Высокопроизводительный концевой эффектор (вилочный рычаг) из оксида алюминия для автоматизации полупроводниковой промышленности и чистых помещений

Краткое описание:

Керамический концевой эффектор из оксида алюминия, также известный как керамическая вилочная рука или роботизированная керамическая рука, представляет собой высокоточный манипулятор, предназначенный для автоматизированных систем в полупроводниковой, фотоэлектрической промышленности, производстве панельных дисплеев и лабораториях высокой чистоты. Он разработан для обеспечения исключительной термостабильности, механической прочности и химической стойкости, обеспечивая чистую, надежную и безопасную транспортировку чувствительных материалов, таких как кремниевые пластины, стеклянные подложки и электронные микрокомпоненты.

Написать нам письмо

Функции

Подробная схема

Введение в продукт

Этот керамический компонент, являясь разновидностью роботизированного рабочего органа, представляет собой конечный интерфейс между автоматизированной системой и заготовкой. Он играет важнейшую роль в задачах точного перемещения, выравнивания, загрузки/выгрузки и позиционирования в чистых помещениях и вакуумных средах.

керамический рычаг для привода пластин полупроводников G13

керамический рычаг для привода пластин полупроводников G10

керамический рычаг для привода пластин полупроводников G07

Обзор материала – Керамика на основе оксида алюминия (Al₂O₃)

Керамика на основе оксида алюминия — это высокостабильный и химически инертный технический керамический материал, известный своими превосходными механическими и электрическими свойствами. Высокочистый (≥ 99,5%) оксид алюминия, используемый в этих рабочих органах, обеспечивает:

Высокая твердость (по шкале Мооса 9): Оксид алюминия уступает только алмазу по своей износостойкости.
Высокотемпературная способность: Сохраняет структурную целостность при температуре выше 1600°C.
Химическая инертность: Устойчив к воздействию кислот, щелочей, растворителей и плазменного травления.
Электроизоляция: Высокая диэлектрическая прочность и низкие диэлектрические потери.
Низкое тепловое расширение: Обеспечивает стабильность размеров в условиях циклических температурных воздействий.
Низкое образование частиц: Необходим для совместимости с чистыми помещениями (класс 10–1000).

Благодаря этим свойствам алюмооксидная керамика идеально подходит для критически важных операций в отраслях, чувствительных к загрязнениям.

Функциональные приложения

Концевой эффектор из оксида алюминия широко применяется в высокотехнологичных промышленных процессах, особенно там, где традиционные металлические или пластиковые материалы неэффективны из-за теплового расширения, загрязнения или коррозии. Основные области применения:

Перенос полупроводниковой пластины
Системы загрузки и выгрузки фотолитографии
Обработка стеклянных подложек на линиях OLED и LCD
Перенос кристаллических кремниевых пластин в производстве солнечных элементов
Автоматизированный оптический или микроэлектронный контроль
Транспортировка образцов в аналитических или биомедицинских лабораториях
Системы автоматизации вакуумной среды

Его способность работать без внесения частиц или статического заряда делает его незаменимым для точных роботизированных операций в системах автоматизации чистых помещений.

Особенности дизайна и настройки

Каждый керамический концевой эффектор разработан для конкретной роботизированной руки или системы обработки пластин. Мы предлагаем полную индивидуальную настройку на основе:

Совместимость размеров пластин: 2", 4", 6", 8", 12" и более
Геометрия и расстояние между прорезями: обеспечивает захват края, поддержку задней стороны или конструкцию пластины с надрезами
Всасывающие отверстия: Встроенные вакуумные отверстия или каналы для бесконтактной обработки
Конфигурация монтажа: Отверстия, резьба, пазы, соответствующие фланцу конечного инструмента вашего робота
Обработка поверхности: Полированная, притертая или тонкошлифованная поверхность (доступно Ra < 0,2 мкм)
Защита кромок: Закругленные углы или снятие фаски для предотвращения повреждения пластины

Используя предоставленные клиентами чертежи САПР или 3D-модели, наши инженеры могут оптимизировать каждый рычаг вилки по весу, прочности и чистоте.

ru_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Преимущества керамических концевых эффекторов

Особенность	Выгода
Высокая механическая жесткость	Сохраняет размерную точность при воздействии роботизированных сил нагрузки
Отличные тепловые характеристики	Надежно работает в высокотемпературных или плазменных средах
Нулевое загрязнение металлами	Отсутствие риска ионного загрязнения при критической обработке полупроводников
Поверхность с низким коэффициентом трения	Снижает риск появления царапин на пластинах или стеклянных подложках
Антистатичный и немагнитный	Не притягивает пыль и не воздействует на магниточувствительные компоненты.
Длительный срок службы	Превосходная износостойкость в повторяющихся высокоскоростных циклах автоматизации
Ультрачистая совместимость	Подходит для чистых помещений ISO 14644 (класс 100 и ниже)

По сравнению с пластиковыми или алюминиевыми ручками алюмооксидная керамика обеспечивает значительно более высокую химическую и физическую стабильность при минимальных требованиях к обслуживанию.

Свойство	Металлическая рука	Пластиковая рука	Керамическая рукоятка из оксида алюминия
Твердость	Умеренный	Низкий	Очень высокая (9 по шкале Мооса)
Термическая стабильность	≤ 500°С	≤ 150°С	≥ 1600°С
Химическая стойкость	Умеренный	Бедный	Отличный
Пригодность для чистых помещений	Середина	Низкий	Очень высокий
Износостойкость	Середина	Низкий	Выдающийся
Электрическая прочность диэлектрика	Низкий	Середина	Высокий
Индивидуальная точность обработки	Ограниченный	Умеренный	Высокая (возможно ±0,01 мм)

Технические характеристики

Параметр	Ценить
Материал	Высокочистый глинозем (≥ 99,5%)
Рабочая температура	До 1600°С
Шероховатость поверхности	Ra ≤ 0,2 мкм (опционально)
Совместимые размеры пластин	2–12 дюймов или по индивидуальному заказу
Допуск плоскостности	±0,01 мм (зависит от области применения)
Поддержка вакуумного отсоса	Дополнительные настраиваемые каналы
Варианты монтажа	Сквозные болтовые соединения, фланцевые соединения, прорезные отверстия

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

В1: Можно ли интегрировать конечный эффектор в существующие роботизированные системы?
А1:Да. Мы поддерживаем адаптацию под ваш роботизированный интерфейс. Вы можете отправить нам чертеж CAD или размеры фланца для точной адаптации.

В2: Керамические ручки легко ломаются во время использования?
А2:Хотя керамика по своей природе хрупкая, наши конструкции используют оптимизированную геометрию для минимизации концентрации напряжений. При правильном использовании они служат значительно дольше, чем металл или пластик.

В3: Можно ли использовать это в камерах сверхвысокого вакуума или плазменного травления?
А3:Да. Керамика из оксида алюминия не выделяет газов, термостабильна и устойчива к коррозии — идеально подходит для работы в условиях высокого вакуума, реактивных газов и плазмы.

В4: Как очищаются и обслуживаются эти компоненты?
А4:Их можно очищать деионизированной водой, спиртом или моющими средствами, подходящими для чистых помещений. Благодаря химической стабильности и инертной поверхности они не требуют специального ухода.

О нас

Компания XKH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция используется в оптической электронике, потребительской электронике и оборонном секторе. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для объективов мобильных телефонов, керамические, литий-ионные кристаллы (LT), карбид кремния SIC, кварцевые и полупроводниковые кристаллические пластины. Благодаря опыту и передовому оборудованию мы превосходим всех в обработке нестандартных изделий, стремясь стать ведущим высокотехнологичным предприятием в области оптоэлектронных материалов.