Узорной сапфировой субстрат PSS 2 -дюймовый 4 -дюймовый 6 -дюймовый ICP Сухое травление может использоваться для светодиодных чипов
Основная характеристика
1. Характеристики материала: Подложка представляет собой монокристаллический сапфир (al₂o₃), с высокой твердостью, высокой теплостойкостью и химической стабильностью.
2. Структура поверхности: поверхность образуется фотолитографией и травлением в периодические микронановые структуры, такие как конусы, пирамиды или шестиугольные массивы.
3. Оптическая производительность: благодаря конструкции паттерна поверхности общее отражение света на границе раздела уменьшается, и эффективность извлечения света улучшается.
4. Тепловые характеристики: сапфировый субстрат имеет отличную теплопроводность, подходящую для применения светодиодов с высокой мощностью.
5. Технические характеристики: общие размеры составляют 2 дюйма (50,8 мм), 4 дюйма (100 мм) и 6 дюймов (150 мм).
Основные области применения
1. Светодиодное производство:
Повышенная эффективность извлечения света: PSS уменьшает потерю света за счет дизайна паттерна, значительно улучшая светодиодную яркость и светящуюся эффективность.
Улучшенное качество эпитаксиального роста: структура с рисунком обеспечивает лучшую базу роста для эпитаксиальных слоев GAN и повышает производительность светодиодов.
2. Лазерный диод (LD):
Лазеры с высокой мощностью: высокая теплопроводности и стабильность PS подходят для лазерных диодов с высокой мощностью, улучшая производительность и надежность рассеивания тепла.
Низкий пороговый ток: оптимизировать эпитаксиальный рост, уменьшить пороговый ток лазерного диода и повысить эффективность.
3. ФОТОДЕЙТОР:
Высокая чувствительность: высокая световая передача и низкая плотность дефектов PS улучшают чувствительность и скорость отклика фотоприемника.
Широкий спектральный отклик: подходит для фотоэлектрического обнаружения в ультрафиолетовом диапазоне.
4. Power Electronics:
Высокое сопротивление напряжения: Высокая изоляция Сапфира и тепловая стабильность подходят для устройств высокого напряжения.
Эффективное рассеяние тепла: высокая теплопроводность улучшает характеристики рассеяния тепла силовых устройств и продлевает срок службы.
5. RF устройства:
Высокочастотные характеристики: низкие диэлектрические потери и высокая тепловая стабильность PS подходят для высокочастотных радиочастотных устройств.
Низкий шум: высокая плоскостность и низкая плотность дефекта снижают шум устройства и улучшают качество сигнала.
6. Биосенсоры:
Выявление высокой чувствительности: высокая световая передача и химическая стабильность PS подходят для биосенсоров с высокой чувствительностью.
Биосовместимость: биосовместимость сапфира делает его подходящим для медицинских и биодневных приложений.
Узорчанный сапфировый субстрат (PSS) с эпитаксиальным материалом GAN:
Узорчатый сапфировый субстрат (PSS) является идеальным субстратом для эпитаксиального роста Gan (нитрид галлия). Постоянка решетки сапфира близка к GAN, что может уменьшить несоответствия решетки и дефекты в эпитаксиальном росте. Микронано-структура поверхности PSS не только повышает эффективность экстракции света, но и повышает качество кристалла эпитаксиального слоя GAN, тем самым повышая производительность и надежность светодиода.
Технические параметры
Элемент | Узорчанный сапфировый субстрат (2 ~ 6 дюйма) | ||
Диаметр | 50,8 ± 0,1 мм | 100,0 ± 0,2 мм | 150,0 ± 0,3 мм |
Толщина | 430 ± 25 мкм | 650 ± 25 мкм | 1000 ± 25 мкм |
Поверхностная ориентация | C-плоскость (0001) вне углу к оси M (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
C-плоскость (0001) вне углу к оси A (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Первичная плоская ориентация | A-плоскость (11-20) ± 1,0 ° | ||
Первичная плоская длина | 16,0 ± 1,0 мм | 30,0 ± 1,0 мм | 47,5 ± 2,0 мм |
R-плоскость | 9-o'clock | ||
Передняя поверхность отделка | Узорный | ||
Задняя поверхность | SSP: Fine-Ground, RA = 0,8-1,2 мм; DSP: Epi-Polished, Ra <0,3 нм | ||
Лазерная марка | Задняя сторона | ||
TTV | ≤8 мкм | ≤10 мкм | ≤20 мкм |
ПОКЛОН | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм |
Деформация | ≤12 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
Исключение краев | ≤2 мм | ||
Спецификация шаблона | Структура формы | Купол, конус, пирамида | |
Высота шаблона | 1,6 ~ 1,8 мкм | ||
Диаметр шаблона | 2,75 ~ 2,85 мкм | ||
Паттерн пространство | 0,1 ~ 0,3 мкм |
XKH специализируется на предоставлении высококачественных, индивидуальных узорных сапфировых субстратов (PSS) с технической поддержкой и послепродажными услугами, чтобы помочь клиентам добиться эффективных инноваций в области светодиодов, отображения и оптоэлектроники.
1. Высококачественные PSS Supply: узорчатые сапфировые подложки в различных размерах (2 ", 4", 6 ") для удовлетворения потребностей светодиодных, отображения и оптоэлектронных устройств.
2. Индивидуальный дизайн: настроить поверхностную микронановую структуру (такую как конус, пирамида или шестиугольная массива) в соответствии с необходимостью клиента для оптимизации эффективности извлечения света.
3. Техническая поддержка: предоставьте PSS -дизайн приложений, оптимизацию процессов и технические консультации, чтобы помочь клиентам повысить производительность продукта.
4. Эпитаксиальная поддержка роста: PSS, соответствующая эпитаксиальному материалу GAN, предоставляется для обеспечения высококачественного роста эпитаксиального слоя.
5. Тестирование и сертификация: предоставьте отчет о проверке качества PSS, чтобы обеспечить соответствие продукции в отраслевых стандартах.
Подробная диаграмма


