Керамический лоток из карбида кремния – прочные, высокопроизводительные лотки для термических и химических применений

Краткое описание:

 


Функции

Подробная схема

5
4

Введение в продукт

Керамические лотки из карбида кремния (SiC) — это высокопроизводительные компоненты, широко используемые в высокотемпературных, высоконагруженных и химически агрессивных промышленных средах. Изготовленные из современных карбидкремниевых керамических материалов, эти лотки обладают исключительной механической прочностью, превосходной теплопроводностью и превосходной стойкостью к тепловым ударам, окислению и коррозии. Благодаря своей прочности они отлично подходят для различных промышленных применений, включая производство полупроводников, фотоэлектрическую обработку, спекание деталей из порошковой металлургии и многое другое.

Поддоны из карбида кремния служат важными носителями или опорами в процессах термической обработки, где критически важны размерная точность, структурная целостность и химическая стойкость. По сравнению с традиционными керамическими материалами, такими как оксид алюминия или муллит, поддоны из карбида кремния обладают значительно более высокой производительностью, особенно в условиях многократного термоциклирования и агрессивных сред.

Процесс производства и состав материала

Производство поддонов из керамики SiC требует точного машиностроения и передовых технологий спекания для обеспечения высокой плотности, однородной микроструктуры и стабильных характеристик. Основные этапы включают:

  1. Выбор сырья
    Выбирается порошок карбида кремния высокой чистоты (≥99%), часто со специальным контролем размера частиц и минимальным содержанием примесей, чтобы гарантировать высокие механические и термические свойства.

  2. Методы формования
    В зависимости от характеристик лотка применяются различные технологии формования:

    • Холодное изостатическое прессование (ХИП) для получения высокоплотных, однородных прессовок

    • Экструзия или шликерное литье для сложных форм

    • Литье под давлением для точной и детальной геометрии

  3. Методы спекания
    Заготовка спекается при сверхвысоких температурах, обычно около 2000 °C, в инертной атмосфере или вакууме. Распространенные методы спекания включают:

    • Реакционно-связанный SiC (RB-SiC)

    • Спеченный без давления SiC (SSiC)

    • Рекристаллизованный SiC (RBSiC)
      Каждый метод приводит к получению несколько разных свойств материала, таких как пористость, прочность и теплопроводность.

  4. Прецизионная обработка
    После спекания поддоны подвергаются механической обработке для достижения жёстких допусков размеров, гладкой и плоскостной поверхности. По желанию заказчика могут быть применены такие виды обработки поверхности, как притирка, шлифовка и полировка.

Типичные применения

Керамические поддоны из карбида кремния используются в самых разных отраслях промышленности благодаря своей универсальности и прочности. Наиболее распространённые области применения:

  • Полупроводниковая промышленность
    Поддоны из карбида кремния используются в качестве носителей в процессах отжига, диффузии, окисления, эпитаксии и имплантации пластин. Их стабильность обеспечивает равномерное распределение температуры и минимальное загрязнение.

  • Фотоэлектрическая промышленность
    При производстве солнечных элементов поддоны из карбида кремния поддерживают кремниевые слитки или пластины во время высокотемпературной диффузии и спекания.

  • Порошковая металлургия и керамика
    Используется для поддержки деталей при спекании металлических порошков, керамики и композиционных материалов.

  • Стекло и дисплейные панели
    Применяются в качестве поддонов или платформ для обжига в печи при изготовлении специальных стекол, подложек ЖК-дисплеев или других оптических компонентов.

  • Химическая обработка и термические печи
    Выполняют функции коррозионно-стойких носителей в химических реакторах или термоподдерживающих поддонов в вакуумных и контролируемых газовых печах.

Керамический лоток SIC 20

Основные эксплуатационные характеристики

  • Исключительная термическая стабильность
    Выдерживает постоянное использование при температурах до 1600–2000 °C без деформации и ухудшения характеристик.

  • Высокая механическая прочность
    Обладает высокой прочностью на изгиб (обычно >350 МПа), что гарантирует долговечность даже в условиях высоких нагрузок.

  • Стойкость к тепловому удару
    Отличные эксплуатационные характеристики в условиях резких колебаний температуры, что сводит к минимуму риск растрескивания.

  • Стойкость к коррозии и окислению
    Химически стабилен в большинстве кислот, щелочей и окисляющих/восстановительных газов, пригоден для агрессивных химических процессов.

  • Точность размеров и плоскостность
    Изготовлены с высокой точностью, что обеспечивает равномерную обработку и совместимость с автоматизированными системами.

  • Длительный срок службы и экономичность
    Более низкие показатели замены и уменьшенные затраты на техническое обслуживание делают это решение экономически эффективным с течением времени.

Технические характеристики

Параметр Типичное значение
Материал Реакционно-связанный SiC / Спеченный SiC
Максимальная рабочая температура 1600–2000°С
Прочность на изгиб ≥350 МПа
Плотность ≥3,0 г/см³
Теплопроводность ~120–180 Вт/м·К
Плоскостность поверхности ≤ 0,1 мм
Толщина 5–20 мм (настраивается)
Размеры Стандарт: 200×200 мм, 300×300 мм и т.д.
Отделка поверхности Обработано, полировано (по запросу)

 

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

В1: Можно ли использовать поддоны из карбида кремния в вакуумных печах?
A:Да, лотки из карбида кремния идеально подходят для вакуумных сред благодаря низкому газовыделению, химической стабильности и стойкости к высоким температурам.

В2: Доступны ли индивидуальные формы или слоты?
A:Конечно. Мы предлагаем услуги по изготовлению поддонов на заказ, включая изменение размера, формы, особенностей поверхности (например, пазов, отверстий) и полировки поверхности в соответствии с уникальными требованиями заказчика.

В3: Как SiC соотносится с поддонами из оксида алюминия или кварца?
A:Карбид кремния (SiC) обладает более высокой прочностью, лучшей теплопроводностью и превосходной стойкостью к тепловому удару и химической коррозии. Хотя оксид алюминия более экономичен, карбид кремния (SiC) лучше работает в сложных условиях.

В4: Существует ли стандартная толщина для этих лотков?
A:Толщина обычно составляет 5–20 мм, но мы можем скорректировать ее в зависимости от ваших условий применения и требований к несущей способности.

В5: Каковы типичные сроки изготовления индивидуальных поддонов из карбида кремния?
A:Сроки выполнения заказа зависят от сложности и количества, но обычно составляют от 2 до 4 недель для индивидуальных заказов.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.

567

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам