Керамический лоток из карбида кремния – прочные, высокопроизводительные лотки для термических и химических применений
Подробная схема


Введение в продукт

Керамические лотки из карбида кремния (SiC) — это высокопроизводительные компоненты, широко используемые в высокотемпературных, высоконагруженных и химически агрессивных промышленных средах. Изготовленные из современных карбидкремниевых керамических материалов, эти лотки обладают исключительной механической прочностью, превосходной теплопроводностью и превосходной стойкостью к тепловым ударам, окислению и коррозии. Благодаря своей прочности они отлично подходят для различных промышленных применений, включая производство полупроводников, фотоэлектрическую обработку, спекание деталей из порошковой металлургии и многое другое.
Поддоны из карбида кремния служат важными носителями или опорами в процессах термической обработки, где критически важны размерная точность, структурная целостность и химическая стойкость. По сравнению с традиционными керамическими материалами, такими как оксид алюминия или муллит, поддоны из карбида кремния обладают значительно более высокой производительностью, особенно в условиях многократного термоциклирования и агрессивных сред.
Процесс производства и состав материала
Производство поддонов из керамики SiC требует точного машиностроения и передовых технологий спекания для обеспечения высокой плотности, однородной микроструктуры и стабильных характеристик. Основные этапы включают:
-
Выбор сырья
Выбирается порошок карбида кремния высокой чистоты (≥99%), часто со специальным контролем размера частиц и минимальным содержанием примесей, чтобы гарантировать высокие механические и термические свойства. -
Методы формования
В зависимости от характеристик лотка применяются различные технологии формования:-
Холодное изостатическое прессование (ХИП) для получения высокоплотных, однородных прессовок
-
Экструзия или шликерное литье для сложных форм
-
Литье под давлением для точной и детальной геометрии
-
-
Методы спекания
Заготовка спекается при сверхвысоких температурах, обычно около 2000 °C, в инертной атмосфере или вакууме. Распространенные методы спекания включают:-
Реакционно-связанный SiC (RB-SiC)
-
Спеченный без давления SiC (SSiC)
-
Рекристаллизованный SiC (RBSiC)
Каждый метод приводит к получению несколько разных свойств материала, таких как пористость, прочность и теплопроводность.
-
-
Прецизионная обработка
После спекания поддоны подвергаются механической обработке для достижения жёстких допусков размеров, гладкой и плоскостной поверхности. По желанию заказчика могут быть применены такие виды обработки поверхности, как притирка, шлифовка и полировка.
Типичные применения
Керамические поддоны из карбида кремния используются в самых разных отраслях промышленности благодаря своей универсальности и прочности. Наиболее распространённые области применения:
-
Полупроводниковая промышленность
Поддоны из карбида кремния используются в качестве носителей в процессах отжига, диффузии, окисления, эпитаксии и имплантации пластин. Их стабильность обеспечивает равномерное распределение температуры и минимальное загрязнение. -
Фотоэлектрическая промышленность
При производстве солнечных элементов поддоны из карбида кремния поддерживают кремниевые слитки или пластины во время высокотемпературной диффузии и спекания. -
Порошковая металлургия и керамика
Используется для поддержки деталей при спекании металлических порошков, керамики и композиционных материалов. -
Стекло и дисплейные панели
Применяются в качестве поддонов или платформ для обжига в печи при изготовлении специальных стекол, подложек ЖК-дисплеев или других оптических компонентов. -
Химическая обработка и термические печи
Выполняют функции коррозионно-стойких носителей в химических реакторах или термоподдерживающих поддонов в вакуумных и контролируемых газовых печах.

Основные эксплуатационные характеристики
-
✅Исключительная термическая стабильность
Выдерживает постоянное использование при температурах до 1600–2000 °C без деформации и ухудшения характеристик. -
✅Высокая механическая прочность
Обладает высокой прочностью на изгиб (обычно >350 МПа), что гарантирует долговечность даже в условиях высоких нагрузок. -
✅Стойкость к тепловому удару
Отличные эксплуатационные характеристики в условиях резких колебаний температуры, что сводит к минимуму риск растрескивания. -
✅Стойкость к коррозии и окислению
Химически стабилен в большинстве кислот, щелочей и окисляющих/восстановительных газов, пригоден для агрессивных химических процессов. -
✅Точность размеров и плоскостность
Изготовлены с высокой точностью, что обеспечивает равномерную обработку и совместимость с автоматизированными системами. -
✅Длительный срок службы и экономичность
Более низкие показатели замены и уменьшенные затраты на техническое обслуживание делают это решение экономически эффективным с течением времени.
Технические характеристики
Параметр | Типичное значение |
---|---|
Материал | Реакционно-связанный SiC / Спеченный SiC |
Максимальная рабочая температура | 1600–2000°С |
Прочность на изгиб | ≥350 МПа |
Плотность | ≥3,0 г/см³ |
Теплопроводность | ~120–180 Вт/м·К |
Плоскостность поверхности | ≤ 0,1 мм |
Толщина | 5–20 мм (настраивается) |
Размеры | Стандарт: 200×200 мм, 300×300 мм и т.д. |
Отделка поверхности | Обработано, полировано (по запросу) |
Часто задаваемые вопросы (FAQ)
В1: Можно ли использовать поддоны из карбида кремния в вакуумных печах?
A:Да, лотки из карбида кремния идеально подходят для вакуумных сред благодаря низкому газовыделению, химической стабильности и стойкости к высоким температурам.
В2: Доступны ли индивидуальные формы или слоты?
A:Конечно. Мы предлагаем услуги по изготовлению поддонов на заказ, включая изменение размера, формы, особенностей поверхности (например, пазов, отверстий) и полировки поверхности в соответствии с уникальными требованиями заказчика.
В3: Как SiC соотносится с поддонами из оксида алюминия или кварца?
A:Карбид кремния (SiC) обладает более высокой прочностью, лучшей теплопроводностью и превосходной стойкостью к тепловому удару и химической коррозии. Хотя оксид алюминия более экономичен, карбид кремния (SiC) лучше работает в сложных условиях.
В4: Существует ли стандартная толщина для этих лотков?
A:Толщина обычно составляет 5–20 мм, но мы можем скорректировать ее в зависимости от ваших условий применения и требований к несущей способности.
В5: Каковы типичные сроки изготовления индивидуальных поддонов из карбида кремния?
A:Сроки выполнения заказа зависят от сложности и количества, но обычно составляют от 2 до 4 недель для индивидуальных заказов.
О нас
Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.
