Вафля ДЖГС1 ДЖГС2 БФ33 кварцевого стекла 8инч 12инч 725 ± 25 мкм или подгонянный
Спецификация
Спецификация | 4" | 6" | 8" | 10 дюймов | 12 дюймов |
Диаметр | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
Толщина | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
Первичная квартира | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / Нотч | Нотч | Нотч | Нотч |
LTV (5ммx5мм) | <0,5 мкм | <0,5 мкм | <0,5 мкм | <0,5 мкм | <0,5 мкм |
ТТВ | < 2 мкм | < 3 мкм | <3ум | <10 мкм | <10 мкм |
Поклон | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм |
Деформация | ≤ 30 мкм | ≤ 40 мкм | ≤ 70 мкм | ≤ 80 мкм | ≤ 80 мкм |
Скругление кромок | Соответствует стандарту SEMI M1.2/см. IEC62276. | ||||
Тип поверхности | Односторонняя полировка/двухсторонняя полировка | ||||
Полированная сторона Ra | Ра≤1 нм | ||||
Критерии обратной стороны | Ра 0,2-0,7 мкм или по индивидуальному заказу |
Таблица параметров пластины из кварцевого стекла JGS1 JGS2 BF33
Приложение
Пластины кварцевого стекла JGS1, JGS2 и BF33 широко используются в различных высокоточных отраслях промышленности. Эти пластины идеально подходят для производства полупроводников, включая подложки для фотошаблонов и оптику на уровне пластин. Они также подходят для оптических компонентов, лазеров и датчиков в таких отраслях, как телекоммуникации, аэрокосмическая промышленность и медицинское оборудование. Их высокая термическая стабильность и устойчивость к тепловому удару делают их идеальными для экстремальных температур, а их исключительный коэффициент пропускания имеет решающее значение для ультрафиолетовой (УФ) и инфракрасной (ИК) оптики.
Характеристики
Типы материалов:
JGS1: Высокий коэффициент пропускания ультрафиолета, отлично подходит для применения в ультрафиолетовом свете.
JGS2: сбалансированный коэффициент пропускания в УФ, видимом и инфракрасном диапазонах, подходит для общего оптического применения.
BF33: Боросиликатное стекло с высокой химической стойкостью и термостойкостью. Варианты размеров:
Доступны стандартные размеры пластин 8 и 12 дюймов.
Нестандартные размеры могут быть изготовлены в соответствии с конкретными требованиями. Толщина:
Стандартная толщина 725 ± 25 мкм.
Доступна настраиваемая толщина для удовлетворения различных промышленных потребностей.
Термические свойства:
Отличная термическая стабильность, подходит для использования в условиях высоких температур.
Высокая устойчивость к термическому удару.
Химическая стойкость:
Высокая устойчивость к коррозии от кислот, щелочей и большинства химикатов, особенно BF33.
Оптические свойства:
Пластины JGS1 и JGS2 обеспечивают высокий оптический коэффициент пропускания в ультрафиолетовом (УФ), видимом и инфракрасном (ИК) диапазонах.
Идеально подходит для прецизионных оптических компонентов, фотоники и лазерных приложений.
Качество поверхности:
Высокая плоскостность и гладкость поверхности обеспечивают точность при производстве полупроводников и оптических устройств.
Эти свойства делают пластины JGS1, JGS2 и BF33 универсальными и надежными для высокопроизводительных приложений в таких отраслях, как оптика, электроника и полупроводники.
Общий
Пластины из кварцевого стекла, изготовленные из JGS1, JGS2 и BF33, обеспечивают исключительные характеристики в различных требовательных приложениях. Эти пластины доступны в стандартных размерах 8 и 12 дюймов и толщиной 725 ± 25 мкм. Их также можно настроить в соответствии с конкретными требованиями. JGS1 и JGS2 обеспечивают высокий оптический коэффициент пропускания в УФ, видимом и ИК-диапазонах, а BF33 обеспечивает превосходную химическую стойкость и термическую стабильность. Благодаря высокой плоскостности и гладкости поверхности эти пластины идеально подходят для прецизионных отраслей промышленности, таких как полупроводники, оптика и фотоника, обеспечивая надежность и долговечность в экстремальных условиях и критически важных приложениях.