Кварцевая стеклянная пластина JGS1 JGS2 BF33, 8 дюймов, 12 дюймов, 725 ± 25 мкм или по индивидуальному заказу.
Спецификация
| Спецификация | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 дюймов |
| Диаметр | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
| Толщина | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
| Основная квартира | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / Выемка | Вырез | Вырез | Вырез |
| LTV (5 мм x 5 мм) | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм | < 0,5 мкм |
| ТТВ | < 2 мкм | < 3 мкм | <3 мкм | <10 мкм | <10 мкм |
| Поклон | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм |
| Искажение | ≤ 30 мкм | ≤ 40 мкм | ≤ 70 мкм | ≤ 80 мкм | ≤ 80 мкм |
| Скругление кромок | Соответствует стандарту SEMI M1.2/см. IEC62276 | ||||
| Тип поверхности | Полировка с одной стороны / Полировка с двух сторон | ||||
| Полированная сторона Ra | Ra≤1 нм | ||||
| Критерии обратной стороны | Ra 0,2-0,7 мкм или по индивидуальному заказу | ||||
Таблица параметров кварцевой стеклянной пластины JGS1 JGS2 BF33
Приложение
Кварцевые стеклянные пластины, изготовленные из материалов JGS1, JGS2 и BF33, широко используются в различных высокоточных отраслях промышленности. Эти пластины идеально подходят для производства полупроводников, включая подложки для фотошаблонов и оптику на уровне пластин. Они также подходят для оптических компонентов, лазеров и датчиков в таких отраслях, как телекоммуникации, аэрокосмическая промышленность и медицинское оборудование. Их высокая термическая стабильность и устойчивость к термическим ударам делают их идеальными для работы в экстремальных температурных условиях, а их исключительная светопропускаемость имеет решающее значение для ультрафиолетовой (УФ) и инфракрасной (ИК) оптики.
Характеристики
Типы материалов:
JGS1: Высокая светопроницаемость в УФ-диапазоне, отлично подходит для применения в ультрафиолетовой среде.
JGS2: Сбалансированная пропускающая способность в УФ, видимом и инфракрасном диапазонах, подходит для общего применения в оптике.
BF33: Боросиликатное стекло с высокой химической стойкостью и термостойкостью. Варианты размеров:
Доступны в стандартных размерах: 8 и 12 дюймов.
Изготовление изделий нестандартных размеров возможно в соответствии с конкретными требованиями. Толщина:
Стандартная толщина составляет 725 ± 25 мкм.
Доступна индивидуальная толщина для удовлетворения различных промышленных потребностей.
Тепловые свойства:
Отличная термическая стабильность, подходит для использования в условиях высоких температур.
Высокая устойчивость к термическим ударам.
Химическая стойкость:
Высокая коррозионная стойкость к кислотам, щелочам и большинству химических веществ, особенно у стали BF33.
Оптические свойства:
Пластины JGS1 и JGS2 обладают высокой оптической пропускаемостью в ультрафиолетовом (УФ), видимом и инфракрасном (ИК) диапазонах.
Идеально подходит для прецизионных оптических компонентов, фотоники и лазерных применений.
Качество поверхности:
Высокая плоскостность и гладкость поверхности, обеспечивающие точность в производстве полупроводниковых и оптических устройств.
Эти свойства делают пластины JGS1, JGS2 и BF33 универсальными и надежными для высокопроизводительных приложений в таких отраслях, как оптика, электроника и полупроводники.
Общий
Кварцевые стеклянные пластины, изготовленные из материалов JGS1, JGS2 и BF33, обеспечивают исключительную производительность в самых разных сложных областях применения. Доступные в стандартных размерах 8 и 12 дюймов с толщиной 725 ± 25 мкм, эти пластины также могут быть изготовлены на заказ в соответствии с конкретными требованиями. Материалы JGS1 и JGS2 обеспечивают высокую оптическую пропускаемость в УФ, видимом и ИК диапазонах, а BF33 обладает превосходной химической стойкостью и термической стабильностью. Благодаря высокой плоскостности и гладкости поверхности, эти пластины идеально подходят для высокоточных отраслей промышленности, таких как полупроводники, оптика и фотоника, обеспечивая надежность и долговечность в экстремальных условиях и ответственных областях применения.
Подробная схема
