Штифты подъема сапфира премиум-класса Штифт подъема пластины из монокристалла Al₂O₃
Технические параметры
| Химический состав | Al2O3 |
| Твёрдость | 9Мооса |
| Оптическая природа | Одноосный |
| Показатель преломления | 1.762-1.770 |
| Двойное лучепреломление | 0,008-0,010 |
| Дисперсия | Низкий, 0,018 |
| Блеск | Стекловидное тело |
| плеохроизм | От умеренного до сильного |
| Диаметр | 0,4мм-30мм |
| Допуск диаметра | 0,004мм-0,05мм |
| длина | 2мм-150мм |
| допуск длины | 0,03мм-0,25мм |
| Качество поверхности | 40/20 |
| Округлость поверхности | 0,05 руб. |
| Индивидуальная форма | оба конца плоские, один конец редиус, оба конца редиус, седельные штифты и специальные формы |
Основные характеристики
1. Исключительная твердость и износостойкость: с показателем твердости по шкале Мооса 9, уступающим только алмазу, сапфировые подъемные штифты демонстрируют износостойкость, которая значительно превосходит традиционные альтернативы из карбида кремния, оксида алюминия, керамики или металлических сплавов. Эта экстремальная твердость приводит к значительному снижению образования частиц и требований к обслуживанию, при этом срок службы обычно в 3-5 раз больше, чем у обычных материалов в сопоставимых приложениях.
2. Превосходная устойчивость к высоким температурам: разработанные для выдерживания длительной работы при температурах свыше 1000°C без ухудшения свойств, сапфировые подъемные штифты сохраняют размерную стабильность и механическую прочность в самых сложных термических процессах. Это делает их особенно ценными для критических применений, таких как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD) и высокотемпературные системы отжига, где несоответствие теплового расширения может поставить под угрозу выход продукта.
3. Химическая инертность: структура монокристаллического сапфира демонстрирует замечательную устойчивость к воздействию HF-кислоты, химикатов на основе хлора и других агрессивных технологических газов, обычно встречающихся в производстве полупроводников. Эта химическая стабильность обеспечивает постоянную производительность в плазменных средах и предотвращает образование дефектов поверхности, которые могут привести к загрязнению пластины.
4. Низкое загрязнение частицами: изготовленные из бездефектных кристаллов сапфира высокой чистоты (обычно >99,99%), эти подъемные штифты демонстрируют минимальное выделение частиц даже после длительного использования. Их непористая структура поверхности и полированная отделка отвечают самым строгим требованиям к чистым помещениям, напрямую способствуя повышению производительности процесса в передовом узловом производстве полупроводников.
Высокоточная обработка: Используя передовые технологии алмазной шлифовки и лазерной обработки, сапфировые подъемные штифты могут быть изготовлены с субмикронными допусками и шероховатостью поверхности менее 0,05 мкм Ra. Индивидуальные геометрии, включая конические профили, специальные конфигурации наконечников и интегрированные функции выравнивания, могут быть спроектированы для решения конкретных задач по обработке пластин в производственном оборудовании следующего поколения.
Основные приложения
1.Производство полупроводников: сапфировые подъемные штифты играют важную роль в современных системах обработки пластин, обеспечивая надежную поддержку и точное позиционирование во время фотолитографии, травления, осаждения и процессов проверки. Их термическая и химическая стабильность делает их особенно ценными в инструментах EUV-литографии и современных приложениях для упаковки, где размерная стабильность в нанометровых масштабах имеет решающее значение.
2. Светодиодная эпитаксия (MOCVD): в системах эпитаксиального роста нитрида галлия (GaN) и родственных полупроводниковых соединений сапфировые подъемные штифты обеспечивают стабильную поддержку пластины при температурах, часто превышающих 1000 ° C. Их согласованные характеристики теплового расширения с сапфировыми подложками минимизируют прогиб пластины и образование скольжения во время процесса эпитаксиального роста.
3.Фотоэлектрическая промышленность: Высокоэффективное производство солнечных элементов выигрывает от уникальных свойств сапфира в процессах высокотемпературной диффузии, спекания и осаждения тонких пленок. Износостойкость штифтов особенно ценна в условиях массового производства, где долговечность компонентов напрямую влияет на производственные затраты.
4.Точная оптика и электронная обработка: Помимо полупроводниковых приложений, сапфировые подъемные штифты находят применение в работе с тонкими оптическими компонентами, устройствами MEMS и специальными подложками, где критически важны обработка без загрязнений и предотвращение царапин. Их электроизоляционные свойства делают их идеальными для приложений, включающих устройства, чувствительные к электростатике.
Услуги XKH для сапфировых подъемных штифтов
XKH предоставляет комплексную техническую поддержку и индивидуальные решения для сапфировых подъемных штифтов:
1. Услуги по индивидуальной разработке
· Поддержка настройки размеров, геометрии и обработки поверхности
· Рекомендации по выбору материалов и оптимизации технических параметров
· Совместная разработка продукта и проверка моделирования
2. Возможности точного производства
· Высокоточная обработка с допусками, контролируемыми в пределах ±1 мкм
· Специальная обработка, включая зеркальную полировку и снятие фасок с кромок
· Дополнительные решения по модификации поверхности, такие как антипригарные покрытия
3. Система обеспечения качества
· Строгое выполнение входного контроля материалов и контроля технологического процесса
· Полноразмерный оптический контроль и анализ морфологии поверхности
· Предоставление отчетов об испытаниях производительности продукции
4. Услуги цепочки поставок
· Быстрая поставка стандартной продукции
· Специализированное управление запасами для ключевых клиентов
5. Техническая поддержка
· Консультации по прикладным решениям
· Оперативный послепродажный ответ
Мы стремимся предоставлять высококачественную продукцию Sapphire Lift Pins и профессиональные технические услуги для удовлетворения строгих требований полупроводниковой, светодиодной и других передовых отраслей промышленности.
