Подложка из карбида кремния, 3 дюйма, толщина 350 мкм, тип HPSI Prime Grade Стандартный класс
Характеристики
Параметр | Уровень производства | Исследовательский уровень | Фиктивная оценка | Единица |
Оценка | Уровень производства | Исследовательский уровень | Фиктивная оценка | |
Диаметр | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Толщина | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | мкм |
Ориентация пластины | По оси: <0001> ± 0,5° | По оси: <0001> ± 2,0° | По оси: <0001> ± 2,0° | степень |
Плотность микротрубок (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | см−2^-2−2 |
Электрическое сопротивление | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ом·см |
легирующая примочка | Нелегированный | Нелегированный | Нелегированный | |
Первичная плоская ориентация | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | степень |
Основная плоская длина | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Вторичная плоская длина | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Вторичная плоская ориентация | 90° по часовой стрелке от основной плоскости ± 5,0° | 90° по часовой стрелке от основной плоскости ± 5,0° | 90° по часовой стрелке от основной плоскости ± 5,0° | степень |
Исключение краев | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Лук/Деформация | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | мкм |
Шероховатость поверхности | Лицо Si: CMP, Лицо C: Полированное | Лицо Si: CMP, Лицо C: Полированное | Лицо Si: CMP, Лицо C: Полированное | |
Трещины (Свет высокой интенсивности) | Никто | Никто | Никто | |
Шестигранные пластины (свет высокой интенсивности) | Никто | Никто | Совокупная площадь 10% | % |
Политипные области (освещение высокой интенсивности) | Совокупная площадь 5% | Совокупная площадь 20% | Совокупная площадь 30% | % |
Царапины (свет высокой интенсивности) | ≤ 5 царапин, совокупная длина ≤ 150 | ≤ 10 царапин, совокупная длина ≤ 200 | ≤ 10 царапин, совокупная длина ≤ 200 | mm |
Сколы кромок | Нет Ширина/глубина ≥ 0,5 мм | 2 допустимых ширины/глубины ≤ 1 мм | 5 допускается ширина/глубина ≤ 5 мм | mm |
Загрязнение поверхности | Никто | Никто | Никто |
Приложения
1. Мощная электроника
Превосходная теплопроводность и широкая запрещенная зона пластин SiC делают их идеальными для мощных высокочастотных устройств:
●MOSFET и IGBT для преобразования энергии.
●Усовершенствованные системы питания электромобилей, включая инверторы и зарядные устройства.
●Интеллектуальная сетевая инфраструктура и системы возобновляемой энергетики.
2. Радиочастотные и микроволновые системы
Подложки SiC позволяют использовать высокочастотные радиочастотные и микроволновые приложения с минимальными потерями сигнала:
●Телекоммуникации и спутниковые системы.
●Аэрокосмические радиолокационные системы.
●Расширенные сетевые компоненты 5G.
3. Оптоэлектроника и датчики.
Уникальные свойства SiC используются в различных оптоэлектронных приложениях:
●УФ-детекторы для мониторинга окружающей среды и промышленного зондирования.
●Светодиодные и лазерные подложки для полупроводникового освещения и прецизионных приборов.
●Высокотемпературные датчики для аэрокосмической и автомобильной промышленности.
4. Исследования и разработки
Разнообразие классов (производственный, исследовательский, макетный) позволяет проводить передовые эксперименты и создавать прототипы устройств в научных кругах и промышленности.
Преимущества
●Надежность:Превосходное удельное сопротивление и стабильность во всех классах.
●Кастомизация:Индивидуальная ориентация и толщина для удовлетворения различных потребностей.
●Высокая чистота:Нелегированный состав обеспечивает минимальные изменения, связанные с примесями.
●Масштабируемость:Отвечает требованиям как массового производства, так и экспериментальных исследований.
3-дюймовые пластины SiC высокой чистоты — это ваш путь к высокопроизводительным устройствам и инновационным технологическим достижениям. Для запросов и получения подробных спецификаций свяжитесь с нами сегодня.
Краткое содержание
3-дюймовые пластины карбида кремния высокой чистоты (SiC), доступные в производственном, исследовательском и макетном классах, представляют собой подложки премиум-класса, предназначенные для мощной электроники, радиочастотных и микроволновых систем, оптоэлектроники, а также для передовых исследований и разработок. Эти пластины обладают нелегированными полуизолирующими свойствами с отличным удельным сопротивлением (≥1E10 Ом·см для промышленного класса), низкой плотностью микротрубок (≤1 см-2^-2-2) и исключительным качеством поверхности. Они оптимизированы для высокопроизводительных приложений, включая преобразование энергии, телекоммуникации, детектирование УФ-излучения и светодиодные технологии. Благодаря настраиваемой ориентации, превосходной теплопроводности и прочным механическим свойствам эти пластины SiC позволяют эффективно и надежно изготавливать устройства и внедрять новаторские инновации в различных отраслях.