Концевой эффектор из керамики SiC с рукояткой для переноски пластин

Керамический концевой эффектор SiC для переноски пластин Главное изображение

Краткое описание:

Пластины LiNbO₃ представляют собой золотой стандарт в интегрированной фотонике и прецизионной акустике, обеспечивая непревзойденную производительность в современных оптоэлектронных системах. Как ведущий производитель, мы усовершенствовали искусство производства этих инженерных подложек с помощью передовых методов уравновешивания переноса паров, достигнув ведущего в отрасли кристаллического совершенства с плотностью дефектов менее 50/см².

Возможности производства XKH охватывают диаметры от 75 мм до 150 мм, с точным контролем ориентации (X/Y/Z-cut ±0,3°) и специализированными опциями легирования, включая редкоземельные элементы. Уникальное сочетание свойств пластин LiNbO₃, включая их замечательный коэффициент r₃₃ (32±2 пм/В) и широкую прозрачность от ближнего УФ до среднего ИК, делает их незаменимыми для фотонных схем следующего поколения и высокочастотных акустических устройств.

Напишите нам письмо

Функции

Керамический концевой эффектор SiC Аннотация

Керамический концевой эффектор SiC (карбид кремния) является критически важным компонентом в высокоточных системах обработки пластин, используемых в производстве полупроводников и передовых микропроизводственных средах. Разработанный для удовлетворения жестких требований сверхчистых, высокотемпературных и высокостабильных сред, этот специализированный концевой эффектор обеспечивает надежную и свободную от загрязнений транспортировку пластин во время ключевых этапов производства, таких как литография, травление и осаждение.

Используя превосходные свойства материала карбида кремния, такие как высокая теплопроводность, экстремальная твердость, превосходная химическая инертность и минимальное тепловое расширение, конечный эффектор из керамики SiC обеспечивает непревзойденную механическую жесткость и размерную стабильность даже при быстром термоциклировании или в коррозионных технологических камерах. Его низкое образование частиц и характеристики стойкости к плазме делают его особенно подходящим для применения в чистых помещениях и вакуумной обработке, где сохранение целостности поверхности пластины и снижение загрязнения частицами имеют первостепенное значение.

Применение керамического концевого эффектора SiC

1. Обработка полупроводниковых пластин

Керамические концевые эффекторы SiC широко используются в полупроводниковой промышленности для обработки кремниевых пластин во время автоматизированного производства. Эти концевые эффекторы обычно устанавливаются на роботизированных манипуляторах или вакуумных системах переноса и предназначены для размещения пластин различных размеров, таких как 200 мм и 300 мм. Они необходимы в таких процессах, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), травление и диффузия, где распространены высокие температуры, условия вакуума и едкие газы. Исключительная термическая стойкость и химическая стабильность SiC делают его идеальным материалом для выдерживания таких суровых условий без ухудшения характеристик.

2. Совместимость с чистыми помещениями и вакуумом

В условиях чистых помещений и вакуума, где загрязнение частицами должно быть сведено к минимуму, керамика SiC обеспечивает значительные преимущества. Плотная, гладкая поверхность материала препятствует образованию частиц, помогая поддерживать целостность пластины во время транспортировки. Это делает конечные эффекторы SiC особенно подходящими для критических процессов, таких как экстремальная ультрафиолетовая литография (EUV) и атомно-слоевое осаждение (ALD), где чистота имеет решающее значение. Кроме того, низкое газовыделение SiC и высокая плазменная стойкость обеспечивают надежную работу в вакуумных камерах, продлевая срок службы инструментов и снижая частоту технического обслуживания.

3. Высокоточные системы позиционирования

Точность и стабильность жизненно важны в современных системах обработки пластин, особенно в оборудовании для метрологии, проверки и выравнивания. Керамика SiC имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения и высокую жесткость, что позволяет конечному эффектору сохранять свою структурную точность даже при термоциклировании или механической нагрузке. Это гарантирует, что пластины остаются точно выровненными во время транспортировки, сводя к минимуму риск микроцарапин, несоосности или ошибок измерения — факторы, которые становятся все более критичными в узлах процесса менее 5 нм.

Свойства керамического концевого эффектора SiC

1. Высокая механическая прочность и твердость

Керамика SiC обладает исключительной механической прочностью, прочность на изгиб часто превышает 400 МПа, а значения твердости по Виккерсу превышают 2000 HV. Это делает ее очень устойчивой к механическим нагрузкам, ударам и износу даже после длительного использования. Высокая жесткость SiC также сводит к минимуму прогиб во время высокоскоростных переносов пластин, обеспечивая точное и повторяемое позиционирование.

2. Отличная термическая стабильность

Одним из наиболее ценных свойств керамики SiC является ее способность выдерживать чрезвычайно высокие температуры — часто до 1600°C в инертной атмосфере — без потери механической целостности. Их низкий коэффициент теплового расширения (~4,0 x 10⁻⁶ /K) обеспечивает размерную стабильность при термоциклировании, что делает их идеальными для таких применений, как CVD, PVD и высокотемпературный отжиг.

Вопросы и ответы по керамическому наконечнику SiC

В: Какой материал используется в пластинчатом концевом эффекторе?

А：Концевые эффекторы пластин обычно изготавливаются из материалов, которые обеспечивают высокую прочность, термическую стабильность и низкое образование частиц. Среди них керамика из карбида кремния (SiC) является одним из самых передовых и предпочтительных материалов. Керамика SiC чрезвычайно твердая, термически стабильная, химически инертная и устойчивая к износу, что делает ее идеальной для обработки деликатных кремниевых пластин в чистых помещениях и вакуумных средах. По сравнению с кварцем или покрытыми металлами, SiC обеспечивает превосходную размерную стабильность при высоких температурах и не сбрасывает частицы, что помогает предотвратить загрязнение.