжением.
- Высокая плоскостность и чистота поверхности: плоскостность поверхности достигает микронного уровня, обеспечивая полный контакт между пластиной и диском, что снижает загрязнение и повреждения.
Химическая стабильность: Высокая коррозионная стойкость, подходит для влажной очистки и травления в полупроводниковом производстве.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Высокая термостойкость: может длительное время работать в условиях высоких температур выше 1600 °C, подходит для высокотемпературных полупроводниковых процессов.
Превосходная коррозионная стойкость: устойчивость к кислотам, щелочам и различным химическим растворителям, подходит для работы в агрессивных технологических средах.
- Высокая твердость и износостойкость: устойчивость к эрозии частицами и механическому износу, продление срока службы.
- Высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения: быстрая передача тепла и стабильность размеров, снижение деформации или растрескивания, вызванных термическим напряжением.
Параметры продукта:
Параметры керамического лотка из карбида кремния:
| (Свойство материала) | (Единица) | (ssic) | |
| (Содержание SiC) | (Вт)% | >99 | |
| (Средний размер зерна) | микрон | 4-10 | |
| (Плотность) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Кажущаяся пористость) | Vo1% | <0,5 | |
| (Твердость по Виккерсу) | HV 0.5 | ГПа | 28 |
| *() Прочность на изгиб* (три балла) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Прочность на сжатие) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Модуль упругости) | 20ºC | ГПа | 420 |
| (Твердость при разрушении) | МПа/м²% | 3.5 | |
| (Теплопроводность) | 20°ºC | Вт/(м*К) | 160 |
| (Удельное сопротивление) | 20°ºC | Ом·см | 106-108 |
(Коэффициент теплового расширения) | а(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Максимальная рабочая температура) | ºС | 1700 | |
Параметры керамической трубки из карбида кремния:
| Предметы | Индекс |
| α-SIC | 99% мин. |
| Кажущаяся пористость | 16% максимум |
| Объемная плотность | 2,7 г/см³ мин |
| Прочность на изгиб при высокой температуре | 100 МПа мин. |
| Коэффициент теплового расширения | K-1 4,7x10 -6 |
| Коэффициент теплопроводности (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Максимальная рабочая температура | 1650ºC |
Основные области применения:
1. Керамическая пластина из карбида кремния
- Резка и полировка пластин: служит опорной платформой, обеспечивающей высокую точность и стабильность во время резки и полировки.
- Процесс литографии: пластина фиксируется в литографическом аппарате для обеспечения высокоточной позиционирования во время экспозиции.
- Химико-механическая полировка (ХМП): служит опорной платформой для полировальных подушек, обеспечивая равномерное распределение давления и тепла.
2. Керамическая трубка из карбида кремния
- Труба для высокотемпературной печи: используется в высокотемпературном оборудовании, таком как диффузионные печи и печи окисления, для транспортировки пластин для обработки при высоких температурах.
- Процесс CVD/PVD: Используется в качестве подшипниковой трубки в реакционной камере, устойчивой к высоким температурам и коррозионным газам.
- Комплектующие для полупроводникового оборудования: для теплообменников, газопроводов и т. д., для повышения эффективности теплового регулирования оборудования.
Компания XKH предлагает полный спектр услуг по изготовлению на заказ керамических лотков, присосок и трубок из карбида кремния. Керамические лотки и присоски из карбида кремния могут быть изготовлены по индивидуальным требованиям заказчика в соответствии с различными размерами, формами и шероховатостью поверхности, а также могут быть обработаны специальным покрытием для повышения износостойкости и коррозионной стойкости. Для керамических трубок из карбида кремния XKH может предложить различные варианты внутреннего и внешнего диаметра, длины и сложной конструкции (например, фасонные или пористые трубки), а также полировку, антиоксидантное покрытие и другие виды обработки поверхности. XKH гарантирует, что клиенты смогут в полной мере использовать преимущества керамических изделий из карбида кремния для удовлетворения высоких требований высокотехнологичных производственных областей, таких как полупроводники, светодиоды и фотовольтаика.
Подробная схема
