Пластина из кварцевого стекла JGS1 JGS2 BF33 8 дюймов 12 дюймов 725 ± 25 мкм или по индивидуальному заказу
Спецификация
Спецификация | 4" | 6" | 8" | 10 дюймов | 12 дюймов |
Диаметр | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
Толщина | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
Основная квартира | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / Выемка | Выемка | Выемка | Выемка |
ЛТВ (5ммx5мм) | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм |
ТТВ | < 2 мкм | < 3 мкм | <3 мкм | <10 мкм | <10 мкм |
Поклон | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм |
Варп | ≤ 30 мкм | ≤ 40 мкм | ≤ 70 мкм | ≤ 80 мкм | ≤ 80 мкм |
Скругление краев | Соответствует стандарту SEMI M1.2/см. IEC62276 | ||||
Тип поверхности | Полировка с одной стороны / Полировка с двух сторон | ||||
Полированная сторона Ra | Ra≤1нм | ||||
Критерии обратной стороны | Ra 0,2-0,7 мкм или по индивидуальному заказу |
Таблица параметров кварцевой стеклянной пластины JGS1 JGS2 BF33
Приложение
Пластины из кварцевого стекла, изготовленные из материалов JGS1, JGS2 и BF33, широко используются в различных высокоточных отраслях промышленности. Эти пластины идеально подходят для производства полупроводников, включая подложки фотошаблонов и оптику на уровне пластин. Они также подходят для оптических компонентов, лазеров и датчиков в таких отраслях, как телекоммуникации, аэрокосмическая промышленность и медицинское оборудование. Высокая термостойкость и устойчивость к тепловым ударам делают их идеальными для использования в условиях экстремальных температур, а их исключительная светопропускаемость критически важна для ультрафиолетовой (УФ) и инфракрасной (ИК) оптики.
Характеристики
Типы материалов:
JGS1: Высокая пропускаемость ультрафиолетового излучения, отлично подходит для использования в условиях ультрафиолетового излучения.
JGS2: Сбалансированное пропускание в УФ, видимом и инфракрасном диапазонах, подходит для общего оптического применения.
BF33: Боросиликатное стекло с высокой химической стойкостью и термостойкостью. Варианты размеров:
Доступны стандартные размеры пластин: 8 и 12 дюймов.
Возможно изготовление нестандартных размеров в соответствии с конкретными требованиями. Толщина:
Стандартная толщина — 725 ± 25 мкм.
Доступна индивидуальная толщина для удовлетворения различных промышленных потребностей.
Тепловые свойства:
Отличная термостойкость, подходит для использования в условиях высоких температур.
Высокая устойчивость к тепловому удару.
Химическая стойкость:
Высокая устойчивость к коррозии под воздействием кислот, щелочей и большинства химикатов, особенно BF33.
Оптические свойства:
Пластины JGS1 и JGS2 обладают высокой оптической прозрачностью в ультрафиолетовом (УФ), видимом и инфракрасном (ИК) диапазонах.
Идеально подходит для прецизионных оптических компонентов, фотоники и лазерных применений.
Качество поверхности:
Высокая плоскостность и гладкость поверхности, обеспечивающая точность при производстве полупроводниковых и оптических приборов.
Благодаря этим свойствам пластины JGS1, JGS2 и BF33 универсальны и надежны для высокопроизводительных применений в таких отраслях, как оптика, электроника и полупроводники.
Общий
Пластины из кварцевого стекла, изготовленные из материалов JGS1, JGS2 и BF33, обладают исключительными характеристиками для самых разных требовательных приложений. Эти пластины доступны в стандартных размерах 8 и 12 дюймов и толщиной 725 ± 25 мкм, а также могут быть изготовлены по индивидуальному заказу. Пластины JGS1 и JGS2 обеспечивают высокое оптическое пропускание в УФ, видимом и ИК диапазонах, а BF33 – превосходную химическую стойкость и термическую стабильность. Благодаря высокой плоскостности и гладкости поверхности эти пластины идеально подходят для прецизионных отраслей, таких как производство полупроводников, оптика и фотоника, гарантируя надежность и долговечность в экстремальных условиях и критически важных приложениях.
Подробная схема

