Прецизионная лазерная система Microjet для твердых и хрупких материалов
Ключевые особенности
1. Двухволновой лазерный источник Nd:YAG
Система использует твердотельный Nd:YAG-лазер с диодной накачкой и поддерживает как зелёный (532 нм), так и инфракрасный (1064 нм) диапазоны длин волн. Эта двухдиапазонная совместимость обеспечивает превосходную совместимость с широким спектром профилей поглощения материалов, повышая скорость и качество обработки.
2. Инновационная микроструйная лазерная передача
Сочетая лазер с микроструей воды высокого давления, эта система использует полное внутреннее отражение для точного направления лазерной энергии вдоль струи воды. Этот уникальный механизм подачи обеспечивает сверхтонкую фокусировку с минимальным рассеиванием и позволяет создавать линии толщиной до 20 мкм, обеспечивая непревзойденное качество резки.
3. Терморегулирование в микромасштабе
Встроенный прецизионный модуль водяного охлаждения регулирует температуру в точке обработки, поддерживая зону термического влияния (ЗТВ) в пределах 5 мкм. Эта функция особенно ценна при работе с термочувствительными и склонными к трещинам материалами, такими как SiC или GaN.
4. Модульная конфигурация питания
Платформа поддерживает три варианта мощности лазера — 50 Вт, 100 Вт и 200 Вт, что позволяет заказчикам выбирать конфигурацию, соответствующую их требованиям к пропускной способности и разрешению.
5. Платформа точного управления движением
Система оснащена высокоточным столиком с точностью позиционирования ±5 мкм, 5-осевым перемещением и опциональными линейными или прямыми приводами. Это обеспечивает высокую повторяемость и гибкость даже для сложных геометрических форм или пакетной обработки.
Области применения
Обработка пластин карбида кремния:
Идеально подходит для обрезки кромок, резки и нарезки пластин SiC в силовой электронике.
Обработка подложек из нитрида галлия (GaN):
Поддерживает высокоточную разметку и резку, адаптировано для применения в радиочастотных и светодиодных системах.
Структурирование широкозонных полупроводников:
Совместим с алмазом, оксидом галлия и другими новыми материалами для высокочастотных и высоковольтных применений.
Резка композитных материалов для аэрокосмической отрасли:
Точная резка керамических матричных композитов и современных субстратов аэрокосмического класса.
LTCC и фотоэлектрические материалы:
Используется для сверления микроотверстий, прокладки канавок и скрайбирования при производстве высокочастотных печатных плат и солнечных элементов.
Формирование сцинтилляторов и оптических кристаллов:
Позволяет производить резку с низким уровнем дефектов иттрий-алюминиевого граната, LSO, BGO и другой прецизионной оптики.
Спецификация
Спецификация | Ценить |
Тип лазера | DPSS Nd:YAG |
Поддерживаемые длины волн | 532 нм / 1064 нм |
Варианты питания | 50 Вт / 100 Вт / 200 Вт |
Точность позиционирования | ±5 мкм |
Минимальная ширина линии | ≤20 мкм |
Зона термического влияния | ≤5мкм |
Система движения | Линейный / двигатель с прямым приводом |
Максимальная плотность энергии | До 10⁷ Вт/см² |
Заключение
Эта микроструйная лазерная система расширяет границы возможностей лазерной обработки твёрдых, хрупких и термочувствительных материалов. Благодаря уникальной интеграции лазера и воды, совместимости с двумя длинами волн и гибкой системе перемещения, она предлагает индивидуальное решение для исследователей, производителей и системных интеграторов, работающих с передовыми материалами. Эта платформа, используемая на заводах по производству полупроводников, в аэрокосмических лабораториях или при производстве солнечных панелей, обеспечивает надёжность, повторяемость и точность, которые открывают возможности обработки материалов нового поколения.
Подробная схема


