Кварцевая стеклянная пластина JGS1 JGS2 BF33 пластина 8 дюймов 12 дюймов 725 ± 25 мкм или по индивидуальному заказу
Спецификация
Спецификация | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Диаметр | 100мм | 150мм | 200мм | 250мм | 300мм |
Толщина | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
Первичная квартира | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / Выемка | Выемка | Выемка | Выемка |
ЛТВ (5ммx5мм) | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм |
ТТВ | < 2мкм | < 3мкм | <3мкм | <10мкм | <10мкм |
Поклон | ±20мкм | ±30мкм | ±40мкм | ±40мкм | ±40мкм |
Варп | ≤ 30мкм | ≤ 40мкм | ≤ 70мкм | ≤ 80мкм | ≤ 80мкм |
Закругление кромок | Соответствует стандарту SEMI M1.2/см. IEC62276 | ||||
Тип поверхности | Полировка с одной стороны / Полировка с двух сторон | ||||
Полированная сторона Ra | Ra≤1нм | ||||
Критерии обратной стороны | Ra 0,2-0,7 мкм или по индивидуальному заказу |
Пластина из кварцевого стекла JGS1 JGS2 BF33 Таблица параметров пластины
Приложение
Пластины из кварцевого стекла, изготовленные из JGS1, JGS2 и BF33, широко используются в различных отраслях промышленности, требующих высокой точности. Эти пластины идеально подходят для производства полупроводников, включая подложки фотошаблонов и оптику на уровне пластин. Они также подходят для оптических компонентов, лазеров и датчиков в таких отраслях, как телекоммуникации, аэрокосмическая промышленность и медицинские приборы. Их высокая термостойкость и устойчивость к тепловому удару делают их идеальными для экстремальных температурных условий, в то время как их исключительная пропускаемость имеет решающее значение для ультрафиолетовой (УФ) и инфракрасной (ИК) оптики.
Характеристики
Типы материалов:
JGS1: Высокая пропускаемость УФ-излучения, отлично подходит для применения в ультрафиолетовом свете.
JGS2: сбалансированное пропускание в УФ, видимом и инфракрасном диапазонах, подходит для общего оптического применения.
BF33: Боросиликатное стекло с высокой химической стойкостью и термической прочностью. Варианты размеров:
Доступны стандартные размеры пластин: 8 и 12 дюймов.
Возможно изготовление нестандартных размеров в соответствии с конкретными требованиями. Толщина:
Стандартная толщина 725 ± 25 мкм.
Доступна индивидуальная толщина для удовлетворения различных промышленных потребностей.
Тепловые свойства:
Отличная термостойкость, подходит для использования в условиях высоких температур.
Высокая устойчивость к тепловому удару.
Химическая стойкость:
Высокая устойчивость к коррозии под воздействием кислот, щелочей и большинства химикатов, особенно BF33.
Оптические свойства:
Пластины JGS1 и JGS2 обладают высокой оптической прозрачностью в ультрафиолетовом (УФ), видимом и инфракрасном (ИК) диапазонах.
Идеально подходит для прецизионных оптических компонентов, фотоники и лазерных приложений.
Качество поверхности:
Высокая плоскостность и гладкость поверхности, обеспечивающая точность при производстве полупроводниковых и оптических приборов.
Эти свойства делают пластины JGS1, JGS2 и BF33 универсальными и надежными для высокопроизводительных приложений в таких отраслях, как оптика, электроника и полупроводники.
Общий
Пластины из кварцевого стекла, изготовленные из JGS1, JGS2 и BF33, обеспечивают исключительную производительность в различных требовательных приложениях. Доступные в стандартных размерах 8 дюймов и 12 дюймов с толщиной 725 ± 25 мкм, эти пластины также могут быть настроены для удовлетворения конкретных требований. JGS1 и JGS2 обеспечивают высокую оптическую пропускаемость в УФ, видимом и ИК диапазонах, в то время как BF33 обеспечивает превосходную химическую стойкость и термическую стабильность. Благодаря высокой плоскостности и гладкости поверхности эти пластины идеально подходят для прецизионных отраслей промышленности, таких как полупроводники, оптика и фотоника, обеспечивая надежность и долговечность в экстремальных условиях и критических приложениях.
Подробная схема

