Сапфировые трубки Сапфировые стержни специальной формы высокого давления KY и EFG
Описание
Сапфировые стержни используются в широком спектре применений. Сапфировый стержень может быть изготовлен со всеми поверхностями, отполированными для оптических и износостойких целей, или со всеми поверхностями, отшлифованными (неполированными), чтобы служить изолятором.
Технология
В процессе вытягивания сапфировых трубок из расплава с помощью затравки продольный градиент температуры в зоне между застывшим фронтом и областью вытягивания, где температура находится в пределах 1850-1900 град. С поддерживают не выше 30 град. С/см. Выращенную таким образом трубку отжигают при температуре от 1950 до 2000 градусов. С путем повышения температуры со скоростью от 30 до 40 град. C/мин и выдерживание трубки при указанной температуре в течение периода от 3 до 4 часов. После этого трубку охлаждают до комнатной температуры со скоростью 30-40 град. С/мин.
Приложения для обработки полупроводников:
(HPD CVD, PECVD, сухое травление, мокрое травление)
Аппликатор плазмы
Форсунки для технологического газа
Детектор конечных точек
Эксимерные коронные трубки
Трубки для сдерживания плазмы
Машина для плазменной запайки трубок — это устройство, используемое для герметизации электронных компонентов. Его принцип заключается в использовании высокой температуры и высокого давления плазмы для плавления упаковочного материала и герметизации его на компоненте. Основные компоненты машины для плазменной запайки труб включают генератор плазмы, камеру запайки трубок, вакуумную систему, систему управления и т. д.
Защитная оболочка термопары (термогильза): Термопара является широко используемым элементом измерения температуры в приборах для измерения температуры. Она непосредственно измеряет температуру и преобразует температурный сигнал в сигнал термоэлектрической электродвижущей силы через электрический прибор (вторичный прибор) в температуру измеряемая среда
Водоочистка/очистка
Свойства сапфировой трубки (теоретические)
Сложная формула | Al2O3 |
Молекулярный вес | 101,96 |
Появление | Полупрозрачные трубки |
Точка плавления | 2050 °С (3720 °Ф) |
Точка кипения | 2977° С (5391° F) |
Плотность | 4,0 г/см3 |
Морфология | Треугольный (шестигранник), R3c |
Растворимость в H2O | 98 х 10-6 г/100 г |
Индекс преломления | 1,8 |
Электрическое сопротивление | 17 10x Ом-м |
Коэффициент Пуассона | 0,28 |
Удельная теплоемкость | 760 Дж Кг-1 К-1 (293К) |
Предел прочности | 1390 МПа (предельное) |
Теплопроводность | 30 Вт/мК |
Тепловое расширение | 5,3 мкм/мК |
Модуль Юнга | 450 ГПа |
Точная масса | 101,948 г/моль |
Моноизотопная масса | 101,94782 Да |