Пластина LNOI (ниобат лития на изоляторе) Телекоммуникации Датчики Высокое Электро-Оптическое
Подробная схема
Обзор
Внутри коробки для пластин имеются симметричные канавки, размеры которых строго одинаковы для поддержки двух сторон пластины. Кристаллическая коробка обычно изготавливается из полупрозрачного пластикового материала PP, который устойчив к температуре, износу и статическому электричеству. Различные цвета добавок используются для различения сегментов металлического процесса в производстве полупроводников. Из-за небольшого размера ключа полупроводников, плотных узоров и очень строгих требований к размеру частиц в производстве, коробка для пластин должна быть гарантированно чистой средой для соединения с реакционной полостью коробки микросреды различных производственных машин.
Методология изготовления
Изготовление пластин LNOI состоит из нескольких точных этапов:
Шаг 1: Имплантация ионов гелияИоны гелия вводятся в объемный кристалл LN с помощью ионного имплантера. Эти ионы оседают на определенной глубине, образуя ослабленную плоскость, которая в конечном итоге облегчит отсоединение пленки.
Шаг 2: Формирование базового субстратаОтдельная кремниевая или LN-пластина окисляется или покрывается слоем SiO2 с использованием PECVD или термического окисления. Ее верхняя поверхность выравнивается для оптимального связывания.
Шаг 3: Приклеивание LN к подложкеИонно-имплантированный кристалл LN переворачивается и прикрепляется к базовой пластине с помощью прямого соединения пластин. В исследовательских целях бензоциклобутен (BCB) может использоваться в качестве адгезива для упрощения соединения в менее жестких условиях.
Шаг 4: Термическая обработка и отделение пленкиОтжиг активирует образование пузырьков на имплантированной глубине, что позволяет отделить тонкую пленку (верхний слой LN) от основной массы. Механическая сила используется для завершения отшелушивания.
Шаг 5: Полировка поверхностиХимико-механическая полировка (ХМП) применяется для сглаживания верхней поверхности LN, что улучшает оптическое качество и выход годного устройства.
Технические параметры
| Материал | Оптический Оценка LiNbO3 вафли(белые) or Черный) | |
| Кюри Темп | 1142±0,7℃ | |
| Резка Угол | X/Y/Z и т.д. | |
| Диаметр/размер | 2”/3”/4” ±0,03 мм | |
| Тол(±) | <0,20 мм ±0,005 мм | |
| Толщина | 0,18～0,5 мм или более | |
| Начальный Плоский | 16мм/22мм/32мм | |
| ТТВ | <3мкм | |
| Поклон | -30 | |
| Варп | <40мкм | |
| Ориентация Плоский | Все доступно | |
| Поверхность Тип | Полировка с одной стороны (SSP)/Полировка с двух сторон (DSP) | |
| Полированный сторона Ra | <0,5 нм | |
| С/Д | 20/10 | |
| Край Критерии | R=0,2мм C-тип or Буллноуз | |
| Качество | Бесплатно of трещина(пузыри и включения) | |
| Оптический легированный | Mg/Fe/Zn/MgO и т. д. для оптический оценка ЛН вафли за запрошено | |
| Вафля Поверхность Критерии | Показатель преломления | No=2,2878/Ne=2,2033 при длине волны 632 нм/метод призматического соединителя. |
| Загрязнение, | Никто | |
| Частицы с>0,3μ m | <=30 | |
| Царапины, сколы | Никто | |
| Дефект | Никаких трещин, царапин, следов пилы, пятен. | |
| Упаковка | Кол-во/коробка для пластин | 25 шт в коробке |
Варианты использования
Благодаря своей универсальности и производительности LNOI используется во многих отраслях:
Фотоника:Компактные модуляторы, мультиплексоры и фотонные схемы.
РЧ/Акустика:Акустооптические модуляторы, радиочастотные фильтры.
Квантовые вычисления:Нелинейные смесители частот и генераторы фотонных пар.
Оборона и аэрокосмическая промышленность:Оптические гироскопы с малыми потерями, устройства сдвига частоты.
Медицинские приборы:Оптические биосенсоры и высокочастотные сигнальные зонды.
Часто задаваемые вопросы
В: Почему в оптических системах LNOI предпочтительнее SOI?
A:LNOI отличается превосходными электрооптическими коэффициентами и более широким диапазоном прозрачности, что обеспечивает более высокую производительность в фотонных схемах.
В: Является ли CMP обязательным после разделения?
A:Да. После ионного среза открытая поверхность LN становится шероховатой и должна быть отполирована для соответствия оптическим характеристикам.
В: Каков максимальный доступный размер пластины?
A:Коммерческие пластины LNOI в основном имеют размер 3” и 4”, хотя некоторые поставщики разрабатывают 6-дюймовые варианты.
В: Можно ли повторно использовать слой LN после разделения?
A:Базовый кристалл можно повторно полировать и использовать несколько раз, хотя его качество может ухудшиться после нескольких циклов.
В: Совместимы ли пластины LNOI с обработкой КМОП?
A:Да, они разработаны с учетом традиционных процессов производства полупроводников, особенно при использовании кремниевых подложек.
