Композитные подложки SiC N-типа диаметром 6 дюймов. Высококачественная монокристаллическая подложка и подложка низкого качества.
Композитные подложки SiC N-типа Таблица общих параметров
项目Предметы | 指标Спецификация | 项目Предметы | 指标Спецификация |
直径Диаметр | 150±0,2 мм | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Передняя (Si-face) шероховатость | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) |
晶型Политип | 4H | Краевой скол, царапина, трещина (визуальный осмотр) | Никто |
电阻率Удельное сопротивление | 0,015-0,025 Ом·см | 总厚度变化ТТВ | ≤3 мкм |
Толщина слоя переноса | ≥0,4 мкм | 翘曲度Деформация | ≤35 мкм |
空洞Пустота | ≤5 шт./пластина (2 мм>D>0,5 мм) | 总厚度Толщина | 350±25 мкм |
Обозначение «N-тип» относится к типу легирования, используемого в материалах SiC. В физике полупроводников легирование предполагает преднамеренное введение примесей в полупроводник для изменения его электрических свойств. Легирование N-типа вводит элементы, которые обеспечивают избыток свободных электронов, придавая материалу отрицательную концентрацию носителей заряда.
К преимуществам композитных подложек SiC N-типа относятся:
1. Высокотемпературные характеристики: карбид кремния обладает высокой теплопроводностью и может работать при высоких температурах, что делает его пригодным для мощных и высокочастотных электронных приложений.
2. Высокое напряжение пробоя: материалы SiC имеют высокое напряжение пробоя, что позволяет им выдерживать сильные электрические поля без электрического пробоя.
3. Химическая стойкость и устойчивость к окружающей среде. Карбид кремния химически стоек и может выдерживать суровые условия окружающей среды, что делает его пригодным для использования в сложных условиях.
4. Снижение потерь мощности. По сравнению с традиционными материалами на основе кремния, подложки SiC обеспечивают более эффективное преобразование энергии и снижают потери мощности в электронных устройствах.
5. Широкая запрещенная зона: SiC имеет широкую запрещенную зону, что позволяет разрабатывать электронные устройства, способные работать при более высоких температурах и более высокой плотности мощности.
В целом, композитные подложки SiC N-типа предлагают значительные преимущества для разработки высокопроизводительных электронных устройств, особенно в приложениях, где критически важны работа при высоких температурах, высокая плотность мощности и эффективное преобразование энергии.