Оборудование для изготовления лодок из кварцевого кристалла на заказ для обеспечения высокой термостойкости и износостойкости
Кварцевые кристаллические лодочки предназначены для хранения и транспортировки кремниевых пластин в высокотемпературных средах, например, в печах, используемых для таких процессов, как окисление, диффузия и отжиг. Использование кварца гарантирует, что сосуд выдержит экстремальные температуры и агрессивные химические среды, встречающиеся в этих процессах производства полупроводников.
Конструкция кварцевой лодочки позволяет эффективно загружать и выгружать несколько пластин, обеспечивая высокую производительность на предприятиях по производству полупроводников. Использование кварцевых лодочек помогает обеспечить целостность и качество кремниевых пластин во время различных термических и химических обработок, помогая повысить общую точность и надежность производимых полупроводниковых приборов.
Кварцевая лодочка для пластин — это специализированный инструмент, используемый в полупроводниковой промышленности для обработки кремниевых пластин. Обычно она изготавливается из кварца высокой чистоты, который выбирается из-за его превосходных термических и химических свойств.
Лодочка для пластин предназначена для транспортировки и обработки кремниевых пластин в условиях высоких температур, например, в печах, используемых для таких процессов, как окисление, диффузия и отжиг. Использование кварца гарантирует, что лодки могут выдерживать экстремальные температуры и агрессивные химические среды, встречающиеся в этих процессах производства полупроводников.
Конструкция лодок позволяет эффективно загружать и выгружать несколько пластин, что обеспечивает высокую производительность на предприятиях по производству полупроводников. Использование кварцевых пластин помогает обеспечить целостность и качество кремниевых пластин при различных термических и химических обработках, тем самым повышая точность и надежность производимых полупроводниковых приборов.
Подробная схема


