Штифты-подъемники из сапфира премиум-класса с монокристаллом Al₂O₃
Технические параметры
| Химический состав | Al2O3 |
| Твердость | 9Мооса |
| Оптическая природа | Одноосный |
| Показатель преломления | 1.762-1.770 |
| Двойное лучепреломление | 0,008-0,010 |
| Дисперсия | Низкий, 0,018 |
| Блеск | Стекловидное тело |
| Плеохроизм | От умеренного до сильного |
| Диаметр | 0,4 мм-30 мм |
| Допуск диаметра | 0,004 мм-0,05 мм |
| длина | 2мм-150мм |
| допуск длины | 0,03 мм-0,25 мм |
| Качество поверхности | 40/20 |
| Округлость поверхности | 0,05 руб. |
| Индивидуальная форма | оба конца плоские, один конец прямой, оба конца прямой, седельные штифты и специальные формы |
Ключевые особенности
1. Исключительная твёрдость и износостойкость: сапфировые штифты с твёрдостью по шкале Мооса 9, уступающей только алмазу, демонстрируют износостойкость, значительно превосходящую традиционные аналоги из карбида кремния, оксида алюминия, керамики или металлических сплавов. Эта исключительная твёрдость обеспечивает значительное снижение образования частиц и сокращение требований к обслуживанию, а срок службы обычно в 3–5 раз превышает срок службы обычных материалов в сопоставимых условиях.
2. Превосходная стойкость к высоким температурам: разработанные для длительной эксплуатации при температурах свыше 1000 °C без ухудшения характеристик, сапфировые штифты сохраняют размерную стабильность и механическую прочность в самых сложных термических процессах. Это делает их особенно ценными для критически важных применений, таких как химическое осаждение из газовой фазы (CVD), химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений (MOCVD) и высокотемпературный отжиг, где несоответствие коэффициентов теплового расширения может снизить выход готовой продукции.
3. Химическая инертность: структура монокристаллического сапфира демонстрирует исключительную стойкость к воздействию плавиковой кислоты, хлорсодержащих химикатов и других агрессивных технологических газов, часто встречающихся в производстве полупроводников. Эта химическая стабильность обеспечивает стабильную работу в плазменных средах и предотвращает образование поверхностных дефектов, которые могут привести к загрязнению пластины.
4. Низкое загрязнение частицами: изготовленные из бездефектных кристаллов сапфира высокой чистоты (обычно >99,99%), эти штифты обеспечивают минимальное выделение частиц даже при длительном использовании. Их непористая структура поверхности и полированная отделка отвечают самым строгим требованиям к чистым помещениям, что напрямую способствует повышению выхода годных изделий в современных узловых производствах полупроводников.
Высокоточная обработка: благодаря передовым технологиям алмазной шлифовки и лазерной обработки сапфировые подъемные штифты могут быть изготовлены с субмикронными допусками и шероховатостью поверхности менее 0,05 мкм Ra. Для решения конкретных задач обработки пластин на производственном оборудовании нового поколения могут быть разработаны индивидуальные геометрические формы, включая конические профили, особые конфигурации наконечников и интегрированные функции выравнивания.
Основные области применения
1. Производство полупроводников: сапфировые подъёмные штифты играют важнейшую роль в современных системах обработки пластин, обеспечивая надёжную поддержку и точное позиционирование в процессах фотолитографии, травления, осаждения и контроля. Благодаря своей термической и химической стабильности они особенно ценны для использования в литографических установках EUV и современных корпусах, где важна размерная стабильность в нанометровом масштабе.
2. Эпитаксия светодиодов (MOCVD): В системах эпитаксиального роста нитрида галлия (GaN) и подобных полупроводниковых соединений сапфировые контактные штифты обеспечивают стабильную поддержку пластин при температурах, часто превышающих 1000 °C. Их характеристики теплового расширения, согласованные с сапфировыми подложками, минимизируют прогиб пластины и образование проскальзываний в процессе эпитаксиального роста.
3. Фотоэлектрическая промышленность: производство высокоэффективных солнечных элементов использует уникальные свойства сапфира в процессах высокотемпературной диффузии, спекания и осаждения тонких плёнок. Износостойкость штифтов особенно ценна в условиях массового производства, где долговечность компонентов напрямую влияет на себестоимость производства.
4. Прецизионная обработка оптики и электроники: Помимо полупроводниковой промышленности, сапфировые подъёмные штифты находят применение в работе с чувствительными оптическими компонентами, микроэлектромеханическими устройствами (МЭМС) и специальными подложками, где критически важны отсутствие загрязнений и предотвращение царапин. Благодаря своим электроизоляционным свойствам они идеально подходят для применения в устройствах, чувствительных к электростатическому электричеству.
Услуги XKH по установке сапфировых подъемных штифтов
XKH предоставляет комплексную техническую поддержку и индивидуальные решения для сапфировых подъемных штифтов:
1. Услуги индивидуальной разработки
· Поддержка настройки размеров, геометрии и обработки поверхности
· Рекомендации по выбору материалов и оптимизации технических параметров
· Совместное проектирование продукта и проверка моделирования
2. Возможности точного производства
· Высокоточная обработка с допусками, контролируемыми в пределах ±1 мкм
· Специальная обработка, включая зеркальную полировку и снятие фасок
· Дополнительные решения по модификации поверхности, такие как антипригарные покрытия
3. Система обеспечения качества
· Строгое осуществление входного контроля материалов и контроля технологического процесса
· Полноразмерный оптический контроль и анализ морфологии поверхности
· Предоставление отчетов об испытаниях производительности продукции
4. Услуги цепочки поставок
· Быстрая поставка стандартной продукции
· Специальное управление запасами для ключевых клиентов
5. Техническая поддержка
· Консультации по прикладным решениям
· Быстрое послепродажное реагирование
Мы стремимся предоставлять высококачественную продукцию Sapphire Lift Pins и профессиональные технические услуги для удовлетворения строгих требований полупроводниковой, светодиодной и других передовых отраслей промышленности.
