Композитные подложки из карбида кремния N-типа на кремнии, диаметр 6 дюймов.
| 等级Оценка | У 级 | П 级 | Д 级 |
| Низкая степень БПД | Производственный класс | Оценка фиктивного образца | |
| 直径Диаметр | 150,0 мм ± 0,25 мм | ||
| 厚度Толщина | 500 мкм ± 25 мкм | ||
| 晶片方向Ориентация пластины | Отклонение от оси: 4,0° в сторону < 11-20 > ±0,5° для 4H-N. На оси: <0001> ±0,5° для 4H-SI. | ||
| 主定位边方向Основная квартира | {10-10}±5.0° | ||
| 主定位边长度Основная плоская длина | 47,5 мм ± 2,5 мм | ||
| 边缘Исключение края | 3 мм | ||
| 总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Лук/Деформация | ≤15 мкм /≤40 мкм /≤60 мкм | ||
| 微管密度和基面位错MPD&BPD | MPD≤1 см-2 | MPD≤5 см-2 | MPD≤15 см-2 |
| ДПД≤1000 см-2 | |||
| 电阻率Сопротивление | ≥1E5 Ом·см | ||
| 表面粗糙度Шероховатость | Польское Ra≤1 нм | ||
| CMP Ra≤0,5 нм | |||
| 裂纹(强光灯观测) # | Никто | Суммарная длина ≤10 мм, длина одного элемента ≤2 мм | |
| Трещины от света высокой интенсивности | |||
| 六方空洞 (强光灯观测)* | Суммарная площадь ≤1% | Суммарная площадь ≤5% | |
| Шестигранные пластины под воздействием света высокой интенсивности | |||
| 多型(强光灯观测)* | Никто | Суммарная площадь ≤5% | |
| Политипные участки при высокой интенсивности света | |||
| 划痕(强光灯观测)*& | 3 царапины на 1 диаметр пластины | 5 царапин на 1 × диаметр пластины | |
| Царапины от света высокой интенсивности | суммарная длина | суммарная длина | |
| 崩边# Краевой чип | Никто | Допускается 5, ≤1 мм каждый | |
| 表面污染物（强光灯观测） | Никто | ||
| Загрязнение светом высокой интенсивности | |||
Подробная схема
