Сапфировая трубка сапфировые стержни специальной формы высокого давления KY и EFG
Описание
Сапфировые стержни используются в широком спектре приложений. Сапфировый стержень может быть изготовлен со всеми полированными поверхностями для оптических и износостойких применений или со всеми поверхностями, отшлифованными (неотполированными), чтобы служить изолятором.
Технологии
В процессе вытягивания сапфировых трубок из расплава с помощью затравки продольный температурный градиент в зоне между затвердевшим фронтом и областью вытягивания, где температура составляет от 1850 до 1900 град. С, поддерживают не более 30 град. С/см. Выращенную таким образом трубку отжигают при температуре от 1950 до 2000 град. С, повышая температуру со скоростью от 30 до 40 град. С/мин и выдерживая трубку при этой температуре в течение 3-4 часов. После этого трубку охлаждают до комнатной температуры со скоростью 30-40 град. С/мин.
Области применения в обработке полупроводников:
(HPD CVD, PECVD, сухое травление, влажное травление)
Трубка плазменного аппликатора
Форсунки для инжектора технологического газа
Детектор конечной точки
Эксимерные коронные трубки
Трубки для удержания плазмы
Машина для плазменной запайки трубок — это устройство, используемое для инкапсуляции электронных компонентов. Ее принцип заключается в использовании высокой температуры и высокого давления плазмы для расплавления упаковочного материала и инкапсуляции его на компоненте. Основные компоненты машины для плазменной запайки трубок включают плазменный генератор, камеру для запайки трубок, вакуумную систему, систему управления и т. д.
Защитная оболочка термопары (термопара): Термопара является широко используемым элементом измерения температуры в приборах для измерения температуры, она непосредственно измеряет температуру и преобразует температурный сигнал в сигнал термоэлектрической электродвижущей силы, через электрический прибор (вторичный прибор) в температуру измеряемой среды.
Очистка/очистка воды
Свойства сапфировой трубки (теоретические)
| Формула соединения | Al2O3 |
| Молекулярный вес | 101.96 |
| Появление | Прозрачные трубки |
| Температура плавления | 2050 °C (3720 °F) |
| Точка кипения | 2977° C (5391° F) |
| Плотность | 4,0 г/см3 |
| Морфология | Треугольный (шестигранник), R3c |
| Растворимость в H2O | 98 x 10-6 г/100 г |
| Показатель преломления | 1.8 |
| Электрическое сопротивление | 17 10x Ом-м |
| Коэффициент Пуассона | 0,28 |
| Удельная теплоемкость | 760 Дж Кг-1 К-1 (293К) |
| Предел прочности | 1390 МПа (предельное) |
| Теплопроводность | 30 Вт/мК |
| Тепловое расширение | 5,3 мкм/мК |
| Модуль Юнга | 450 ГПа |
| Точная масса | 101,948 г/моль |
| Моноизотопная масса | 101.94782 Да |
Подробная схема
