Пластины из плавленого кварца высокой чистоты для полупроводников, фотоники и оптических применений 2″4″6″8″12″

Пластины из плавленого кварца высокой чистоты для полупроводников, фотоники и оптических применений. Изображение 2″4″6″8″12″

Краткое описание:

Плавленый кварц—также известный какПлавленый кварц— это некристаллическая (аморфная) форма диоксида кремния (SiO₂). В отличие от боросиликатного или других промышленных стекол, плавленый кварц не содержит легирующих примесей и представляет собой химически чистый состав SiO₂. Он известен своим исключительным оптическим пропусканием как в ультрафиолетовом (УФ), так и в инфракрасном (ИК) спектрах, превосходя традиционные стеклянные материалы.

Написать нам письмо

Функции

Подробная схема

Пластины из плавленого кварца и оптического кварцевого стекла-2

плавленый_кварц_вафер_4_дюйма_плавленый_кварцевый_вафер_

Обзор кварцевого стекла

Кварцевые пластины составляют основу бесчисленного множества современных устройств, определяющих современный цифровой мир. От навигации в смартфоне до базовых станций 5G — кварц бесшумно обеспечивает стабильность, чистоту и точность, необходимые для высокопроизводительной электроники и фотоники. Будь то поддержка гибких схем, работа MEMS-датчиков или создание основы для квантовых вычислений, уникальные характеристики кварца делают его незаменимым во многих отраслях.

«Плавеный кварц» или «плавленый кварц», представляющий собой аморфную фазу кварца (SiO2). В отличие от боросиликатного стекла, плавленый кварц не содержит добавок, поэтому существует в чистом виде, SiO2. Плавленый кварц обладает более высокой светопропускаемостью в инфракрасном и ультрафиолетовом спектрах по сравнению с обычным стеклом. Плавленый кварц получают путем плавления и повторного затвердевания сверхчистого SiO2. Синтетический плавленый кварц, с другой стороны, изготавливается из богатых кремнием химических прекурсоров, таких как SiCl4, которые газифицируются, а затем окисляются в атмосфере H2 + O2. Образующаяся при этом пыль SiO2 сплавляется с кремнием на подложке. Блоки плавленого кварца разрезаются на пластины, после чего пластины полируются.

Пластины из плавленого кварца и оптического кварцевого стекла

Основные характеристики и преимущества кварцевых стеклянных пластин

Сверхвысокая чистота (≥99,99% SiO2)
Идеально подходит для сверхчистых процессов в полупроводниковой промышленности и фотонике, где необходимо свести к минимуму загрязнение материала.
Широкий температурный диапазон работы
Сохраняет структурную целостность при криогенных температурах до более чем 1100°C без деформации и разрушения.
Превосходная передача УФ- и ИК-излучения
Обеспечивает превосходную оптическую прозрачность от глубокого ультрафиолета (DUV) до ближнего инфракрасного (NIR) диапазона, поддерживая прецизионные оптические приложения.
Низкий коэффициент теплового расширения
Повышает размерную стабильность при колебаниях температуры, снижая напряжение и повышая надежность процесса.
Превосходная химическая стойкость
Инертен к большинству кислот, щелочей и растворителей, что делает его пригодным для химически агрессивных сред.
Гибкость отделки поверхности
Доступны с ультрагладкой, односторонней или двусторонней полировкой, совместимые с требованиями фотоники и МЭМС.

Процесс производства кварцевых стеклянных пластин

Пластины из плавленого кварца производятся посредством серии контролируемых и точных этапов:

Выбор сырья
Выбор источников высокочистого природного кварца или синтетического SiO₂.
Плавление и слияние
Кварц плавят при температуре ~2000°C в электрических печах в контролируемой атмосфере для устранения включений и пузырьков.
Формование блоков
Расплавленный кремний охлаждают, превращая в твердые блоки или слитки.
Нарезка вафель
Для резки слитков на пластинчатые заготовки используются прецизионные алмазные или проволочные пилы.
Шлифовка и полировка
Обе поверхности выравниваются и полируются для точного соответствия оптическим характеристикам, толщине и шероховатости.
Очистка и осмотр
Пластины очищаются в чистых помещениях класса ISO 100/1000 и подвергаются строгой проверке на наличие дефектов и соответствие размерам.

Свойства кварцевой стеклянной пластины

спецификация	единица	4"	6"	8"	10 дюймов	12 дюймов
Диаметр/размер (или квадрат)	mm	100	150	200	250	300
Допуск (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Толщина	mm	0,10 или более	0,30 или более	0,40 или более	0,50 или более	0,50 или более
Первичная эталонная квартира	mm	32,5	57.5	Полувыемка	Полувыемка	Полувыемка
ЛТВ (5мм×5мм)	мкм	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
ТТВ	мкм	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Поклон	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Варп	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
ПЛТВ (5 мм×5 мм) < 0,4 мкм	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Скругление краев	mm	Соответствует стандарту SEMI M1.2 / см. IEC62276
Тип поверхности		Полировка с одной стороны / Полировка с двух сторон
Полированная сторона Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Критерии обратной стороны	мкм	общий 0,2-0,7 или индивидуальный

Кварц против других прозрачных материалов

Свойство	Кварцевое стекло	Боросиликатное стекло	Сапфир	Стандартное стекло
Максимальная рабочая температура	~1100°С	~500°С	~2000°С	~200°С
Пропускание УФ-излучения	Отлично (JGS1)	Бедный	Хороший	Очень плохо
Химическая стойкость	Отличный	Умеренный	Отличный	Бедный
Чистота	Чрезвычайно высокий	От низкого до умеренного	Высокий	Низкий
Тепловое расширение	Очень низкий	Умеренный	Низкий	Высокий
Расходы	От умеренного до высокого	Низкий	Высокий	Очень низкий

Часто задаваемые вопросы о кварцевых стеклянных пластинах

В1: В чем разница между плавленым кварцем и плавленым кремнием?
Хотя оба материала представляют собой аморфные формы SiO₂, плавленый кварц обычно получают из природных источников кварца, тогда как плавленый кварц производится синтетически. Функционально они обладают схожими характеристиками, но плавленый кварц может иметь несколько более высокую чистоту и однородность.

В2: Можно ли использовать пластины из плавленого кварца в условиях высокого вакуума?
Да. Благодаря низкому газовыделению и высокой термостойкости пластины плавленого кварца отлично подходят для вакуумных систем и аэрокосмической промышленности.

В3: Подходят ли эти пластины для применения в лазерах глубокого УФ-диапазона?
Безусловно. Плавленый кварц обладает высоким коэффициентом пропускания вплоть до ~185 нм, что делает его идеальным для оптики DUV, литографических масок и эксимерных лазерных систем.

В4: Поддерживаете ли вы изготовление пластин на заказ?
Да. Мы предлагаем полную индивидуальную настройку, включая диаметр, толщину, качество поверхности, наличие фасок/пазов и лазерную гравировку, в соответствии с вашими конкретными требованиями.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.

Заготовка сапфировой пластины. Высокочистая необработанная сапфировая подложка для обработки 5