Сапфировые стержни для труб высокого давления по методу KY и EFG
Описание
Сапфировые стержни используются в широком спектре применений. Сапфировый стержень может быть изготовлен с полированной всей поверхностью для оптических и износостойких применений или с тонкошлифованной (неполированной) поверхностью для использования в качестве изолятора.
Технология
При вытягивании сапфировых трубок из расплава с помощью затравки продольный температурный градиент в зоне между затвердевшим фронтом и областью вытягивания, где температура составляет 1850–1900 °С, поддерживают не более 30 °С/см. Выращенную трубку отжигают при температуре 1950–2000 °С, повышая температуру со скоростью 30–40 °С/мин и выдерживая при этой температуре в течение 3–4 часов. После этого трубку охлаждают до комнатной температуры со скоростью 30–40 °С/мин.
Приложения для обработки полупроводников
(HPD CVD, PECVD, сухое травление, влажное травление).
Трубка плазменного аппликатора.
Форсунки инжектора технологического газа.
Детектор конечной точки.
Эксимерные коронирующие трубки.
Трубки для удержания плазмы
Плазменная запайка трубок – это устройство, используемое для инкапсуляции электронных компонентов. Принцип её работы заключается в использовании высокой температуры и давления плазмы для расплавления упаковочного материала и его инкапсуляции на компоненте. Основные компоненты плазменной запайки трубок включают плазменный генератор, камеру для запайки трубок, вакуумную систему, систему управления и т.д.
Защитный чехол для термопары (термопара)
Термопара — это широко используемый элемент измерения температуры в приборах для измерения температуры. Она непосредственно измеряет температуру и преобразует сигнал температуры в сигнал термоэлектродвижущей силы, который через электрический прибор (вторичный прибор) передается в температуру измеряемой среды.
Очистка/подготовка воды
Свойства сапфировой трубки (теоретические)
| Формула соединения | Al2O3 |
| Молекулярный вес | 101.96 |
| Появление | Прозрачные трубки |
| Температура плавления | 2050 °C (3720 °F) |
| Точка кипения | 2977° C (5391° F) |
| Плотность | 4,0 г/см3 |
| Морфология | Треугольный (шестигранник), R3c |
| Растворимость в H2O | 98 x 10-6 г/100 г |
| Показатель преломления | 1.8 |
| Электрическое сопротивление | 17 10x Ом·м |
| Коэффициент Пуассона | 0,28 |
| Удельная теплоемкость | 760 Дж·Кг-1·К-1 (293К) |
| Предел прочности | 1390 МПа (предельное) |
| Теплопроводность | 30 Вт/мК |
| Тепловое расширение | 5,3 мкм/мК |
| Модуль Юнга | 450 ГПа |
| Точная масса | 101,948 г/моль |
| Моноизотопная масса | 101.94782 Да |
Подробная схема
