Сапфировые трубки, сапфировые стержни специальной формы высокого давления KY и EFG
Описание
Сапфировые стержни используются в широком спектре применений. Сапфировый стержень может быть изготовлен с полированной всей поверхностью для оптических и износостойких применений или с тонкошлифованной (неполированной) поверхностью для использования в качестве изолятора.
Технология
При вытягивании сапфировых трубок из расплава с помощью затравки продольный температурный градиент в зоне между затвердевшим фронтом и областью вытягивания, где температура составляет 1850–1900 °С, поддерживают не более 30 °С/см. Выращенную трубку отжигают при температуре 1950–2000 °С, повышая температуру со скоростью 30–40 °С/мин и выдерживая при этой температуре в течение 3–4 часов. После этого трубку охлаждают до комнатной температуры со скоростью 30–40 °С/мин.
Области применения в области обработки полупроводников:
(HPD CVD, PECVD, сухое травление, влажное травление)
Трубка плазменного аппликатора
Форсунки для инжектора технологического газа
Детектор конечной точки
Эксимерные коронные трубки
Трубки для удержания плазмы
Плазменная запайка трубок – это устройство, используемое для инкапсуляции электронных компонентов. Принцип её работы заключается в использовании высокой температуры и давления плазмы для расплавления упаковочного материала и его инкапсуляции на компоненте. Основные компоненты плазменной запайки трубок включают плазменный генератор, камеру для запайки трубок, вакуумную систему, систему управления и т.д.
Защитный кожух термопары (термопара): Термопара — это широко используемый элемент измерения температуры в приборах для измерения температуры. Она непосредственно измеряет температуру и преобразует сигнал температуры в сигнал термоэлектрической электродвижущей силы, который через электрический прибор (вторичный прибор) преобразуется в температуру измеряемой среды.
Очистка/подготовка воды
Свойства сапфировой трубки (теоретические)
| Формула соединения | Al2O3 |
| Молекулярный вес | 101.96 |
| Появление | Прозрачные трубки |
| Температура плавления | 2050 °C (3720 °F) |
| Точка кипения | 2977° C (5391° F) |
| Плотность | 4,0 г/см3 |
| Морфология | Треугольный (шестигранник), R3c |
| Растворимость в H2O | 98 x 10-6 г/100 г |
| Показатель преломления | 1.8 |
| Электрическое сопротивление | 17 10x Ом·м |
| Коэффициент Пуассона | 0,28 |
| Удельная теплоемкость | 760 Дж·Кг-1·К-1 (293К) |
| Предел прочности | 1390 МПа (предельное) |
| Теплопроводность | 30 Вт/мК |
| Тепловое расширение | 5,3 мкм/мК |
| Модуль Юнга | 450 ГПа |
| Точная масса | 101,948 г/моль |
| Моноизотопная масса | 101.94782 Да |
Подробная схема
