Станок для ионно-лучевой полировки сапфира, карбида кремния и кремния.

Станок для ионно-лучевой полировки сапфира SiC Si (изображение на фото)

Краткое описание:

Установка для ионно-лучевой обработки и полировки основана на принципе ионного распыления. Внутри высоковакуумной камеры источник ионов генерирует плазму, которая ускоряется в высокоэнергетический ионный пучок. Этот пучок бомбардирует поверхность оптического компонента, удаляя материал на атомном уровне для достижения сверхточной коррекции и финишной обработки поверхности.

Отправьте нам электронное письмо

Функции

Подробная схема

Обзор продукта: ионно-лучевая полировальная машина

Поскольку ионно-лучевая полировка является бесконтактным процессом, она исключает механическое напряжение и предотвращает повреждение подповерхностных слоев, что делает ее идеальной для производства высокоточной оптики, используемой в астрономии, аэрокосмической отрасли, полупроводниковой промышленности и передовых исследовательских приложениях.

Принцип работы ионно-лучевой полировальной машины

Генерация ионов
В вакуумную камеру вводится инертный газ (например, аргон), который ионизируется посредством электрического разряда, образуя плазму.

Ускорение и формирование пучка
Ионы ускоряются до нескольких сотен или тысяч электронвольт (эВ) и формируются в стабильный, сфокусированный пучок.

Удаление материала
Ионный пучок физически распыляет атомы с поверхности, не инициируя химических реакций.

Обнаружение ошибок и планирование траектории
Отклонения формы поверхности измеряются с помощью интерферометрии. Функции удаления применяются для определения времени выдержки и генерации оптимизированных траекторий движения инструмента.

Коррекция с обратной связью
Итеративные циклы обработки и измерений продолжаются до тех пор, пока не будут достигнуты целевые значения точности RMS/PV.

Основные характеристики полировальной машины с ионным лучом

Универсальная совместимость с поверхностями– Обрабатывает плоские, сферические, асферические и произвольные поверхности.

Сверхстабильная скорость удаления– Обеспечивает коррекцию формы с точностью до субнанометра.

Обработка без повреждений– Отсутствие подповерхностных дефектов или структурных изменений.

Стабильная производительность– Одинаково хорошо работает с материалами различной твердости

Коррекция низких/средних частот– Устраняет ошибки без возникновения артефактов средней и высокой частоты.

Низкие требования к техническому обслуживанию– Длительная непрерывная работа с минимальным временем простоя

Основные технические характеристики полировальной машины с ионным лучом

Элемент	Спецификация
Метод обработки	Ионное распыление в условиях высокого вакуума
Тип обработки	Бесконтактная обработка и полировка поверхности.
Максимальный размер заготовки	Φ4000 мм
Оси движения	3-осевой / 5-осевой
Стабильность удаления	≥95%
Точность поверхности	PV < 10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (типичное значение RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Возможность коррекции частоты	Устраняет ошибки низкой и средней частоты, не внося ошибок средней и высокой частоты.
Непрерывная работа	3–5 недель без обслуживания пылесосом
Затраты на техническое обслуживание	Низкий

Технологические возможности полировальной машины с ионным лучом

Поддерживаемые типы поверхностей

Простой: плоский, сферический, призма

Сложные: симметричные/асимметричные асферические сферы, внеосевые асферические сферы, цилиндрические

Специальные решения: сверхтонкая оптика, щелевая оптика, полусферическая оптика, конформная оптика, фазовые пластины, поверхности произвольной формы.

Вспомогательные материалы

Оптическое стекло: кварцевое, микрокристаллическое, K9 и др.

Материалы, используемые в инфракрасном диапазоне: кремний, германий и др.

Металлы: алюминий, нержавеющая сталь, титановый сплав и т. д.

Кристаллы: YAG, монокристаллический карбид кремния и др.

Твердые/хрупкие материалы: карбид кремния и др.

Качество поверхности / Точность

PV < 10 нм

Среднеквадратичное отклонение ≤ 0,5 нм

Примеры практического применения ионно-лучевой полировальной машины.

Вариант 1 – Стандартное плоское зеркало

Заготовка: кварцевая плоская пластина диаметром D630 мм.

Результат: PV 46,4 нм; RMS 4,63 нм

Случай 2 – Рентгеновское отражающее зеркало

Заготовка: силиконовая плоская пластина размером 150 × 30 мм.

Результат: PV 8,3 нм; RMS 0,379 нм; Наклон 0,13 мкрад

Случай 3 – Зеркало, смещенное от оси

Заготовка: шлифованное внеосевое зеркало D326 мм

Результат: PV 35,9 нм; RMS 3,9 нм

Часто задаваемые вопросы о кварцевых стеклах

Часто задаваемые вопросы – Полировальная машина с ионным лучом

В1: Что такое ионно-лучевая полировка?
А1:Ионно-лучевая полировка — это бесконтактный процесс, использующий сфокусированный пучок ионов (например, ионов аргона) для удаления материала с поверхности заготовки. Ионы ускоряются и направляются к поверхности, вызывая удаление материала на атомном уровне, что приводит к получению сверхгладкой поверхности. Этот процесс исключает механическое напряжение и повреждения подповерхностного слоя, что делает его идеальным для прецизионных оптических компонентов.

В2: Какие типы поверхностей может обрабатывать ионно-лучевая полировальная машина?
А2:ОнСтанок для ионно-лучевой полировкиможет обрабатывать различные поверхности, включая простые оптические компоненты, такие какплоские поверхности, сферы и призмыа также сложные геометрические формы, такие какасферические, внеосевые асферические, иповерхности свободной формыОн особенно эффективен для таких материалов, как оптическое стекло, инфракрасная оптика, металлы и твердые/хрупкие материалы.

В3: С какими материалами может работать ионно-лучевая полировальная машина?
А3:ОнСтанок для ионно-лучевой полировкиможет полировать широкий спектр материалов, в том числе:

Оптическое стеклоКварц, микрокристаллический, K9 и др.
Инфракрасные материалыКремний, германий и т. д.
МеталлыАлюминий, нержавеющая сталь, титановый сплав и т. д.
Кристаллические материалы: YAG, монокристаллический карбид кремния и т. д.
Другие твердые/хрупкие материалы: Карбид кремния и т. д.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, бытовой электронике и военной промышленности. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, защитные крышки для объективов мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния (SIC), кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря высококвалифицированным специалистам и современному оборудованию мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.