Керамический концевой эффектор SiC для переноски пластин

Изображение с концевым эффектором из карбида кремния для перемещения пластин

Краткое описание:

Пластины LiNbO₃ представляют собой золотой стандарт в области интегральной фотоники и прецизионной акустики, обеспечивая непревзойденную производительность в современных оптоэлектронных системах. Будучи ведущим производителем, мы довели до совершенства искусство производства этих специализированных подложек, используя передовые методы выравнивания переноса паров, достигнув передового в отрасли кристаллического совершенства с плотностью дефектов менее 50/см².

Возможности производства XKH охватывают диаметры от 75 до 150 мм, с точным контролем ориентации (срез по осям X/Y/Z ±0,3°) и возможностью специального легирования, включая редкоземельные элементы. Уникальное сочетание свойств пластин LiNbO₃, включая их выдающийся коэффициент r₃₃ (32±2 пм/В) и широкую прозрачность от ближнего УФ до среднего ИК-диапазона, делает их незаменимыми для фотонных схем и высокочастотных акустических устройств нового поколения.

Написать нам письмо

Функции

Керамический концевой эффектор SiC Аннотация

Керамический концевой эффектор из карбида кремния (SiC) является важнейшим компонентом высокоточных систем обработки пластин, используемых в производстве полупроводников и передовых микротехнологиях. Разработанный для удовлетворения строгих требований к сверхчистым, высокотемпературным и высокостабильным средам, этот специализированный концевой эффектор обеспечивает надежную и безопасную транспортировку пластин на ключевых этапах производства, таких как литография, травление и осаждение.

Используя превосходные свойства карбида кремния, такие как высокая теплопроводность, исключительная твёрдость, превосходная химическая инертность и минимальное тепловое расширение, концевой эффектор из SiC-керамики обеспечивает непревзойдённую механическую жёсткость и размерную стабильность даже при быстрых термоциклических нагрузках или в коррозионных технологических камерах. Низкое образование частиц и плазменная стойкость делают его особенно подходящим для применения в чистых помещениях и вакуумной обработке, где сохранение целостности поверхности пластин и снижение загрязнения частицами имеют первостепенное значение.

Применение концевого эффектора из керамики SiC

1. Обработка полупроводниковых пластин

Керамические концевые эффекторы из SiC широко используются в полупроводниковой промышленности для обработки кремниевых пластин в процессе автоматизированного производства. Эти концевые эффекторы обычно устанавливаются на роботизированных манипуляторах или вакуумных системах переноса и предназначены для работы с пластинами различных размеров, например, 200 и 300 мм. Они незаменимы в таких процессах, как химическое осаждение из газовой фазы (CVD), физическое осаждение из газовой фазы (PVD), травление и диффузия, где часто встречаются высокие температуры, вакуум и агрессивные газы. Исключительная термостойкость и химическая стабильность SiC делают его идеальным материалом для работы в таких суровых условиях без ухудшения свойств.

2. Совместимость с чистыми помещениями и вакуумом

В условиях чистых помещений и вакуума, где необходимо минимизировать загрязнение частицами, керамика SiC обладает значительными преимуществами. Плотная и гладкая поверхность материала препятствует образованию частиц, помогая сохранять целостность пластины при транспортировке. Это делает концевые эффекторы SiC особенно подходящими для критически важных процессов, таких как литография в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне (EUV) и атомно-слоевое осаждение (ALD), где чистота имеет решающее значение. Кроме того, низкое газовыделение и высокая стойкость SiC к плазме обеспечивают надежную работу в вакуумных камерах, продлевая срок службы инструментов и сокращая частоту технического обслуживания.

3. Высокоточные системы позиционирования

Точность и стабильность критически важны для современных систем обработки пластин, особенно в метрологическом, контрольном и юстировочном оборудовании. Керамика на основе SiC обладает чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения и высокой жёсткостью, что позволяет конечному эффектору сохранять структурную точность даже при циклических изменениях температуры или механической нагрузке. Это гарантирует точное совмещение пластин во время транспортировки, сводя к минимуму риск микроцарапин, несоосности или ошибок измерения — факторов, которые становятся всё более критичными в узлах технологического процесса с нормами менее 5 нм.

Свойства концевого эффектора из керамики SiC

1. Высокая механическая прочность и твердость

Керамика на основе карбида кремния обладает исключительной механической прочностью: прочность на изгиб часто превышает 400 МПа, а твёрдость по Виккерсу — более 2000 HV. Это обеспечивает ей высокую устойчивость к механическим нагрузкам, ударам и износу даже при длительной эксплуатации. Высокая жёсткость карбида кремния также минимизирует прогиб при высокоскоростной передаче пластин, обеспечивая точное и повторяемое позиционирование.

2. Отличная термическая стабильность

Одним из наиболее ценных свойств керамики на основе SiC является её способность выдерживать экстремально высокие температуры, часто до 1600 °C в инертной атмосфере, без потери механической прочности. Низкий коэффициент термического расширения (~4,0 x 10⁻⁶/K) обеспечивает размерную стабильность при циклических изменениях температуры, что делает её идеальным материалом для таких применений, как химическое и физическое осаждение из газовой фазы (CVD), а также высокотемпературный отжиг.

Вопросы и ответы по керамическому концевому эффектору SiC

В：Какой материал используется в концевом эффекторе пластины?

А：Концевые эффекторы для пластин обычно изготавливаются из материалов, обладающих высокой прочностью, термостойкостью и низким уровнем образования частиц. Среди них керамика на основе карбида кремния (SiC) является одним из самых передовых и предпочтительных материалов. Керамика на основе карбида кремния чрезвычайно твёрдая, термостабильная, химически инертная и износостойкая, что делает её идеальным материалом для работы с чувствительными кремниевыми пластинами в чистых помещениях и вакууме. По сравнению с кварцем или металлами с покрытием, SiC обеспечивает превосходную размерную стабильность при высоких температурах и не образует частиц, что помогает предотвратить загрязнение.