Консольная лопатка из карбида кремния (SiC Cantilever Paddle)

Изображение консольной опоры из карбида кремния (SiC Cantilever Paddle).

Краткое описание:

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Обзор продукта

Лопатка консольного типа из карбида кремния, изготовленная из высокоэффективного реакционно-связанного карбида кремния (RBSiC), является важнейшим компонентом, используемым в системах загрузки и обработки кремниевых пластин для полупроводниковых и фотоэлектрических применений.
По сравнению с традиционными кварцевыми или графитовыми лопастями, консольные лопасти из карбида кремния обладают превосходной механической прочностью, высокой твердостью, низким коэффициентом теплового расширения и выдающейся коррозионной стойкостью. Они сохраняют отличную структурную стабильность при высоких температурах, отвечая строгим требованиям к большим размерам пластин, длительному сроку службы и сверхнизкому уровню загрязнения.

В связи с непрерывным развитием полупроводниковых технологий в направлении увеличения диаметра пластин, повышения производительности и создания более чистых условий обработки, консольные элементы из карбида кремния постепенно вытеснили традиционные материалы, став предпочтительным выбором для диффузионных печей, LPCVD и аналогичного высокотемпературного оборудования.

Характеристики продукта

Превосходная высокотемпературная стабильность
- Надежно работает при температуре 1000–1300℃ без деформации.
- Максимальная рабочая температура до 1380℃.
Высокая несущая способность
- Прочность на изгиб до 250–280 МПа, что значительно выше, чем у кварцевых лопаток.
- Способен обрабатывать кремниевые пластины большого диаметра (300 мм и более).
Увеличенный срок службы и низкие затраты на техническое обслуживание
- Низкий коэффициент теплового расширения (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), хорошо сочетающийся с материалами для нанесения покрытий методом LPCVD.
- Уменьшает образование трещин и отслоение, вызванные механическим напряжением, значительно продлевая циклы чистки и ухода.
Коррозионная стойкость и чистота
- Превосходная устойчивость к кислотам и щелочам.
- Плотная микроструктура с открытой пористостью <0,1%, минимизирующая образование частиц и высвобождение примесей.
Конструкция, совместимая с автоматизацией
- Стабильная геометрия поперечного сечения с высокой точностью размеров.
- Бесшовно интегрируется с роботизированными системами загрузки и выгрузки пластин, обеспечивая полностью автоматизированное производство.

Физические и химические свойства

Элемент	Единица	Данные
Максимальная рабочая температура	℃	1380
Плотность	г/см³	3.04 – 3.08
Открытая пористость	%	< 0,1
Прочность на изгиб	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Модуль упругости	ГПа	330 (20℃), 300 (1200℃)
Теплопроводность	Вт/м·К	45 (1200℃)
Коэффициент теплового расширения	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Твердость по Виккерсу	HV2	≥ 2100
Устойчивость к кислотам/щелочам	-	Отличный

Стандартная длина:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Возможны индивидуальные размеры по запросу.

Приложения

Полупроводниковая промышленность
- LPCVD (низкотемпературное химическое осаждение из газовой фазы)
- Диффузионные процессы (фосфор, бор и др.)
- Термическое окисление
Фотоэлектрическая промышленность
- Диффузия и нанесение покрытий на поликристаллические кремниевые и монокристаллические пластины
- Высокотемпературный отжиг и пассивация
Другие области
- Высокотемпературные коррозионные среды
- Системы точной обработки кремниевых пластин, требующие длительного срока службы и низкого уровня загрязнения.

Преимущества для клиентов

Снижение эксплуатационных расходов– Более длительный срок службы по сравнению с кварцевыми лопастями, что минимизирует время простоя и частоту замены.
Более высокая урожайность– Чрезвычайно низкий уровень загрязнения обеспечивает чистоту поверхности пластины и снижает процент дефектов.
Перспективный– Совместимость с большими размерами пластин и полупроводниковыми технологиями следующего поколения.
Повышение производительности– Полная совместимость с роботизированными системами автоматизации, поддержка крупносерийного производства.

Часто задаваемые вопросы – Консольная лопатка из карбида кремния

В1: Что такое консольная лопатка из карбида кремния?
A: Это компонент для поддержки и обработки кремниевых пластин, изготовленный из реакционно-связанного карбида кремния (RBSiC). Он широко используется в диффузионных печах, LPCVD и других высокотемпературных процессах производства полупроводников и фотоэлектрических элементов.

В2: Почему стоит выбрать SiC вместо кварцевых лопаток?
А: По сравнению с кварцевыми лопатками, лопатки из карбида кремния обладают следующими преимуществами:

Повышенная механическая прочность и несущая способность.
Повышенная термическая стабильность при температурах до 1380℃.
Значительно увеличенный срок службы и сокращенное количество циклов технического обслуживания.
Снижение образования частиц и риска загрязнения.
Совместимость с пластинами больших размеров (300 мм и более).

В3: Какие размеры кремниевых пластин может поддерживать консольная платформа из карбида кремния?
A: Стандартные лопатки доступны для печных систем диаметром 2378 мм, 2550 мм и 2660 мм. Возможны индивидуальные размеры для поддержки пластин диаметром до 300 мм и более.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.