Керамические подложки из карбида кремния (SiC), графитовые пластины с покрытием из SiC, полученным методом химического осаждения из газовой фазы (CVD), для оборудования.

Керамика на основе карбида кремния используется не только на стадии осаждения тонких пленок, таких как эпитаксия или MOCVD, или в обработке пластин, в основе которой лежат подложки для пластин, используемых в MOCVD, которые сначала подвергаются воздействию среды осаждения, и поэтому обладают высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью. Подложки с покрытием из карбида кремния также обладают высокой теплопроводностью и превосходными свойствами распределения тепла.

Подложки из карбида кремния, полученного методом химического осаждения из газовой фазы (CVD SiC), для высокотемпературной обработки методом металлоорганического химического осаждения из газовой фазы (MOCVD).

Подложки из чистого CVD SiC значительно превосходят традиционные подложки, используемые в этом процессе, которые представляют собой графитовые подложки, покрытые слоем CVD SiC. Эти подложки на основе графита с покрытием не выдерживают высоких температур (от 1100 до 1200 градусов Цельсия), необходимых для осаждения GaN в современных светодиодах высокой яркости синего и белого цвета. Высокие температуры приводят к образованию крошечных микропор, через которые химические вещества разрушают графит под покрытием. Затем частицы графита отслаиваются и загрязняют GaN, что приводит к необходимости замены подложки с покрытием.

CVD SiC имеет чистоту 99,999% и более, обладает высокой теплопроводностью и устойчивостью к термическим ударам. Поэтому он может выдерживать высокие температуры и агрессивные условия производства светодиодов высокой яркости. Это твердый монолитный материал, достигающий теоретической плотности, образующий минимальное количество частиц и обладающий очень высокой коррозионной и эрозионной стойкостью. Материал может изменять непрозрачность и проводимость без внесения металлических примесей. Контейнеры для пластин обычно имеют диаметр 17 дюймов и могут вмещать до 40 пластин размером 2-4 дюйма.