Сапфировые трубки, сапфировые стержни особой формы, высокого давления, KY и EFG.
Описание
Сапфировые стержни используются в самых разных областях. Сапфировый стержень может быть изготовлен с полированной поверхностью для оптических и износостойких применений или с мелкой шлифовкой (неполированный) для использования в качестве изолятора.
Технологии
В процессе вытягивания сапфировых трубок из расплава с помощью затравки продольный температурный градиент в зоне между фронтом затвердевания и областью вытягивания, где температура находится в диапазоне от 1850 до 1900 °C, поддерживается на уровне не более 30 °C/см. Выращенная таким образом трубка отжигается при температуре от 1950 до 2000 °C путем повышения температуры со скоростью 30–40 °C/мин и выдержки трубки при указанной температуре в течение 3–4 часов. После этого трубка охлаждается до комнатной температуры со скоростью 30–40 °C/мин.
Области применения в полупроводниковой промышленности:
(HPD CVD, PECVD, сухое травление, влажное травление)
Трубка плазменного аппликатора
Форсунки для впрыска технологических газов
детектор конечной точки
Эксимерные коронные трубки
Трубки для удержания плазмы
Плазменный трубчатый запайщик — это устройство, используемое для герметизации электронных компонентов. Принцип его работы заключается в использовании высокой температуры и высокого давления плазмы для расплавления упаковочного материала и его последующей герметизации компонента. Основные компоненты плазменного трубчатого запайщика включают генератор плазмы, камеру для запайки трубок, вакуумную систему, систему управления и т. д.
Защитный кожух термопары (термоклем): Термопара — это широко используемый элемент измерения температуры в приборах для измерения температуры. Она непосредственно измеряет температуру и преобразует температурный сигнал в сигнал термоэлектрической силы, который через электрический прибор (вторичный прибор) передает на измерение температуры среды.
Очистка/подготовка воды
Свойства сапфировых трубок (теоретические)
| Составная формула | Al2O3 |
| Молекулярная масса | 101.96 |
| Появление | Полупрозрачные трубки |
| Температура плавления | 2050 °C (3720 °F) |
| Температура кипения | 2977°C (5391°F) |
| Плотность | 4,0 г/см³ |
| Морфология | Треугольная (шестиугольная), R3c |
| Растворимость в H2O | 98 x 10⁻⁶ г/100 г |
| Показатель преломления | 1.8 |
| Электрическое сопротивление | 17 10x Ом-м |
| Коэффициент Пуассона | 0,28 |
| Удельная теплоемкость | 760 Дж кг⁻¹ К⁻¹ (293 К) |
| Предел прочности | 1390 МПа (предельное значение) |
| Теплопроводность | 30 Вт/мК |
| Тепловое расширение | 5,3 мкм/мК |
| Модуль Юнга | 450 ГПа |
| Точная масса | 101,948 г/моль |
| Моноизотопная масса | 101.94782 Да |
Подробная схема
