Керамическая вилка из карбида кремния

Изображение вилки/кисти из карбида кремния

Краткое описание:

TheКерамическая вилка из карбида кремния— это высокоточный и прочный компонент, разработанный для применения в сложных условиях, таких как производство полупроводников, аэрокосмические системы и передовая робототехника. Благодаря своей двойной роли —вилкообразная опорная конструкцияи какроботизированный ручной концевой эффектор— этот компонент обеспечивает непревзойденную универсальность при обращении, поддержке или перемещении хрупких или ценных деталей.

Изготовленная с использованием передовых технологий обработки керамики, вилка/рука из SiC обеспечивает уникальное сочетаниемеханическая жесткость, термическая стабильность, ихимическая стойкость, что делает его идеальной заменой обычных металлических или полимерных рычагов в системах, требующих длительной работы в условиях нагрузки и экстремальных условиях.

Написать нам письмо

Функции

Подробная схема

Представлена керамическая вилка-рука из карбида кремния

TheКерамическая вилка из карбида кремния— это усовершенствованный компонент для обработки, разработанный для высокоточных систем автоматизации, в частности, для полупроводниковой и оптической промышленности. Этот компонент имеет характерную U-образную конструкцию, оптимизированную для обработки пластин, обеспечивая механическую прочность и размерную точность в экстремальных условиях эксплуатации. Изготовленный из высокочистой керамики на основе карбида кремния,вилка/рукаобеспечивает исключительную жесткость, термостойкость и химическую стойкость.

По мере развития полупроводниковых приборов в сторону более точных геометрических размеров и более жестких допусков потребность в компонентах, не подверженных загрязнению и обладающих высокой термостойкостью, становится критически важной.Керамическая вилка из карбида кремниярешает эту задачу, обеспечивая низкий уровень образования частиц, сверхгладкие поверхности и прочную структурную целостность. Этот компонент разработан для обеспечения надежности и долговечности, будь то транспортировка пластин, позиционирование подложек или роботизированные инструментальные головки.

Основные причины выбрать этот вариантКерамическая вилка из карбида кремниявключать:

Минимальное тепловое расширение для точности размеров
Высокая твердость для длительного срока службы
Устойчивость к кислотам, щелочам и химически активным газам
Совместимость с чистыми помещениями класса ISO 1

Принцип изготовления керамической вилки-руки из карбида кремния

TheКерамическая вилка из карбида кремнияпроизводится с помощью строго контролируемого технологического процесса обработки керамики, призванного обеспечить превосходные свойства материала и постоянство размеров.

1. Приготовление порошка

Процесс начинается с отбора ультратонких порошков карбида кремния. Эти порошки смешиваются со связующими и спекающими добавками для облегчения прессования и уплотнения. Для этоговилка/рукаДля обеспечения твердости и прочности используются порошки β-SiC или α-SiC.

2. Формование и предварительная обработка

В зависимости от сложностивилка/рукаКонструкция детали формируется методом изостатического прессования, литья под давлением или шликерного литья. Это позволяет создавать сложные геометрические формы и тонкостенные конструкции, что критически важно для лёгкости конструкции.Керамическая вилка из карбида кремния.

3. Высокотемпературное спекание

Спекание проводится при температуре выше 2000°C в вакууме или атмосфере аргона. На этом этапе сырец превращается в полностью уплотнённый керамический компонент. Спечённыйвилка/рукадостигает плотности, близкой к теоретической, обеспечивая выдающиеся механические и термические свойства.

4. Прецизионная обработка

После спекания,Керамическая вилка из карбида кремнияПодвергается алмазной шлифовке и обработке на станке с ЧПУ. Это обеспечивает плоскостность с точностью ±0,01 мм и позволяет предусмотреть наличие крепёжных отверстий и фиксаторов, необходимых для установки в автоматизированных системах.

5. Отделка поверхности

Полировка снижает шероховатость поверхности (Ra < 0,02 мкм), что необходимо для предотвращения образования частиц. Для повышения плазмостойкости или добавления дополнительных функций, например, антистатических свойств, могут быть нанесены дополнительные покрытия CVD.

На протяжении всего этого процесса применяются протоколы контроля качества, чтобы гарантироватьКерамическая вилка из карбида кремниянадежно работает в самых чувствительных приложениях.

Параметры керамической вилки-руки из карбида кремния

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Сила сгибания	МПа (RT 4-точечная)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4 точки, 1300℃)	430
Тепловое расширение (КТР)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Применение керамических вилочных протезов из карбида кремния

TheКерамическая вилка из карбида кремнияШироко используется в отраслях, где важны высокая чистота, стабильность и механическая точность. К ним относятся:

1. Производство полупроводников

В производстве полупроводников,Керамическая вилка из карбида кремнияИспользуется для транспортировки кремниевых пластин в технологических устройствах, таких как камеры травления, системы осаждения и контрольно-измерительное оборудование. Благодаря термостойкости и точности размеров он идеально подходит для минимизации несоосности пластин и загрязнения.

2. Производство дисплейных панелей

В производстве OLED и LCD дисплееввилка/рукаПрименяется в системах захвата и перемещения, где он обрабатывает хрупкие стеклянные подложки. Его малая масса и высокая жёсткость обеспечивают быстрое и стабильное перемещение без вибрации и прогиба.

3. Оптические и фотонные системы

Для выравнивания и позиционирования линз, зеркал или фотонных чиповКерамическая вилка из карбида кремнияобеспечивает отсутствие вибраций, что критически важно для лазерной обработки и прецизионных метрологических применений.

4. Аэрокосмические и вакуумные системы

В аэрокосмических оптических системах и вакуумных приборах немагнитная, устойчивая к коррозии структура этого компонента обеспечивает долговременную стабильность.вилка/рукатакже может работать в сверхвысоком вакууме (СВВ) без выделения газа.

Во всех этих областях,Керамическая вилка из карбида кремнияпревосходит традиционные металлические или полимерные аналоги по надежности, чистоте и сроку службы.

ru_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Часто задаваемые вопросы о вилочных керамических руках из карбида кремния

В1: Какие размеры пластин поддерживает керамическая вилочная рука/рука из карбида кремния?

Theвилка/рукаВозможность настройки для поддержки пластин диаметром 150, 200 и 300 мм. Размах вилки, ширина рычага и расположение отверстий могут быть адаптированы к вашей конкретной платформе автоматизации.

В2: Совместима ли керамическая вилочная рука из карбида кремния с вакуумными системами?

Да.вилка/рукаПодходит как для систем низкого, так и сверхвысокого вакуума. Обладает низкой степенью газовыделения и не выделяет твердых частиц, что делает его идеальным для чистых помещений и вакуумных сред.

В3: Могу ли я добавить покрытия или модификации поверхности на руку/рукоять вилки?

Конечно.Керамическая вилка из карбида кремнияможет быть покрыт слоями CVD-SiC, углерода или оксида для повышения стойкости к плазме, антистатических свойств или твердости поверхности.

В4: Как проверяется качество вилки/руки?

КаждыйКерамическая вилка из карбида кремнияПроводится размерный контроль с использованием КИМ и лазерных метрологических приборов. Качество поверхности оценивается с помощью сканирующей электронной микроскопии и бесконтактной профилометрии на соответствие стандартам ISO и SEMI.

В5: Каковы сроки выполнения индивидуальных заказов на вилочные ручки/рукоятки?

Срок выполнения заказа обычно составляет от 3 до 5 недель в зависимости от сложности и количества. Для срочных заказов доступно быстрое прототипирование.

Эти часто задаваемые вопросы направлены на то, чтобы помочь инженерам и группам закупок понять возможности и варианты, доступные при выбореКерамическая вилка из карбида кремния.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.