Метод сапфира KY и EFG Труба сапфировые стержни трубы высокого давления
Описание
Сапфировые стержни используются в широком спектре приложений. Сапфировый стержень может быть изготовлен со всеми полированными поверхностями для оптических и износостойких применений или со всеми поверхностями, отшлифованными (неотполированными), чтобы служить изолятором.
Технологии
В процессе вытягивания сапфировых трубок из расплава с помощью затравки продольный температурный градиент в зоне между затвердевшим фронтом и областью вытягивания, где температура составляет от 1850 до 1900 град. С, поддерживают не более 30 град. С/см. Выращенную таким образом трубку отжигают при температуре от 1950 до 2000 град. С, повышая температуру со скоростью от 30 до 40 град. С/мин и выдерживая трубку при этой температуре в течение 3-4 часов. После этого трубку охлаждают до комнатной температуры со скоростью 30-40 град. С/мин.
Применение в обработке полупроводников
(HPD CVD, PECVD, сухое травление, влажное травление).
Трубка плазменного аппликатора.
Форсунки инжектора технологического газа.
Детектор конечной точки.
Эксимерные коронирующие трубки.
Трубки для удержания плазмы
Машина для плазменной запайки трубок — это устройство, используемое для инкапсуляции электронных компонентов. Ее принцип заключается в использовании высокой температуры и высокого давления плазмы для расплавления упаковочного материала и инкапсуляции его на компоненте. Основные компоненты машины для плазменной запайки трубок включают плазменный генератор, камеру для запайки трубок, вакуумную систему, систему управления и т. д.
Защитный кожух термопары (термопара)
Термопара — это широко используемый элемент измерения температуры в приборах для измерения температуры. Она непосредственно измеряет температуру и преобразует температурный сигнал в сигнал термоэлектродвижущей силы, который через электрический прибор (вторичный прибор) преобразуется в температуру измеряемой среды.
Очистка/очистка воды
Свойства сапфировой трубки (теоретические)
| Формула соединения | Al2O3 |
| Молекулярный вес | 101.96 |
| Появление | Прозрачные трубки |
| Температура плавления | 2050 °C (3720 °F) |
| Точка кипения | 2977° C (5391° F) |
| Плотность | 4,0 г/см3 |
| Морфология | Треугольный (шестигранник), R3c |
| Растворимость в H2O | 98 x 10-6 г/100 г |
| Показатель преломления | 1.8 |
| Электрическое сопротивление | 17 10x Ом-м |
| Коэффициент Пуассона | 0,28 |
| Удельная теплоемкость | 760 Дж Кг-1 К-1 (293К) |
| Предел прочности | 1390 МПа (предельное) |
| Теплопроводность | 30 Вт/мК |
| Тепловое расширение | 5,3 мкм/мК |
| Модуль Юнга | 450 ГПа |
| Точная масса | 101,948 г/моль |
| Моноизотопная масса | 101.94782 Да |
Подробная схема
