Керамический вилочный рычаг / концевой эффектор из карбида кремния – передовая прецизионная обработка для производства полупроводников

Керамический вилочный рычаг / концевой эффектор из карбида кремния – передовая технология прецизионной обработки для производства полупроводников (изображение)

Краткое описание:

Керамический вилочный манипулятор SiC, часто называемый керамическим концевым эффектором, — это высокопроизводительный прецизионный манипулятор, специально разработанный для транспортировки, выравнивания и позиционирования пластин в высокотехнологичных отраслях, в частности, в производстве полупроводников и фотоэлектрических устройств. Изготовленный из высокочистой керамики на основе карбида кремния, этот компонент сочетает в себе исключительную механическую прочность, сверхнизкое тепловое расширение и превосходную стойкость к тепловым ударам и коррозии.

Написать нам письмо

Функции

Подробная схема

Обзор продукта

В отличие от традиционных концевых эффекторов из алюминия, нержавеющей стали и даже кварца, концевые эффекторы из карбида кремния (SiC) обеспечивают непревзойденную производительность в вакуумных камерах, чистых помещениях и жестких условиях обработки, что делает их ключевым компонентом роботов нового поколения для обработки пластин. В связи с растущим спросом на производство без загрязнений и ужесточением допусков при производстве микросхем, использование керамических концевых эффекторов быстро становится отраслевым стандартом.

Принцип производства

ИзготовлениеКерамические концевые эффекторы из SiCВключает в себя ряд высокоточных и высокочистых процессов, обеспечивающих как производительность, так и долговечность. Обычно используются два основных процесса:

Реакционно-связанный карбид кремния (RB-SiC)

В этом процессе заготовка, изготовленная из порошка карбида кремния и связующего, пропитывается расплавленным кремнием при высоких температурах (~1500 °C), который реагирует с остаточным углеродом, образуя плотный и жёсткий композит SiC-Si. Этот метод обеспечивает превосходный контроль размеров и экономически эффективен для крупносерийного производства.

Спеченный без давления карбид кремния (SSiC)

SSiC производится путём спекания ультратонкого высокочистого порошка SiC при экстремально высоких температурах (>2000 °C) без использования добавок или связующей фазы. Это позволяет получить продукт с практически 100% плотностью и самыми высокими механическими и термическими свойствами среди всех SiC-материалов. Он идеально подходит для ультракритических задач обработки пластин.

Постобработка

Прецизионная обработка на станках с ЧПУ: Обеспечивает высокую плоскостность и параллельность.
Отделка поверхности: Алмазная полировка снижает шероховатость поверхности до <0,02 мкм.
Инспекция: Для проверки каждой детали используются оптическая интерферометрия, КИМ и неразрушающий контроль.

Эти шаги гарантируют, чтоКонцевой эффектор SiCобеспечивает постоянную точность размещения пластин, превосходную плоскостность и минимальное образование частиц.

Основные характеристики и преимущества

Особенность	Описание
Сверхвысокая твердость	Твердость по Виккерсу > 2500 HV, устойчивость к износу и скалыванию.
Низкое тепловое расширение	КТР ~4,5×10⁻⁶/K, что обеспечивает размерную стабильность при термоциклировании.
Химическая инертность	Устойчив к воздействию HF, HCl, плазменных газов и других коррозионных агентов.
Отличная стойкость к тепловому удару	Подходит для быстрого нагрева/охлаждения в вакуумных и печных системах.
Высокая жесткость и прочность	Поддерживает длинные консольные вилки без прогиба.
Низкое газовыделение	Идеально подходит для сред сверхвысокого вакуума (СВВ).
Готов к использованию в чистых помещениях класса ISO 1	Работа без образования частиц обеспечивает целостность пластин.

Приложения

Керамический вилочный рычаг/концевой эффектор из карбида кремния широко используется в отраслях, где требуются исключительная точность, чистота и химическая стойкость. Основные области применения:

Производство полупроводников

Загрузка/выгрузка пластин в системах осаждения (CVD, PVD), травления (RIE, DRIE) и очистки.
Роботизированная транспортировка пластин между FOUP, кассетами и технологическими инструментами.
Высокотемпературная обработка во время термической обработки или отжига.

Производство фотоэлектрических элементов

Бережная транспортировка хрупких кремниевых пластин или солнечных подложек на автоматизированных линиях.

Индустрия плоских дисплеев (FPD)

Перемещение больших стеклянных панелей или подложек в производственных помещениях OLED/LCD.

Полупроводниковое соединение / МЭМС

Используется в линиях по производству GaN, SiC и MEMS, где решающее значение имеют контроль загрязнений и точность позиционирования.

Его роль в качестве конечного исполнительного органа особенно важна для обеспечения бездефектной и стабильной обработки во время чувствительных операций.

Возможности настройки

Мы предлагаем обширные возможности настройки для удовлетворения различных требований к оборудованию и процессам:

Дизайн вилки: Двухзубчатые, многопальцевые или двухуровневые макеты.
Совместимость размеров пластин: От 2 до 12 дюймов.
Монтажные интерфейсы: Совместимо с роботизированными руками OEM.
Допуски толщины и поверхности: Доступны плоскостность и закругление кромок на микронном уровне.
Противоскользящие свойства: Дополнительные текстуры поверхности или покрытия для надежного захвата пластины.

Каждыйкерамический концевой эффекторпроектируется совместно с клиентами для обеспечения точной установки с минимальными изменениями в инструментах.

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

В1: Чем SiC лучше кварца для применения в рабочих органах?
А1:Хотя кварц широко используется из-за своей чистоты, он не обладает механической прочностью и склонен к разрушению под действием нагрузки или перепадов температур. Карбид кремния (SiC) обеспечивает превосходную прочность, износостойкость и термостойкость, значительно снижая риск простоев и повреждения пластин.

В2: Совместима ли эта керамическая вилочная рука со всеми роботизированными манипуляторами пластин?
А2:Да, наши керамические концевые эффекторы совместимы с большинством основных систем обработки пластин и могут быть адаптированы к вашим конкретным роботизированным моделям с помощью точных инженерных чертежей.

В3: Может ли он обрабатывать пластины диаметром 300 мм без деформации?
А3:Безусловно. Высокая жёсткость SiC позволяет даже тонким и длинным вилкам надёжно удерживать пластины диаметром 300 мм, не провисая и не деформируясь при движении.

В4: Каков типичный срок службы рабочего органа из керамики SiC?
А4:При правильном использовании рабочий орган из SiC может прослужить в 5–10 раз дольше, чем традиционные кварцевые или алюминиевые модели, благодаря его превосходной устойчивости к термическим и механическим нагрузкам.

В5: Предлагаете ли вы услуги по замене или быстрому прототипированию?
А5:Да, мы поддерживаем быстрое изготовление образцов и предлагаем услуги по замене на основе чертежей САПР или деталей, полученных путем обратного проектирования из имеющегося оборудования.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.